JPS6172852U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案のウエハーのローデイング装置
の一部破断側面図、第２図は同装置の平面図、第
３図はキヤリヤと第１センサーの移動軌跡の平面
図、第４図はセンサー部分の他の実施例の一部の
側面図である。 １……ウエハーのローデイング装置、２……ラ
ツピング装置、３……支持台、４……第１アーム
、６……駆動源としての第１ギヤモータ、７……
第２アーム、９……係合部、１０……駆動源とし
ての第２ギヤモータ、１２……第１の上下動手段
としてのシリンダ、１３……駆動軸、１５……第
２の上下動手段としてのシリンダ、１７……ヘツ
ド、１９……チヤツク支持体、２０……駆動源と
してのギヤモータ、２２……キヤリヤ、２３……
ウエハー、２４……チヤツク、２７……第１セン
サー、２８……第２センサー、２９……中心孔、
３０……偏心孔。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 支持台に回転自在に支持され駆動源により回動
   する第１アームと、この第１アームの先方に回転
   自在に支持され駆動源により回動する第２アーム
   と、上記第１アームの先方に設けられ上記第２ア
   ームの回転中心上に位置する第１の上下動手段と
   、この第１の上下動手段に支持されラツピング装
   置の中心軸部とにはまり合う係合部と、上記第２
   アームの先方に設けられた第２の上下動手段と、
   この第２の上下動手段により上下動するヘツドと
   、このヘツドに回転自在に支持され駆動源により
   回動するチヤツク支持体と、このチヤツク支持体
   に設けられた複数のウエハー保持用のチヤツクと
   、上記チヤツク支持体に設けられ上記ラツピング
   装置のキヤリヤの中心位置およびウエハーの位置
   を検出するセンサーとを具備することを特徴とす
   るウエハーのローデイング装置。