JPS6239968U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6239968U JPS6239968U JP7269785U JP7269785U JPS6239968U JP S6239968 U JPS6239968 U JP S6239968U JP 7269785 U JP7269785 U JP 7269785U JP 7269785 U JP7269785 U JP 7269785U JP S6239968 U JPS6239968 U JP S6239968U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- dressing
- suction
- dressing plate
- flat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 claims description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
第1図は従来装置の側断面図、第2図は本考案
の側断面図、第3図は同平面図、第4図は本考案
の他の実施例側断面図。 10:多孔性物質、12:吸着テーブル、14
:ドレツシングプレート、16:ドレツシングプ
レート保持板、18:孔、20:接着テープ、2
2:フレツキシブル部材。
の側断面図、第3図は同平面図、第4図は本考案
の他の実施例側断面図。 10:多孔性物質、12:吸着テーブル、14
:ドレツシングプレート、16:ドレツシングプ
レート保持板、18:孔、20:接着テープ、2
2:フレツキシブル部材。
補正 昭61.9.25
考案の名称を次のように補正する。
考案の名称 ドレツシングプレート保持装置
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 高速回転するブレードにより、吸着テーブ
ル上に載置された被加工物に、ダイシング加工を
行なうダイシングマシンにおいて、前記吸着テー
ブルの吸着面を覆うことのできる板状部材にドレ
ツシングプレートを固定し、ドレツシング時には
前記板状部材を前記吸着テーブル上に吸着固定す
ることを特徴とするドレツシングプレート保持装
置。 (2) 実用新案登録請求の範囲第1項の記載にお
いて、前記板状部材は、前記吸着テーブルの吸着
面を覆うことのできる接着テープと、前記接着テ
ープに貼り付けられ、その中央部に前記ドレツシ
ングプレートを挿入することのできる孔を形成さ
れたドレツシングプレート保持板であることを特
徴とするドレツシングプレート保持装置。 (3) 実用新案登録請求の範囲第1項の記載にお
いて、前記板状部材は、前記吸着テープの吸着面
を覆うことができ、かつドレツシングプレートを
固定する面が平面もしくはドレツシングプレート
を嵌合固定するための凹部を形成されたフレツキ
シブル部材であることを特徴とするドレツシング
プレート保持装置。 (4) 実用新案登録請求の範囲第1項の記載にお
いて、前記板状部材は、前記吸着テーブルの吸着
面を覆うことができ、かつドレツシングプレート
を固定する面が平面もしくはドレツシングプレー
トを嵌合固定するための凹部を形成され、吸着テ
ーブルと接する面が平面度よく形成された剛性部
材であることを特徴とするドレツシングプレート
保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985072697U JPH031172Y2 (ja) | 1985-05-16 | 1985-05-16 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985072697U JPH031172Y2 (ja) | 1985-05-16 | 1985-05-16 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6239968U true JPS6239968U (ja) | 1987-03-10 |
JPH031172Y2 JPH031172Y2 (ja) | 1991-01-16 |
Family
ID=30916378
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985072697U Expired JPH031172Y2 (ja) | 1985-05-16 | 1985-05-16 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH031172Y2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008221360A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | ドレッシング方法およびドレッサボード |
JP2009297855A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | フランジの端面修正方法 |
JP2010264575A (ja) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の保持ユニット |
JP5013202B2 (ja) * | 2005-10-14 | 2012-08-29 | 旭硝子株式会社 | 研磨パッド用ツルーイング部材及び研磨パッドのツルーイング方法 |
JP2013093383A (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | 板状物の保持方法及び板状物の加工方法 |
JP2016000434A (ja) * | 2014-06-11 | 2016-01-07 | 株式会社ディスコ | ドレッシングボードの保持治具 |
JP2019084590A (ja) * | 2017-11-01 | 2019-06-06 | 株式会社ディスコ | ドレッシング用ウェーハ及びドレッシング方法 |
JP2021016905A (ja) * | 2019-07-18 | 2021-02-15 | 株式会社ディスコ | ドレッシング部材及びドレッシング方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011183501A (ja) * | 2010-03-08 | 2011-09-22 | Disco Corp | 切削ブレードのドレッシング方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4932071U (ja) * | 1972-06-29 | 1974-03-20 |
-
1985
- 1985-05-16 JP JP1985072697U patent/JPH031172Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4932071U (ja) * | 1972-06-29 | 1974-03-20 |
Cited By (8)
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JP2021016905A (ja) * | 2019-07-18 | 2021-02-15 | 株式会社ディスコ | ドレッシング部材及びドレッシング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH031172Y2 (ja) | 1991-01-16 |
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