JP2006005301A - 基板搬送装置および基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】昇降コンベア30は、上段搬送ラインUTと下段搬送ラインLTとの間で昇降動作を行う。両搬送ライン間の搬送基準位置のずれに対処するために、上段搬送ラインUTおよび下段搬送ラインLTにそれぞれ上部位置決め部40および下部位置決め部50を設け、昇降コンベア30が上段搬送ラインUTまたは下段搬送ラインLTに位置したときに、上段搬送ラインUTおよび下段搬送ラインLTのそれぞれの搬送基準位置に予め正確に微調整された球面凸状部材46,56と昇降コンベア30に固設された第1円錐ブロック71および第1Vブロック72とを係合させることによって昇降コンベア30を各搬送ラインの搬送基準位置に位置合わせするようにしている。
【選択図】図12
Description
6 第1基板処理ユニット
7 第2基板処理ユニット
10 昇降式基板搬送装置
20 昇降機構
25 支持部材
29,46,56 球面凸状部材
30 昇降コンベア
40 上部位置決め部
43,53 位置合わせ部
50 下部位置決め部
60 駆動機構
71 第1円錐ブロック
72 第1Vブロック
81 第2円錐ブロック
82 第2Vブロック
LS,US 搬送基準位置
MS 中間位置
LT 下段搬送ライン
UT 上段搬送ライン
W 基板
Claims (5)
- 複数段の基板搬送ラインに対して基板を昇降して受渡を行う基板搬送装置であって、
前記複数段の基板搬送ラインのいずれかにて受け取った基板を載置するとともに、該基板を前記複数段の基板搬送ラインのいずれかに渡す載置搬送手段と、
前記載置搬送手段を前記複数段の基板搬送ラインの間で昇降させる昇降手段と、
前記載置搬送手段が前記複数段の基板搬送ラインのいずれかに位置したときに、前記載置搬送手段を当該基板搬送ラインの搬送基準位置に位置合わせする位置合わせ機構と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項1記載の基板搬送装置において、
上下2段の基板搬送ラインが設けられ、
前記載置搬送手段が前記2段の基板搬送ライン以外に位置しているときに、前記2段の基板搬送ラインの搬送方向に対して幅方向の前記載置搬送手段の位置を、前記2段の基板搬送ラインにおける搬送基準位置の中間位置に位置合わせする位置調整機構をさらに備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項2記載の基板搬送装置において、
前記位置合わせ機構の前記幅方向の調整可能距離を、前記2段の基板搬送ラインの搬送基準位置間の前記幅方向の距離の二分の一より大きくすることを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項2または請求項3に記載の基板搬送装置において、
前記位置合わせ機構は、
前記2段の基板搬送ラインのそれぞれの所定位置に設置された複数の球面凸状部材と、
前記載置搬送手段に設けられ、前記複数の球面凸状部材のいずれかと係合する円錐凹面を有する第1円錐凹状部材およびV字溝を有する第1V字溝部材と、
を備え、
前記位置調整機構は、
前記昇降手段に設けられた複数の球面凸状部材と、
前記載置搬送手段に設けられ、前記昇降手段の前記複数の球面凸状部材のいずれかと係合する円錐凹面を有する第2円錐凹状部材およびV字溝を有する第2V字溝部材と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 基板に所定の処理を行う基板処理装置であって、
請求項1から請求項4のいずれかに記載の基板搬送装置と、
前記複数段の基板搬送ラインの少なくとも1つに基板受渡口が接続され、基板に対して前記所定の処理を行う基板処理部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP4515165B2 JP4515165B2 (ja) | 2010-07-28 |
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JP (1) | JP4515165B2 (ja) |
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