JPS6455553U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6455553U JPS6455553U JP14769987U JP14769987U JPS6455553U JP S6455553 U JPS6455553 U JP S6455553U JP 14769987 U JP14769987 U JP 14769987U JP 14769987 U JP14769987 U JP 14769987U JP S6455553 U JPS6455553 U JP S6455553U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- side wall
- wall portion
- ion implantation
- holding means
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 230000002779 inactivation Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は本考案によるイオン注入装置の一例の
要部の断面図、第２図は他の例の要部の断面図、
第３図はさらに他の例の要部の断面図、第４図は
従来装置の要部の断面図である。 １はウエフア支持台、２は半導体ウエフア、２
ａはその主面、３は保持手段、３ａは側壁部、４
は材料層である。
要部の断面図、第２図は他の例の要部の断面図、
第３図はさらに他の例の要部の断面図、第４図は
従来装置の要部の断面図である。 １はウエフア支持台、２は半導体ウエフア、２
ａはその主面、３は保持手段、３ａは側壁部、４
は材料層である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 半導体ウエフアの保持手段を有するイオン注入
装置において、 前記半導体ウエフアの主面上に位置する前記保
持手段の側壁部をひさし状に形成するかまたは（
および）前記側壁部に前記ウエフアの半導体材料
またはその不活性化材料を形成したイオン注入装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14769987U JPS6455553U (ja) | 1987-09-28 | 1987-09-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14769987U JPS6455553U (ja) | 1987-09-28 | 1987-09-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6455553U true JPS6455553U (ja) | 1989-04-06 |
Family
ID=31418345
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14769987U Pending JPS6455553U (ja) | 1987-09-28 | 1987-09-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6455553U (ja) |
-
1987
- 1987-09-28 JP JP14769987U patent/JPS6455553U/ja active Pending