JPH0260246U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0260246U JPH0260246U JP13970488U JP13970488U JPH0260246U JP H0260246 U JPH0260246 U JP H0260246U JP 13970488 U JP13970488 U JP 13970488U JP 13970488 U JP13970488 U JP 13970488U JP H0260246 U JPH0260246 U JP H0260246U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- suction nozzle
- nozzle holder
- transport
- holds
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の実施例1を示す概念図、第2
図は本考案の実施例2を示す概念図、第3図は従
来のペレツト搬送部を示す概念図である。 1……吸着ノズル、2……搬送アーム、3……
吸着ノズルホルダ、4……コイルバネ、5……上
下スライドユニツト、6……フツク、6a……マ
イクロメータヘツド、7……電磁石、8……偏芯
カム、9……レバー、10……バネフツク位置。
図は本考案の実施例2を示す概念図、第3図は従
来のペレツト搬送部を示す概念図である。 1……吸着ノズル、2……搬送アーム、3……
吸着ノズルホルダ、4……コイルバネ、5……上
下スライドユニツト、6……フツク、6a……マ
イクロメータヘツド、7……電磁石、8……偏芯
カム、9……レバー、10……バネフツク位置。
Claims (1)
- 半導体素子を真空吸着する吸着ノズルを備えた
搬送する装置において、先端部に上下スライドユ
ニツトを備えた搬送アームと、前記スライドユニ
ツトにより上下動可能に支持された吸着ノズルホ
ルダと、搬送アームに設けられ上下方向に高さ調
整可能なフツクと、前記フツクと吸着ノズルホル
ダを連結保持するコイルバネと、搬送アームと吸
着ノズルホルダの間に設けられ給電時に吸着ノズ
ルホルダを保持固定する電磁石とを有することを
特徴とする半導体素子搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13970488U JPH0260246U (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13970488U JPH0260246U (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0260246U true JPH0260246U (ja) | 1990-05-02 |
Family
ID=31403211
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13970488U Pending JPH0260246U (ja) | 1988-10-26 | 1988-10-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0260246U (ja) |
-
1988
- 1988-10-26 JP JP13970488U patent/JPH0260246U/ja active Pending
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