JPH01138655U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01138655U JPH01138655U JP3439988U JP3439988U JPH01138655U JP H01138655 U JPH01138655 U JP H01138655U JP 3439988 U JP3439988 U JP 3439988U JP 3439988 U JP3439988 U JP 3439988U JP H01138655 U JPH01138655 U JP H01138655U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary table
- holes
- positioning jig
- grinding surface
- pressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案装置の第１の実施例を示す斜視
図、第２図は第１図の縦断側面図、第３図は本考
案装置の第２の実施例を示す縦断側面図、第４図
は第３図中の位置決め治具の貫通孔の斜視図、第
５図は従来装置の側面図である。 １１……回転テーブル、１１ａ……研削面、１
２……位置決め治具、１２ａ……貫通孔、１３…
…押圧手段、ａ……ウエーハ。
図、第２図は第１図の縦断側面図、第３図は本考
案装置の第２の実施例を示す縦断側面図、第４図
は第３図中の位置決め治具の貫通孔の斜視図、第
５図は従来装置の側面図である。 １１……回転テーブル、１１ａ……研削面、１
２……位置決め治具、１２ａ……貫通孔、１３…
…押圧手段、ａ……ウエーハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上面に研削面を有する回転テーブルと、 回転テーブル上に対設されウエーハを挿入保持
する複数の貫通孔を有する位置決め治具と、 位置決め治具の貫通孔に挿入されたウエーハを
回転テーブルの研削面に押圧する押圧手段とを具
備したことを特徴とするウエーハ研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3439988U JPH01138655U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3439988U JPH01138655U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01138655U true JPH01138655U (ja) | 1989-09-21 |
Family
ID=31261109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3439988U Pending JPH01138655U (ja) | 1988-03-14 | 1988-03-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01138655U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009291886A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Nikon Corp | 研磨装置 |
-
1988
- 1988-03-14 JP JP3439988U patent/JPH01138655U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009291886A (ja) * | 2008-06-05 | 2009-12-17 | Nikon Corp | 研磨装置 |