JPH01173940U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01173940U JPH01173940U JP6892788U JP6892788U JPH01173940U JP H01173940 U JPH01173940 U JP H01173940U JP 6892788 U JP6892788 U JP 6892788U JP 6892788 U JP6892788 U JP 6892788U JP H01173940 U JPH01173940 U JP H01173940U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- placement section
- section
- setter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 24
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図ａ及びｂは本考案によるウエハー搬送装
置の実施例を夫々概略的に示した平面図と正面図
、第２図ａ乃至ｅは上記実施例の作用を示した説
明図、第３図ａ及びｂはセツタと搬送アームとに
よつてウエハーを挾み込む状態を示した説明図、
第４図は従来のウエハー搬送装置を概略的に示し
た正面図である。 １…カセツト、２…ウエハー、５…エレベータ
（カセツト支持体）、６…搬送アーム、６ａ…ウ
エハー載置部、６ｂ…アーム部、６ｃ…位置決め
部、７…セツタ。
置の実施例を夫々概略的に示した平面図と正面図
、第２図ａ乃至ｅは上記実施例の作用を示した説
明図、第３図ａ及びｂはセツタと搬送アームとに
よつてウエハーを挾み込む状態を示した説明図、
第４図は従来のウエハー搬送装置を概略的に示し
た正面図である。 １…カセツト、２…ウエハー、５…エレベータ
（カセツト支持体）、６…搬送アーム、６ａ…ウ
エハー載置部、６ｂ…アーム部、６ｃ…位置決め
部、７…セツタ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 複数枚のウエハーを上下方向に所定間隔で収
納するカセツトからウエハーを取出し搬送するウ
エハー搬送装置において；上記カセツトを支持し
上下に移動可能なカセツト支持体と、ウエハーを
載置するウエハー載置部とこれに続くアーム部と
上記ウエハー載置部と上記アーム部との境界にお
いて上記ウエハー載置部よりも上方に突出し上記
ウエハーの円周とほぼ同形の円弧状形状を有する
位置決め部とを夫々備え、水平方向に移動可能な
搬送アームと、上記カセツトを挾んで上記搬送ア
ームと対向すると共に水平方向に移動可能であり
、上記ウエハー円周とほぼ同形の円弧状形状を有
するセツタとを具備し、上記搬送アームは、上記
ウエハー載置部が上記カセツト内のウエハーの直
下に位置しかつ上記位置決め部が上記ウエハーの
外周に当接できるように上記カセツト内に進入し
、上記セツタも上記ウエハー外周に当接できるよ
うに上記カセツト内に進入し、上記搬送アームの
位置決め部と上記セツタとで上記ウエハーを挾み
込むことによつて上記ウエハーを上記ウエハー載
置部に対して位置決めし、上記カセツト支持体が
上記カセツトを降下させて上記ウエハーを上記ウ
エハー載置部に載置させるようにしたことを特徴
とするウエハー搬送装置。 ２ 上記セツタは、上記カセツト内への進入によ
り上記ウエハー外周に当接した後、上記ウエハー
を押して上記位置決め部に当接させることを特徴
とする請求項１に記載のウエハー搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6892788U JPH01173940U (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6892788U JPH01173940U (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01173940U true JPH01173940U (ja) | 1989-12-11 |
Family
ID=31294221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6892788U Pending JPH01173940U (ja) | 1988-05-25 | 1988-05-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01173940U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04369243A (ja) * | 1991-06-17 | 1992-12-22 | Nissin Electric Co Ltd | ウエ−ハ−搬送機構 |
| US8500916B2 (en) | 2004-11-05 | 2013-08-06 | HGST Netherlands B.V. | Method for aligning wafers within wafer processing equipment |
-
1988
- 1988-05-25 JP JP6892788U patent/JPH01173940U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04369243A (ja) * | 1991-06-17 | 1992-12-22 | Nissin Electric Co Ltd | ウエ−ハ−搬送機構 |
| US8500916B2 (en) | 2004-11-05 | 2013-08-06 | HGST Netherlands B.V. | Method for aligning wafers within wafer processing equipment |