JPH01140831U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01140831U JPH01140831U JP3633388U JP3633388U JPH01140831U JP H01140831 U JPH01140831 U JP H01140831U JP 3633388 U JP3633388 U JP 3633388U JP 3633388 U JP3633388 U JP 3633388U JP H01140831 U JPH01140831 U JP H01140831U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- belt
- transfer
- fulcrum
- transfers
- Prior art date
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- Pending
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Description
第１図ａはこの考案の一実施例を示す平面図、
同図ｂは同図ａの主要部を処理ステージと反対の
方向からみた側断面図、同図ｃは同図ａの主要部
の一部を処理ステージの方向からみた側断面図、
第２図ａは従来の搬送機構を示す側断面図、同図
ｂは同図ａの平面図である。 図中、１２〜１５：軸、１２ａ，１２ｂ，１３
ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ：
プーリ、１６：ベース板、１７：ストツパ、１８
：搬送アーム、２０：ガイド、２１：処理ステー
ジ、２２：昇降ピン、３０：モータ、３３：ピス
トン、３５：シリンダ、３６：ピストンロツド、
３７：カツプリング片。
同図ｂは同図ａの主要部を処理ステージと反対の
方向からみた側断面図、同図ｃは同図ａの主要部
の一部を処理ステージの方向からみた側断面図、
第２図ａは従来の搬送機構を示す側断面図、同図
ｂは同図ａの平面図である。 図中、１２〜１５：軸、１２ａ，１２ｂ，１３
ａ，１３ｂ，１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂ：
プーリ、１６：ベース板、１７：ストツパ、１８
：搬送アーム、２０：ガイド、２１：処理ステー
ジ、２２：昇降ピン、３０：モータ、３３：ピス
トン、３５：シリンダ、３６：ピストンロツド、
３７：カツプリング片。
Claims (1)
- ウエハをベルトに載せて搬送するベルト機構と
、前記ベルト上の所定位置に搬送されたウエハの
下方に進入して、前記ウエハを次の搬送位置に搬
送する搬送アームとよりなり、前記ベルト機構は
、ウエハの搬送開始点近傍に位置するプーリを支
点として円弧運動により上下動させる駆動機構を
具備したことを特徴とするウエハ搬送系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3633388U JPH01140831U (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3633388U JPH01140831U (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01140831U true JPH01140831U (ja) | 1989-09-27 |
Family
ID=31262943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3633388U Pending JPH01140831U (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01140831U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008126454A1 (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-23 | Ihi Corporation | 基板搬送装置 |
-
1988
- 1988-03-22 JP JP3633388U patent/JPH01140831U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008126454A1 (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-23 | Ihi Corporation | 基板搬送装置 |
| JP2008260605A (ja) * | 2007-04-11 | 2008-10-30 | Ihi Corp | 基板搬送装置 |