JPS6211562U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6211562U JPS6211562U JP10310585U JP10310585U JPS6211562U JP S6211562 U JPS6211562 U JP S6211562U JP 10310585 U JP10310585 U JP 10310585U JP 10310585 U JP10310585 U JP 10310585U JP S6211562 U JPS6211562 U JP S6211562U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface plate
- wafer
- brush
- supported
- driven
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
第１図は本考案の半導体ウエハ貼付用ワツクス
の除去装置の実施例の斜視図、第２図イは第１図
のカツプ型ブラシのウエハ貼付定盤面に対する接
触状況説明図、ロはイの平面図、第３図は従来ロ
ールブラシによるワツクス除去説明図、第４図は
第３図のエツジ部の詳細説明図である。 １……半導体ウエハ、２……ウエハ貼付定盤、
５……カツプ型ブラシ、６……ブラシ昇降用シリ
ンダ、７……ブラシ回転用モータ、８……ブラシ
トラバース用モータ、９……貼付定盤支持台、１
３……ブラシホルダー、１５……フレーム。
の除去装置の実施例の斜視図、第２図イは第１図
のカツプ型ブラシのウエハ貼付定盤面に対する接
触状況説明図、ロはイの平面図、第３図は従来ロ
ールブラシによるワツクス除去説明図、第４図は
第３図のエツジ部の詳細説明図である。 １……半導体ウエハ、２……ウエハ貼付定盤、
５……カツプ型ブラシ、６……ブラシ昇降用シリ
ンダ、７……ブラシ回転用モータ、８……ブラシ
トラバース用モータ、９……貼付定盤支持台、１
３……ブラシホルダー、１５……フレーム。
Claims (1)
- 半導体ウエハがワツクスを介在し貼り付けられ
、かつ、回転駆動されるウエハ貼付定盤を支持台
面に支持するフレーム上に取り付けられた貼付定
盤支持台と、ブラシボルダーに支持され上記ウエ
ハ貼付定盤面に対し直交方向に変位駆動されて先
端が該ウエハ貼付定盤面に接するように取り付け
られ、かつ、該ウエハ貼付定盤面に対し平行方向
に回転駆動されるように形成されているカツプ型
ブラシと、上記フレームに支持され該ウエハ貼付
定盤の直径方向へ変位駆動されるように取り付け
られている上記ブラシホルダーとを設けたことを
特徴とする半導体ウエハ貼付用ワツクスの除去装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10310585U JPS6211562U (ja) | 1985-07-05 | 1985-07-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10310585U JPS6211562U (ja) | 1985-07-05 | 1985-07-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6211562U true JPS6211562U (ja) | 1987-01-24 |
Family
ID=30975348
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10310585U Pending JPS6211562U (ja) | 1985-07-05 | 1985-07-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6211562U (ja) |
-
1985
- 1985-07-05 JP JP10310585U patent/JPS6211562U/ja active Pending