JPS6332847U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6332847U JPS6332847U JP12694886U JP12694886U JPS6332847U JP S6332847 U JPS6332847 U JP S6332847U JP 12694886 U JP12694886 U JP 12694886U JP 12694886 U JP12694886 U JP 12694886U JP S6332847 U JPS6332847 U JP S6332847U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- positioning
- wafer height
- positioning means
- wafers
- Prior art date
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- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 11
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例のウエーハ抜取り
用補助治具の斜視図、第２図は第１図の回転ロー
ラの側面図、第３図は第１図の補助治具の使用時
の概略説明図、第４図はウエーハ高さ変化手段の
他の例の側面図、第５図はウエーハ抜取り用補助
治具の他の例の斜視図である。第６図は従来のウ
エーハ抜取り状態を示す概略断面図である。 １……キヤリヤ、２……半導体ウエーハ、１０
……補助機本体、１１……開口部、１２……位置
決め手段、１３……ウエーハ高さ変化手段（回転
ローラ）、２１……位置決め手段（側面）、２２
……位置決め手段（端面）、２３……ウエーハ高
さ変化手段（傾斜状上面）。
用補助治具の斜視図、第２図は第１図の回転ロー
ラの側面図、第３図は第１図の補助治具の使用時
の概略説明図、第４図はウエーハ高さ変化手段の
他の例の側面図、第５図はウエーハ抜取り用補助
治具の他の例の斜視図である。第６図は従来のウ
エーハ抜取り状態を示す概略断面図である。 １……キヤリヤ、２……半導体ウエーハ、１０
……補助機本体、１１……開口部、１２……位置
決め手段、１３……ウエーハ高さ変化手段（回転
ローラ）、２１……位置決め手段（側面）、２２
……位置決め手段（端面）、２３……ウエーハ高
さ変化手段（傾斜状上面）。
Claims (1)
- 多数のウエーハを整列収納したキヤリヤを位置
決めする位置決め手段と、この位置決め手段と所
定の位置関係に配設されてキヤリヤ内の下部開口
部内に挿入されてウエーハ高さを変化するウエー
ハ高さ変化手段とを具備してなるウエーハ抜取り
用補助治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12694886U JPS6332847U (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12694886U JPS6332847U (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6332847U true JPS6332847U (ja) | 1988-03-03 |
Family
ID=31021233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12694886U Pending JPS6332847U (ja) | 1986-08-20 | 1986-08-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6332847U (ja) |
-
1986
- 1986-08-20 JP JP12694886U patent/JPS6332847U/ja active Pending