JP2004172438A

JP2004172438A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JP2004172438A
Application number: JP2002337576A
Authority: JP
Inventors: Toshimitsu Nogami; 敏光野上; Kazuhiko Yanagisawa; 和彦柳澤
Original assignee: Mikuni Corp
Current assignee: Mikuni Corp
Priority date: 2002-11-21
Filing date: 2002-11-21
Publication date: 2004-06-17

Abstract

【課題】大判サイズの矩形基板の撓みを軽減して支持し、位置ずれや傷が発生することなく作業工程間を迅速に搬送できる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板支持部は、工程間に設けられた待機位置から前工程で位置決めされたガラス基板１上へ移動する際に、基板外形より幅狭のフレーム本体４の両側位置から当該ガラス基板１の外形位置まで両側へ移動し、基板辺縁部の下側へ支持アーム３０の先端爪部３０を外側から進入させるスライド支持部１１を少なくとも１組備えている。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する利用分野】
本発明は、例えば、液晶表示装置用のガラス基板などの大判サイズの矩形基板を保持して搬送する基板搬送装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置製造用のガラス基板は、大判サイズ（例えば１１００ｍｍ×１２５０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ）の矩形状のガラス基板が用いられる。この矩形状ガラス基板が、フォトレジスト塗布、乾燥、露光・現像などの複数の工程を経て搬送され、最後に例えば１７インチディスプレイ用に１２枚というように製品寸法にダイシングされる。
【０００３】
上記ガラス基板は、生産性を高めるため、搬送ラインに沿って各工程間を搬送され、各加工ステージで加工が施される。このとき、大判サイズのガラス基板は、厚さが薄く自重により基板中央部が撓み易い（例えば、厚さ０．７ｍｍの場合中央部で１００ｍｍ程度撓む）ため取扱いが難く、基板の位置ずれや傷付けることなく搬送する必要がある。
【０００４】
このため、水平方向の開閉動及び昇降動可能な一対のＦ字状の搬送アームを備え、該搬送アームを予めガラス基板の両側に待機させておき、加工ステージ上で処理が終了したガラス基板の下側に移動させて加工ステージ（支持治具）を下動させて搬送アームにガラス基板を受け渡すと同時に吸着保持させ、搬送アームを次の加工ステージへ移動させてガラス基板を搬送する基板搬送装置が提案されている（例えば特許文献１参照）。
また、ガラス基板の撓みを生じないようにかつ搬送スペースを省スペース化するためにガラス基板を垂直方向にアームに吸引保持して搬送する基板搬送措置が提案されている（例えば特許文献２参照）。
或いはガラス基板は専用のガラス基板収納カセットに収納して搬送され、各生産工程でロボットアームにより吸着保持して取り出して加工処理が行われ、再度ロボットアームによりガラス基板収納カセットへ収納する動作を繰り返すものが提案されている（例えば特許文献３参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−２０８５８７号公報（図１乃至図６）
【特許文献２】
特開２００１−２３３４５１号公報（図２、図４）
【特許文献３】
特開２００２−２９９４３１号公報（図３（ａ）（ｂ））
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献１に開示された基板搬送装置においては、搬送アームは支持治具により支持されたガラス基板の外形より外側まで移動してからガラス基板の下面側に移動させる必要があり、ガラス基板の受渡しが行われるまでの搬送アームの移動量が多い。また、一対の搬送アームが個別に移動し、移動量も異なることから制御動作が複雑になる。また、ガラス基板を支持治具に受け渡した１対の搬送アームを待機位置に復帰させるためには、支持治具を一旦下降させるか、搬送アーム自身をガラス基板の高さ位置より上昇させなければ元の待機位置まで復帰させることができない。従って、支持治具の下降を待つ場合には、搬送アームの１サイクルの往復移動に時間がかかり、搬送アームを昇降させるためには、搬送アームの移動機構が複雑になるおそれがある。また、ガラス基板を搬送アームの上面全域にわたって吸着させているため、支持治具へ受渡す際に、吸着を停止しても負圧状態が維持されてガラス基板が搬送アームに貼り付いて離れないおそれもある。
【０００７】
特許文献２の基板搬送装置はガラス基板を上下方向に吊下げた状態で搬送するため、基板の撓みや搬送スペースは省略できるが、大判サイズ（例えば１１００ｍｍ×１２５０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ）のガラス基板を搬送するには、高さ方向に高い位置で基板を吊下げるための機構や搬送路を設ける必要があり、装置の組立てやメンテナンス作業に手間取る。また、ガラス基板への加工処理は基板姿勢を水平方向にして処理されるため、加工ステージでガラス基板を傷付けることなく上下方向から水平方向へ姿勢変更する機構が必要となり、装置の設備コストが上昇する。
【０００８】
特許文献３の基板収納カセットを用いた搬送方法は、大判サイズのガラス基板を収納するカセット自体が大型で重量物となり、このカセットを工程間で搬送するには、装置構成が煩雑になる。また、カセットよりロボットアームによりガラス基板を取り出し、加工処理が終了したガラス基板を再度カセットに収納するので、１作業工程に要する作業時間が長くなるため、製造ライン全体として生産効率が低下する。
【０００９】
本発明の目的は、上記従来技術の課題を解決し、大判サイズの矩形基板の撓みを軽減して支持し、位置ずれや傷が発生することなく工程間を搬送でき、しかも小型で簡易な構成により設置面積や設備コストを要さず、工程間を迅速に搬送して生産効率の向上を実現可能な基板搬送装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える。
前工程で位置決めされた大判サイズの矩形基板を保持して後工程へ搬送する基板搬送装置において、作業工程間に敷設された搬送レール上で往復移動する搬送体と、前記搬送体より矩形基板側へ延設されて片持ち状に支持されたフレーム本体と、前記フレーム本体に設けられ、矩形基板の対向する辺縁部を下面側より支持する基板支持部とを備え、前記基板支持部は、工程間に設けられた待機位置から前工程で位置決めされた矩形基板上へ移動する際に、基板外形より幅狭のフレーム本体の両側位置から当該矩形基板の外形位置まで両側へ移動し、基板辺縁部の下側へ支持アームの先端爪部を外側から進入させるスライド支持部を少なくとも１組備えていることを特徴とする。
【００１１】
具体的には、前記スライド支持部は、駆動源に連繋してフレーム本体の長手方向へ往復移動する移動体と、該移動体に連繋してフレーム本体の両側へスライド可能なスライドプレートと、該スライドプレート先端側に支点軸を中心に支持アームが回動可能に設けられた支持アーム回動機構とを具備し、前記スライドプレートは、一端が前記移動体に連繋し他端が前記支持アーム回動機構に連繋した一対のリンクアームの開閉動作に伴ってフレーム本体の両側でスライドすることを特徴とする。
上記支持アーム回動機構のリンク締結部は、スライドプレートのプレート本体とスプリングにより連結されており、該スライドプレートが両側へスライドしてストッパにより移動が規制されると、移動体の更なる移動により前記リンク締結部のみが前記スプリングの引張力に抗してプレート本体に対して更に外側へ移動してプレート本体に支持された支点軸を回転させて支持アームの先端爪部を基板辺縁部の下側に各々進入させることを特徴とする。
また、前記スライドプレートは、プレート本体の一部を長手方向に切り欠かれた切欠部が各々形成されており、待機時に互いの切欠部に他方のプレート本体の一部を進入させてフレーム本体に収納されており、搬送時に矩形基板上へ移動する際にフレーム本体に設けられた直動ガイドに沿ってストッパに規制されるまで両側へスライドすることを特徴とする。
更には、前記スライド支持部は矩形基板の辺縁部を支持する支持アームがフレーム本体に支持された支点軸の軸方向に複数箇所で設けられていることを特徴とする。
【００１２】
或いは、前記基板支持部は、矩形基板の搬送方向と直交する辺縁部を支持する前記スライド支持部の他に、矩形基板の搬送方向と平行な辺縁部の外形サイズと同等の間隔を有し、作業工程間に設けられた待機位置から前工程で位置決めされた矩形基板上へ移動した際に基板当接部が基板下面側に配置され、前記スライド支持部の支持アームの基板支持動作と同期をとって前記基板当接部を上動して基板辺縁部を支持する上下支持部を備えていることを特徴とする。
また、前記上下支持部は、駆動源に連繋して回転する回転アームと、該回転アームに連繋して上下動する支持アームとを具備し、前記回転アームの回転に伴って支持アームを上動させて当該支持アームの基板当接部により基板辺縁部を支持することを特徴とする。
また、前記支持アームには矩形基板の辺縁部を支持する複数の基板当接部が設けられていることを特徴とする。
また、前記搬送体は搬送レール上を移動する搬送テーブルを備え、フレーム本体は前記搬送テーブル上の位置を微調整可能に支持されていることを特徴とする。
更に、前記基板支持部を備えたフレーム本体を片持ち状に支持した搬送体が複数作業工程間に各々配置され、単一の駆動源により往復動される搬送体に他の搬送体が連結リンクを介して直列に連結されて、搬送レール上を作業工程間で同期を取って往復移動して矩形基板を順送りすることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。本実施の形態は、液晶表示装置用として用いられる大判サイズ（例えば１１００ｍｍ×１２５０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ）の矩形状のガラス基板を、各製造工程間で搬送する基板搬送装置について説明する。
図１は基板搬送装置の平面図、図２は搬送体のベース部の平面図、図３は図１の基板搬送装置の矢印Ａ方向から見た説明図、図４はフレーム本体とプレート本体とのストッパ構造を示す説明図、図５はスライド支持部の支持アーム回動機構の拡大説明図、図６は図１の矢印Ｂ方向から見た説明図、図７は上下支持部の拡大説明図、図８は図６の左側面図、図９は基板搬送装置を複数台連結したレイアウト説明図である。
【００１４】
先ず、基板搬送装置の概略構成について図１及び図９を参照して説明する。
先ず図９に液晶表示装置製造ラインの一部を例示する。、ガラス基板１はコンベアベルトにより搬送されアライメントされるステージＰ、レジスト塗布装置（コーターマシン）によりフォトレジストを塗布される塗布ステージＱ、フォトレジストを乾燥させる乾燥ステージＲ、露光・現像工程へ搬送される基板を一次的に蓄えておくバッファステージＳなどの複数の作業工程を経て搬送される。最後にガラス基板１は、例えば１７インチディスプレイ用に１２枚というように製品寸法にダイシングされる。
【００１５】
基板搬送装置２は、上記各作業工程間を基準位置（待機位置）として配置されており、本実施例では、３台分連結されて、前工程で位置決めされたガラス基板１を３枚分保持して後工程へ搬送するようになっている。基板搬送装置２は、基板支持部３を備えたフレーム本体４を片持ち状に支持した搬送体５が作業工程間に各々配置されている。各搬送体５どうしが連結リンク（平行リンク）６により連結されて、基板搬送方向に沿って設けられた基台５４上に敷設された搬送レール７上で同期を取って往復移動するようになっている。
【００１６】
具体的には、３箇所に配設された搬送体５のうち、１の搬送体５が駆動源（サーボモータ８）を備え、該サーボモータ８により回転駆動されるピニオンギヤが基台５４に搬送レール７と平行に設けられたラック（図示せず）と噛み合っている。上記サーボモータ８を所定方向に回転駆動することにより上記１の搬送体５が搬送レール７上を移動し、他の搬送体５が連結リンク６を介して追従して移動するようになっている。本実施例では、乾燥ステージＲとバッファステージＳとの間を往復移動する搬送体５がサーボモータ８により移動制御される。また、ピニオンギヤが噛み合うラックも乾燥ステージＲとバッファステージＳとの間に敷設されている。尚、搬送体５どうしの間隔が長いと、搬送体５どうしを連結する連結リンク６の長さが長くなり各連結リンク６の振れが振動となって各搬送体５伝わるおそれがある。このため、搬送体５どうしの中間部に中間連結体９を設けて、連結リンク６の長さが必要以上に長くならないようにし、振動などの影響が伝わらないようにしている。
【００１７】
次に、各基板搬送装置２の構成について具体的に説明する。図１において、搬送体５には搬送テーブル１０が設けられており、該搬送テーブル１０は直動ガイド１０ａを介して搬送レール７上で移動可能に連繋している、搬送テーブル１０にはフレーム本体４がガラス基板１側へ延設されて片持ち状に支持されている。フレーム本体４には、ガラス基板１の対向する辺縁部を下面側より支持する基板支持部３が設けられている。基板支持部３としては、ガラス基板１の搬送方向と平行な１対の辺縁部を支持するスライド支持部１１と、搬送方向と直交する一対の辺縁部を支持する上下支持部１２とを備えている。
【００１８】
先ず、スライド支持部１１の構成について、図１乃至図６を参照して説明する。図１において、スライド支持部１１は、作業工程間に設けられた待機位置から前工程で位置決めされたガラス基板１上へ移動する際に、基板外形より幅狭のフレーム本体４の両側位置から当該ガラス基板１の外形位置まで両側へ移動する。このとき、基板辺縁部の下側へ第１の支持アーム１３の先端爪部３０（図３参照）を外側から進入させるようになっている。
【００１９】
具体的には、フレーム本体４には、駆動源である第１のシリンダ（エアシリンダ）１４が設けられている。この第１のシリンダ１４のシリンダロッド１４ａは移動体１５に連繋している。移動体１５は、フレーム本体４の長手方向に平行に設けられた移動レール１６上に直動ガイド１７を介して連繋し、第１のシリンダ１４の作動により移動レール１６上で往復動するようになっている。移動体１５には一対のリンクアーム１８の一端が両側で連繋しており、該リンクアーム１８の他端は、フレーム本体４の両側へスライド可能なスライドプレート１９に各々連繋している。各スライドプレート１９の先端側には、第１の支持アーム１３が支点軸２９を中心に回動可能に支持された支持アーム回動機構２０が設けられている（図３参照）。スライドプレート１９は、リンクアーム１８の開閉動作に伴ってフレーム本体４の両側へスライドするようになっている。
【００２０】
各スライドプレート１９は、プレート本体２１の一部を長手方向に切り欠かれた切欠部２２が各々形成されており、待機時に互いの切欠部２２に他方のプレート本体２１の一部を進入させてフレーム本体４に収納されている。スライドプレート１９に切欠部２２を設けることによって、プレート本体２１の重量を軽くすることができ、また互いに上下に重なることなくフレーム本体４に収納できるのでフレーム本体４の高さも低くすることができる。従って、基板搬送装置２の小型軽量化に寄与することができる。
また、スライドプレート１９は、フレーム本体４の下面側に短手方向に設けられた移動レール２３に直動ガイド２４を介して連繋している（図６参照）。基板搬送装置２がガラス基板１上へ移動する際に、スライドプレート１４は移動体１５の移動に伴って移動レール２３に沿って両側へスライドし、プレート側ストッパ２５がフレーム側ストッパ２６に突き当たるまで移動する（図４参照）。
【００２１】
図３において、支持アーム回動機構２０には、フレーム本体４の長手方向と平行にリンク締結部２７が設けられている。このリンク締結部２７とプレート本体２１との間にはスプリング２８により各々連結されている。このスプリング２８によって、リンク締結部２７はプレート本体２１側に引き寄せられて一体となって移動する。支持アーム回動機構２０はスライドプレート１９がガラス基板１の外形位置の近傍まで移動すると、プレート本体２１がフレーム側ストッパ２６により移動が規制される。しかしながら、移動体１５の更なる移動によりリンク締結部２７のみがスプリング２８の付勢力に抗してプレート本体に対して更に外側へ移動する。このとき、プレート本体２１に回動可能に支持された支点軸２９を回転させて第１の支持アーム１３先端の爪部３０を基板辺縁部の下側に各々進入させるようになっている。
【００２２】
図１において、支点軸２９は、スライドプレート１９の先端側に設けられた起立璧３１の両側に設けられた軸支持部３２に回動可能に支持されている。また、図５において、起立璧３１には、ガイド軸３３が外側に突出してねじ止め固定されている。リンク締結部２７はボール軸受部３４を介してガイド軸３３上をスライド可能に連繋している。リンク締結部２７にはスプリング２８が起立璧３１を挿通して連繋しており、リンク締結部２７を常時起立璧３１側へ引き寄せるように付勢している。また、リンク締結部２７には固定リンク３５が外方へ向けて突設されている。この固定リンク３５の先端側には固定ピン３５ａが突設されている。また、支点軸２９には揺動リンク３６の一端が嵌め込まれており、支点軸２９と一体となって回動するようになっている。揺動リンク３６の他端には長手方向に長孔３６ａが穿孔されており、該長孔３６ａには固定ピン３５ａが嵌め込まれている。また、リンク締結部２７には、回動リンク３８が連結ピン３９により回動自在に連繋している。リンクアーム１８の端部に設けられたねじ部１８ａが回動リンク３８のナット部３８ａに螺合している。これにより、リンクアーム１８と支持アーム回動機構２０が一体に連繋している。尚、本実施例では、第１の支持アーム１３は支点軸２９の軸方向に３箇所に設けられている。第１の支持アーム１３は、ガラス基板１の中央部の撓みを軽減するため、搬送方向に直交する辺縁部の中央部を含むその両側に一定距離をおいて設けられている（図１参照）。
【００２３】
図５において、待機時にはリンクアーム１８は破線矢印方向に退避しているので、リンク締結部２７はスプリング２８の引張力によって、ガイド軸３３に沿って起立璧３１側に移動した位置で保持されている。このとき、固定リンク３５が揺動リンク３６を固定ピン３５ａと長孔３６ａとの連繋により破線矢印方向に揺動させているため、支点軸２９が反時計周り方向へ回転し、爪部３０が外側へ開いた姿勢のまま保持されている（図５の２点鎖線位置参照）。
【００２４】
次に、第１のシリンダ１４が作動して移動体１５が移動し、リンクアーム１８が図５の実線矢印方向へ開くと、リンク締結部２７及びスプリング２８を通じてスライドプレート１９が両側へ移動する。このとき、リンク締結部２７はスプリング２８の引張力によってガイド軸３３上を起立璧３１側に保持されたままスライドプレート１９が外側へ移動する。スライドプレート１９は、本体フレーム４によって移動が規制されるが、移動体１５は更に移動するため、リンクアーム１８がリンク締結部２７を図５の実線矢印方向へ押動する。このとき、リンク締結部２７は、リンクアーム１８の押動により、スプリング２８の引張力に抗してガイド軸３３上を実線矢印方向へ軸端側まで移動する。そして、リンク締結部２７より突設された固定リンク３５が揺動リンク３６を固定ピン３５ａと長孔３６ａとの連繋により実線矢印方向に揺動させるため、支点軸２９が時計周り方向へ回転し、第１の支持アーム１３が上下方向に向く位置まで回転させる。このとき、爪部３０がガラス基板１の辺縁部の下側へ外側から進入して保持される（図５の実線位置参照）。
【００２５】
次に、上下支持部１２の構成について、図１、図６及び図７を参照して説明する。図１においてフレーム本体４には、駆動源である第２のシリンダ（エアシリンダ）４０が設けられている。図６において、第２のシリンダ４０のシリンダロッド４１は、ガラス基板１の搬送方向と平行な一対の辺縁部の外形サイズ位置に設けられた第２の支持アーム４５に各々連繋している。第２の支持アーム４５には、基板辺縁部に当接して支持する基板当接部４２が複数箇所に設けられている。上下支持部１２は、基板搬送装置２が待機位置から前工程で位置決めされたガラス基板１上へ移動した際に、基板当接部４２が基板下面側に配置され、スライド支持部１１の第１の支持アーム１３の基板支持動作と同期をとって第２の支持アーム４５を上動することにより、基板当接部４２で基板辺縁部を支持するようになっている。
【００２６】
図６及び図７において、シリンダロッド４１は、フレーム本体４に設けられた回転軸４３を中心に回転する回転アーム４４の一端４４ａに連繋している。回転アーム４４の他端４４ｂは第２の支持アーム４５に連繋している。第２の支持アーム４５は、ガラス基板１の辺縁部に沿ってフレーム本体４の短手方向の幅サイズより幅広の長さを有しており、長手方向の４箇所に基板当接部４２が設けられている（図１参照）。第２の支持アーム４５の基板当接部４２を設ける箇所は任意であるが、ガラス基板１の中央部の撓みを軽減するため、搬送方向と平行な辺縁部の中心より両側に等間隔位置に設けられているのが好ましい。また基板当接部４２としては、基板面の保護を考慮してピーク材（耐衝撃性高分子樹脂材）が好適に用いられる。第２の支持アーム４５には、ガイドポスト４６が立設されており、フレーム本体４のガイド部４７により上下動をガイドされる。
【００２７】
図７において、第２のシリンダ４０を作動させシリンダロッド４１を実線矢印方向に移動させると、回転アーム４４が回転軸４３を中心に反時計回り方向へ回転する。このとき、第２の支持アーム４５をガイドポスト４６がガイド部４７にガイドされながら上動するので、基板当接部４２により基板辺縁部を支持する。また、第２のシリンダ４０を作動させシリンダロッド４１を破線矢印方向に移動させると、回転アーム４４が回転軸４３を中心に時計回り方向へ回転する。このとき、第２の支持アーム４５は下動するので基板当接部４２による基板支持が解除されるようになっている。
【００２８】
本実施例の製造ラインでは、図９に示すように基板搬送装置２を複数台備え、各搬送体５どうしは連結リンク６により連結されている。従って、サーボモータ８による１台分の搬送体５の移動量は、モータパルス数の制御により制御できるが、他の搬送体５の移動量制御を一括して行うことは難しい。そこで、残りの搬送体５は搬送レール７上を移動する搬送テーブル１０上でフレーム本体４の位置を微調整可能に支持されている。
【００２９】
具体的には、図２において、搬送テーブル１０上には搬送レール７と平行に移動レール４８が設けられている。また、図８において、フレーム本体４は、直動ガイド４９を介して移動レール４８に連繋している。フレーム本体４には、第３のシリンダ（エアシリンダ）４９が固定されている。この第３のシリンダ４９のシリンダロッド５０は、搬送テーブル１０に起立形成された起立片５１に連繋している。また、搬送テーブル１０には、フレーム本体４の短手方向両側に突き当て可能なテーブルストッパ５２が設けられている。
したがって、サーボモータ８により移動制御されていない搬送体５は、第３のシリンダ４９を作動させて、搬送テーブル１０上でフレーム本体４の位置を微調整することにより、各作業行程間の搬送ピッチを保持するようになっている。
【００３０】
上述した基板搬送装置２の搬送動作について説明する。図９において、基板搬送装置２は各工程間の待機位置に待機している。このとき、ガラス基板１の搬送方向と直交する１対の辺縁部を支持する第１の支持アーム１３は、フレーム本体４の両側位置に保持された状態にある。また、第２の支持アーム４５は、ガラス基板１の搬送方向と平行な１対の辺縁部の外形サイズ位置でフレーム本体４に支持されている。
【００３１】
サーボモータ８を起動するとピニオンギヤとラックとの噛み合いにより連結リンク６で連結された３台の搬送体５が一体となって搬送レール７上を移動して前工程で位置決めされたガラス基板１上に移動する。このとき、図１に示すように、各フレーム本体４に設けられた第１のシリンダ１４を作動させて、搬送体５の移動と共に移動体１５が移動レール１６に沿って搬送体５側からフレーム本体先端側へ移動する。
【００３２】
移動体１５の移動に伴ってリンクアーム１８の先端側が両側に開くので、スライドプレート１９が外側に引き出される。そして、プレート本体２１の移動が規制された後も更に移動体１５が移動体ストッパ５３に突き当たるまで移動する。このとき、フレーム本体４はガラス基板１の真上位置まで移動し、リンク締結部２７がプレート本体２１との間に設けられたスプリング２８の引張力に抗して外側にスライドするため、支持アーム回動機構２０の支点軸２９を回転させて、前工程のステージ上で支持されたガラス基板１の搬送方向に直交する側の基板辺縁部の下側へ第１の支持アーム１３の爪部３０を外側から進入させる。併せて第２のシリンダ４０を作動させて、第２の支持アーム４５を上動させ、基板当接部４２を前工程のステージ上で支持されたガラス基板１の搬送方向と平行な側の基板辺縁部へ当接させる。
【００３３】
そして、ステージ側の支持治具が下動すると、ガラス基板１がフレーム本体４側に受け渡され、ガラス基板１の四辺が第１、第２の支持アーム１３、４５によって支持される。フレーム本体４がガラス基板１を保持した状態で、図９に示すサーボモータ８を再度反転駆動して、各搬送体５が搬送レール７に沿って次工程へ移動する。ガラス基板１が次工程のステージ上まで搬送されると、第１、第２のシリンダ１４、４０を作動させて第１、第２の支持アーム１３、４５による支持を解除してガラス基板１がステージ側の支持治具に受け渡される。そして再度サーボモータ８を反転駆動して各搬送体５が待機位置へ戻って待機する。以上の動作を繰り返すことにより各作業工程間でガラス基板１が同期を取って順送りされる。
【００３４】
上述した基板搬送装置２を用いれば、大判サイズ（例えば１１００ｍｍ×１２５０ｍｍ、厚さ０．７ｍｍ）のガラス基板１の中央部で発生する１００ｍｍ程度の撓みを軽減することができ（中央部の撓み量を１０ｍｍ程度に抑えることができ）、基板の位置ずれや傷が発生することなく工程間を搬送できる。また、ガラス基板１より外形サイズが小さいフレーム本体４より第１の支持アーム１４を両側へスライドさせるスライド支持部１１によりガラス基板１を支持するようにしたので、フレーム本体４を小型軽量化することができ、簡易な構成により設置面積や設備コスト低減することができる。また、基板搬送装置２は工程間の待機位置で待機させて１工程間分だけ移動するので移動距離も少なく、ガラス基板１の迅速な搬送を実現できる。また、複数の搬送体５どうしを平行リンクで連結してこれらを工程間で同期をとって往復動させてガラス基板１を順送りできるので生産効率を向上させることもできる。
【００３５】
以上、本発明の好適な実施例について述べてきたが、本発明は上述した実施例に限定されるのものではなく、例えば、第１の支持アーム１３の数、第２の支持アーム４５に設ける基板当接部４２の数は基板サイズに応じて任意に増減可能であり、これらを設ける位置も変更可能である。また、基板搬送装置２はガラス基板１をスライド支持部１１と上下支持部１２との組み合わせて支持するようになっているが、スライド支持部１１を２箇所に設けてガラス基板１を保持するようにしてもよい。スライド支持部１１は、搬送体５が移動中であってもスライドプレート１９のスライド動作を並行できるので、タクトタイムを短縮できる。
また、フレーム本体４を搭載する搬送体５どうしを連結する数は３台に限らずこれより増減するのは任意である等、法の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのはもちろんである。
【００３６】
【発明の効果】
本発明に係る基板搬送装置を用いれば、大判サイズの矩形基板の撓みを軽減し、位置ずれや傷が発生することなく工程間を迅速に搬送できる。また、矩形基板より外形サイズが小さいフレーム本体より第１の支持アームを両側へスライドさせるスライド支持部により矩形基板を支持するようにしたので、フレーム本体を小型軽量化することができ、簡易な構成により設置面積や設備コスト低減することができる。また、基板搬送装置は工程間の待機位置で待機させて１工程間分だけ移動するので移動距離も少なく、大判の矩形基板の迅速な搬送を実現できる。また、複数の搬送体どうしを平行リンクで連結して、これらを工程間で同期をとって往復動させて矩形基板を順送りするので生産効率を向上させることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板搬送装置の平面図である。
【図２】搬送体のベース部の平面図である。
【図３】図１の基板搬送装置の矢印Ａ方向から見た説明図である。
【図４】フレーム本体とプレート本体とのストッパ構造を示す説明図である。
【図５】スライド支持部の支持アーム回動機構の拡大説明図である。
【図６】図１の矢印Ｂ方向から見た説明図である。
【図７】上下支持部の拡大説明図である。
【図８】図６の左側面図である。
【図９】基板搬送装置を複数台連結したレイアウト説明図である。
【符号の説明】
１ガラス基板
２基板搬送装置
３基板支持部
４フレーム本体
５搬送体
６連結リンク
７搬送レール
８サーボモータ
９中間連結体
１０搬送テーブル
１０ａ、１７、２４直動ガイド
１１スライド支持部
１２上下支持部
１３第１の支持アーム
１４第１のシリンダ
１４ａ、４１、５０シリンダロッド
１５移動体
１６、２３、４８移動レール
１８リンクアーム
１８ａねじ部
１９スライドプレート
２０支持アーム回動機構
２１プレート本体
２２切欠部
２５プレート側ストッパ
２６フレーム側ストッパ
２７リンク締結部
２８スプリング
２９支点軸
３０爪部
３１起立璧
３２軸支持部
３３ガイド軸
３４ボール軸受部
３５固定リンク
３５ａ固定ピン
３６揺動リンク
３６ａ長孔
３８回動リンク
３８ａナット部
３９連結ピン
４０第２のシリンダ
４２基板当接部
４３回転軸
４４回転アーム
４５第２の支持アーム
４６ガイドポスト
４７ガイド部
４９第３のシリンダ
５１起立片
５２テーブルストッパ
５３移動体ストッパ
５４基台

Claims

前工程で位置決めされた大判サイズの矩形基板を保持して後工程へ搬送する基板搬送装置において、
作業工程間に敷設された搬送レール上で往復移動する搬送体と、
前記搬送体より矩形基板側へ延設されて片持ち状に支持されたフレーム本体と、
前記フレーム本体に設けられ、矩形基板の対向する辺縁部を下面側より支持する基板支持部とを備え、
前記基板支持部は、工程間に設けられた待機位置から前工程で位置決めされた矩形基板上へ移動する際に、基板外形より幅狭のフレーム本体の両側位置から当該矩形基板の外形位置まで両側へ移動し、基板辺縁部の下側へ支持アームの先端爪部を外側から進入させるスライド支持部を少なくとも１組備えていることを特徴とする基板搬送装置。
前記スライド支持部は、駆動源に連繋してフレーム本体の長手方向へ往復移動する移動体と、該移動体に連繋してフレーム本体の両側へスライド可能なスライドプレートと、該スライドプレート先端側に支点軸を中心に支持アームが回動可能に設けられた支持アーム回動機構とを具備し、前記スライドプレートは、一端が前記移動体に連繋し他端が前記支持アーム回動機構に連繋した一対のリンクアームの開閉動作に伴ってフレーム本体の両側でスライドすることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
前記支持アーム回動機構のリンク締結部は、スライドプレートのプレート本体とスプリングにより連結されており、該スライドプレートが両側へスライドしてストッパにより移動が規制されると、移動体の更なる移動により前記リンク締結部のみが前記スプリングの引張力に抗してプレート本体に対して更に外側へ移動してプレート本体に支持された支点軸を回転させて支持アームの先端爪部を基板辺縁部の下側に各々進入させることを特徴とする請求項２記載の基板搬送装置。
前記スライドプレートは、プレート本体の一部を長手方向に切り欠かれた切欠部が各々形成されており、待機時に互いの切欠部に他方のプレート本体の一部を進入させてフレーム本体に収納されており、搬送時に矩形基板上へ移動する際にフレーム本体に設けられた直動ガイドに沿ってストッパに規制されるまで両側へスライドすることを特徴とする請求項２又は３記載の基板搬送装置。
前記スライド支持部は矩形基板の辺縁部を支持する支持アームがフレーム本体に支持された支点軸の軸方向に複数箇所で設けられていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載の基板搬送装置。
前記基板支持部は、矩形基板の搬送方向と直交する辺縁部を支持する前記スライド支持部の他に、矩形基板の搬送方向と平行な辺縁部の外形サイズと同等の間隔を有し、作業工程間に設けられた待機位置から前工程で位置決めされた矩形基板上へ移動した際に基板当接部が基板下面側に配置され、前記スライド支持部の支持アームの基板支持動作と同期をとって前記基板当接部を上動して基板辺縁部を支持する上下支持部を備えていることを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載の基板搬送装置。
前記上下支持部は、駆動源に連繋して回転する回転アームと、該回転アームに連繋して上下動する支持アームとを具備し、前記回転アームの回転に伴って支持アームを上動させて当該支持アームに設けられた基板当接部により基板辺縁部を支持することを特徴とする請求項６記載の基板搬送装置。
前記支持アームには矩形基板の辺縁部を支持する複数の基板当接部が設けられていることを特徴とする請求項６又は７記載の基板搬送装置。
前記搬送体は搬送レール上を移動する搬送テーブルを備え、フレーム本体は前記搬送テーブル上の位置を微調整可能に支持されていることを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載の基板搬送装置。
前記基板支持部を備えたフレーム本体を片持ち状に支持した搬送体が複数作業工程間に各々配置され、単一の駆動源により往復動される搬送体に他の搬送体が連結リンクを介して直列に連結されて、搬送レール上を作業工程間で同期を取って往復移動して矩形基板を順送りすることを特徴とする請求項１乃至９記載のうち何れか１項に記載の基板搬送装置。