JPS6295843U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6295843U JPS6295843U JP18638885U JP18638885U JPS6295843U JP S6295843 U JPS6295843 U JP S6295843U JP 18638885 U JP18638885 U JP 18638885U JP 18638885 U JP18638885 U JP 18638885U JP S6295843 U JPS6295843 U JP S6295843U
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- JP
- Japan
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- unloader
- suction pad
- unloader arm
- same diameter
- arm
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- Pending
Links
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 claims 3
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Feeding Of Workpieces (AREA)
Description
第１図はこの考案に係るウエーハ自動平面研削
盤のアンローダ装置の正面図、第２図及び第３図
はその動作状態を示す図面、第４図及び第５図は
ウエーハ自動平面研削盤の研削システムを示す概
略図、第６図は従来のアンローダ装置の正面図、
第７図及び第８図はその欠点を説明する図面であ
る。 １４……アンローダアーム、１６……昇降部材
、１７……アンローダアーム旋回用モータ、１８
……平行リンク機構、１９……吸着パツド取付台
、２１……ウエハーチヤツク、２２……ウエーハ
、２３……吸着パツド、２４……バランススプリ
ング、２５……アンローダアーム昇降用シリンダ
。
盤のアンローダ装置の正面図、第２図及び第３図
はその動作状態を示す図面、第４図及び第５図は
ウエーハ自動平面研削盤の研削システムを示す概
略図、第６図は従来のアンローダ装置の正面図、
第７図及び第８図はその欠点を説明する図面であ
る。 １４……アンローダアーム、１６……昇降部材
、１７……アンローダアーム旋回用モータ、１８
……平行リンク機構、１９……吸着パツド取付台
、２１……ウエハーチヤツク、２２……ウエーハ
、２３……吸着パツド、２４……バランススプリ
ング、２５……アンローダアーム昇降用シリンダ
。
Claims (1)
- アンローダアーム昇降用シリンダにより昇降可
能な昇降部材にアンローダアーム旋回用モータを
設け、このモータの出力軸にアンローダアームを
設け、このアンローダアームの先端に平行リンク
機構を介してウエーハと同等径若しくは略同等径
の吸着面を有する吸着パツドを設け、かつ、この
吸着パツドとアンローダアームとの間にその弾力
が吸着パツドの重力と釣り合つたバランススプリ
ングを張設したことを特徴とするウエーハ自動平
面研削盤のアンローダ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18638885U JPS6295843U (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18638885U JPS6295843U (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6295843U true JPS6295843U (ja) | 1987-06-18 |
Family
ID=31135901
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18638885U Pending JPS6295843U (ja) | 1985-12-03 | 1985-12-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6295843U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0423718A (ja) * | 1990-05-18 | 1992-01-28 | Nissan Motor Co Ltd | 搬送装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5544875U (ja) * | 1978-09-18 | 1980-03-24 | ||
| JPS5840341B2 (ja) * | 1978-12-22 | 1983-09-05 | エヌ・ベ−・フイリツプス・フル−イランペンフアブリケン | 半導体デバイス |
-
1985
- 1985-12-03 JP JP18638885U patent/JPS6295843U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5544875U (ja) * | 1978-09-18 | 1980-03-24 | ||
| JPS5840341B2 (ja) * | 1978-12-22 | 1983-09-05 | エヌ・ベ−・フイリツプス・フル−イランペンフアブリケン | 半導体デバイス |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0423718A (ja) * | 1990-05-18 | 1992-01-28 | Nissan Motor Co Ltd | 搬送装置 |