JPS63124465U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63124465U JPS63124465U JP1468187U JP1468187U JPS63124465U JP S63124465 U JPS63124465 U JP S63124465U JP 1468187 U JP1468187 U JP 1468187U JP 1468187 U JP1468187 U JP 1468187U JP S63124465 U JPS63124465 U JP S63124465U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- polishing tool
- view
- jig
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 11
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims 1
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical group C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Description
第１図ないし第３図は、この考案の研磨工具の
第１の例を示すもので、第１図は研磨工具の側面
図、第２図は第１図の―線断面図、第３図は
研磨フイルム体の平面図、第４図および第５図は
この考案の第２の例を示すもので、第４図は使用
形態を示す正面図、第５図は研磨フイルム体の平
面図、第６図および第７図はこの考案の第３の例
を示すもので、第６図は研磨工具の斜視図、第７
図はその使用形態を示す斜視図である。 １…研磨工具、２…把手部、３…台座部、４…
研磨フイルム体、５…治具、７…研磨フイルム体
、１０…台座部、１１…研磨フイルム体。
第１の例を示すもので、第１図は研磨工具の側面
図、第２図は第１図の―線断面図、第３図は
研磨フイルム体の平面図、第４図および第５図は
この考案の第２の例を示すもので、第４図は使用
形態を示す正面図、第５図は研磨フイルム体の平
面図、第６図および第７図はこの考案の第３の例
を示すもので、第６図は研磨工具の斜視図、第７
図はその使用形態を示す斜視図である。 １…研磨工具、２…把手部、３…台座部、４…
研磨フイルム体、５…治具、７…研磨フイルム体
、１０…台座部、１１…研磨フイルム体。
Claims (1)
- ポリイミドフイルム中に砥粒を分散してなる研
磨フイルムを治具に装着したことを特徴とする研
磨工具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1468187U JPS63124465U (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1468187U JPS63124465U (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63124465U true JPS63124465U (ja) | 1988-08-12 |
Family
ID=30804894
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1468187U Pending JPS63124465U (ja) | 1987-02-03 | 1987-02-03 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63124465U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6274577A (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-06 | Ube Ind Ltd | 研磨シ−トおよびその製法 |
-
1987
- 1987-02-03 JP JP1468187U patent/JPS63124465U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6274577A (ja) * | 1985-09-27 | 1987-04-06 | Ube Ind Ltd | 研磨シ−トおよびその製法 |