JP2008260605A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1支持体14dがコンベア4との間で基板2の受け渡しを行うための第1位置にあるときに、昇降ユニット10が移載ユニット14を下降させ、コンベア4により搬送される基板2の下面より低い所定の下降位置まで第1支持体14dを下降させた後、移載ユニット14を上昇させることによりコンベア4により搬送された基板2をコンベア4から持ち上げる。第1支持体14dがコンベア4により搬送される基板2の上面より高い位置まで上昇した後、移載ユニット14が第1支持体14dを処理装置6との間で基板2の受け渡しを行うための第2位置までコンベア4を横断する方向に移動させ、第1支持体14dに載置された基板2を処理装置6に受け渡す。
【選択図】図7
Description
特許文献1の基板搬送装置のような補助コンベアを用いない場合であっても、基板を搬送コンベアと処理装置との間で移載するためのロボットを設置するためのスペース及びロボットアームの移動スペースを確保しなければならないという問題は依然として残る。
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、より少ないスペースで基板の適切な移載を可能とする基板搬送装置を提供することにある。
そして、コンベアと支持体の間で基板の受け渡しを行うための第1位置において昇降手段が移載手段を最も下降させた場合には、コンベアにより搬送される基板の下面より低い所定の下降位置まで支持体が下降する。このため、コンベアにより搬送される基板は支持体に干渉されることなく支持体の上方を通過する。
また、上記基板搬送装置において、上記支持体は、それぞれ棒状をなして一端が上記移載手段に保持されており、上記コンベアには上記昇降手段によって下降する上記支持体のそれぞれを収容する凹所が上記コンベアを横切る方向に形成されていることを特徴とする(請求項2)。
更に、上記基板搬送装置において、上記支持体は、上記基板を載置可能に設けられた複数の第1支持体と、上記第1支持体に載置される基板の上面より上方に位置し、上記第1支持体に載置される基板とは別の基板を載置可能な第2支持体とからなり、上記移載手段は、上記第1支持体と第2支持体とをそれぞれ独立して上記コンベアを横切る方向に移動可能であることを特徴とする(請求項3)。
更に、請求項3の基板搬送装置によれば、第1支持体によるコンベアから処理装置への基板の移載と、第2支持体による処理装置からコンベアへの基板の移載とを同時に行うことができる。また、第2支持体によるコンベアから処理装置への基板の移載と、第1支持体による処理装置からコンベアへの基板の移載とを同時に行うことができる。従って、処理装置で処理の完了した基板をコンベアに戻した後にコンベアから基板を処理装置に移載する場合に比べ、より効率良く基板の移載を行うことができる。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板搬送装置が適用される生産ラインの一部を概略的に示す平面図である。この生産ラインでは、例えば液晶表示パネルやプラズマディスプレイなどに用いられる薄板状のガラス基板(以下基板という)2の処理が行われる。
図1に示すように、この生産ラインでは複数の基板2がコンベア4により図中の矢印Aの方向に搬送される。コンベア4には、図示しない動力源によって動力が伝達されて回転する複数の搬送ローラ4aを備えた駆動ユニット4bが、コンベア4の側方両端部に搬送方向に沿って所定幅の間隙を置きながら複数配設されている。基板2は、搬送方向に対して側方となる両縁部がそれぞれ駆動ユニット4bの搬送ローラ4aに下面から支持され、搬送ローラ4aの回転によりコンベア4上を搬送される。コンベア4には、駆動ユニット4bの内方に、搬送方向における各駆動ユニット4bの位置と一致するようにして複数のエア噴出ユニット4cが図1に示すように並設されている。従って、搬送方向における各列の各エア噴出ユニット4cは、各駆動ユニット4bと同様に搬送方向に所定幅の間隙を置きながら配列される。各エア噴出ユニット4cは、図示しない圧縮エア供給源からエアが供給されるようになっており、搬送ローラ4aによって支持された基板2の下面より低い位置にあるエア噴出ユニット4cの上面から基板2の下面に向けてエアを噴出することにより、基板2と非接触で基板2を支持する。
図2は移載ユニット14の斜視図であって、図3は移載ユニット14の平面図、図4及び5はそれぞれ移載ユニット14が異なる状態にあるときの側面図、図6は移載ユニット14の正面図である。
図4乃至6に示すように、第2支持体14eは第1支持体14dの上方に位置すると共に、第2支持体14eの下端部は第1支持体14dに載置された基板2の上面より高い位置となるように構成されている。また、図6に示すように、摺動方向から見た場合の第1摺動部材14bの内側の幅は、基板2の幅より大きく設定されており、第1摺動部材14b及び第1支持体14d、並びに第2摺動部材14c及び第2支持体14eは、載置された基板2と干渉することなく、各図中の矢印B及びその逆方向に移動可能となっている。
図7には、移載ユニット14の第1支持体14dが水平方向で処理装置6から最も離間した位置である第1位置にある一方、第2支持体14eが水平方向で処理装置6に最も近接した位置である第2位置にある状態が示されている。即ち、第1支持体14d及び第2支持体14eは、図4に示す状態となっている。
図9は、このようにして移載ユニット14が最も上昇したときの、図7中のVIII−VIII線における断面図である。図9に示すように、基板2を載置してコンベア4から持ち上げた第1支持体14dは、後からコンベア4によって搬送されてくる基板2の上面より高い位置(上昇位置)まで上昇しており、コンベア4により搬送される基板2は第1支持体14dに干渉されることなく第1支持体14dの下方を通過できるようになっている。
移載ユニット14が最も上昇した状態になると、第2支持体14eは図9中に破線で示すように、未処理の基板2を上面に載置してコンベア4から持ち上げた状態で、後からコンベア4によって搬送されてくる基板2の上面より高い位置(上昇位置)まで上昇している。従って、コンベア4により搬送される基板2は第2支持体14eに干渉されることなく第2支持体14eの下方を通過できるようになっている。
即ち、第1支持体14dが第1位置にあると共に第2支持体14eが第2位置にあるときには、移載ユニット14が昇降ユニット10によって最も下降した状態から上昇することにより、コンベア4にある未処理の基板2が第1支持体14dに受け渡されると共に、処理装置6にある処理済みの基板2が第2支持体14eに受け渡される。そして、移載ユニット14が最も上昇した状態になると、移載ユニット14は、第1摺動部材14bをコンベア4側から処理装置6側に摺動させると共に、第2摺動部材14cを処理装置6側からコンベア4側に摺動させる。このような第1摺動部材14b及び第2摺動部材14cの摺動により、未処理の基板2を載置した第1支持体14dがコンベア4を横断する方向に第1位置から第2位置に向けて移動すると共に、処理済みの基板2を載置した第2支持体14eがコンベア4を横断する方向に第2位置から第1位置に向けて移動する。
以上では、移載ユニット14による基板2の移載について説明したが、前述したように移載ユニット16も移載ユニット14と同様に構成されるものであり、移載ユニット16によりコンベア4と処理装置8との間の基板2の移載、及び待機状態への移行も上述した移載ユニット14と同様にして行われる。
以上で本発明の一実施形態に係る基板搬送装置についての説明を終えるが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
例えば、上記実施形態では、コンベア4の側方外側に配置した昇降ユニット10に移載ユニット14を連結して移載ユニット14を昇降させるようにしたが、昇降ユニット10の配置はコンベア4の側方外側に限られるものではない。例えば、天井から吊り下げるなどしてコンベア4の上方に配設した昇降ユニット10により移載ユニット14を昇降させるようにしても良い。このように昇降ユニット10を配設した場合には、床面に昇降ユニット10を設置するためのスペースも不要となる。このような構成は移載ユニット16及び昇降ユニット12においても同様に可能である。
4 コンベア
4d,4e 凹所
6,8 処理装置
10,12 昇降ユニット(昇降手段)
14,16 移載ユニット(移載手段)
14d 第1支持体(支持体)
14e 第2支持体(支持体)
Claims (3)
- コンベアにより搬送された基板を、上記コンベアに沿って配設された処理装置に移送するための基板搬送装置において、
上記基板を載置可能に上記コンベアを横断する方向に延設された複数の支持体を下方に備えて上記コンベアの上方に配設され、上記コンベアと上記支持体の間で上記基板の受け渡しを行うための第1位置と上記処理装置と上記支持体の間で上記基板の受け渡しを行うための第2位置との間で、上記コンベアを横断する方向に上記支持体を移動可能な移載手段と、
上記コンベアにより搬送される上記基板の移動軌跡の外側に配設されて上記移載手段に連結され、上記支持体が上記第1位置にあるときに、上記コンベアにより搬送される上記基板の下面より低い所定の下降位置まで上記支持体が下降する一方、上記コンベアにより搬送される上記基板の上面より高い所定の上昇位置まで上記支持体が上昇するよう上記移載手段を昇降させる昇降手段と
を備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 上記支持体は、それぞれ棒状をなして一端が上記移載手段に保持されており、
上記コンベアには上記昇降手段によって下降する上記支持体のそれぞれを収容する凹所が上記コンベアを横切る方向に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 上記支持体は、
上記基板を載置可能に設けられた複数の第1支持体と、
上記第1支持体に載置される基板の上面より上方に位置し、上記第1支持体に載置される基板とは別の基板を載置可能な第2支持体とからなり、
上記移載手段は、上記第1支持体と第2支持体とをそれぞれ独立して上記コンベアを横切る方向に移動可能であることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板搬送装置。
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