JPS63167737U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63167737U JPS63167737U JP1987062211U JP6221187U JPS63167737U JP S63167737 U JPS63167737 U JP S63167737U JP 1987062211 U JP1987062211 U JP 1987062211U JP 6221187 U JP6221187 U JP 6221187U JP S63167737 U JPS63167737 U JP S63167737U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- orientation flat
- storage carrier
- transfer arm
- adsorption section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims 2
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 claims 1
Description
図は本考案の実施例の斜視図である。
1……エレベータ、2……パルスモータ、3…
…ウエハー支持部、4……ウエハー吸着部、5…
…OF検出部、6……OF押し当て板、7……中
心出し機構部、8……回転テーブル、9……電磁
クラツチ、10……パルスモータ、11……パル
スモータ、12……初期点センサー、13……マ
ーキング部、14……レーザビーム。
…ウエハー支持部、4……ウエハー吸着部、5…
…OF検出部、6……OF押し当て板、7……中
心出し機構部、8……回転テーブル、9……電磁
クラツチ、10……パルスモータ、11……パル
スモータ、12……初期点センサー、13……マ
ーキング部、14……レーザビーム。
Claims (1)
- ウエハー収納キヤリアを上下させるエレベータ
と、ウエハーの中心出しを行う中心出し機構部と
、ウエハーを収納キヤリアから出し入れする搬送
アームとから構成される搬送装置において、前記
搬送アームが、ウエハー吸着着部と前記ウエハの
オリエンテーシヨンフラツトを検出する検出部と
前記オリエンテーシヨンフラツトを押圧てる押し
当て板とを有することを特徴とするレーザマーキ
ング用ウエハー搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987062211U JPH064584Y2 (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | レ−ザマ−キング用ウエハ−搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987062211U JPH064584Y2 (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | レ−ザマ−キング用ウエハ−搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63167737U true JPS63167737U (ja) | 1988-11-01 |
JPH064584Y2 JPH064584Y2 (ja) | 1994-02-02 |
Family
ID=30896267
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987062211U Expired - Lifetime JPH064584Y2 (ja) | 1987-04-23 | 1987-04-23 | レ−ザマ−キング用ウエハ−搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH064584Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI607817B (zh) * | 2015-09-02 | 2017-12-11 | E&R Eng Corp | Laser printing apparatus and method |
-
1987
- 1987-04-23 JP JP1987062211U patent/JPH064584Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI607817B (zh) * | 2015-09-02 | 2017-12-11 | E&R Eng Corp | Laser printing apparatus and method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH064584Y2 (ja) | 1994-02-02 |