JPS62103255U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62103255U JPS62103255U JP19468485U JP19468485U JPS62103255U JP S62103255 U JPS62103255 U JP S62103255U JP 19468485 U JP19468485 U JP 19468485U JP 19468485 U JP19468485 U JP 19468485U JP S62103255 U JPS62103255 U JP S62103255U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor pattern
- semiconductor
- pad
- position detection
- prober
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は半導体ペレツトの平面図、第２図は多
数の半導体ペレツトが形成されたシリコンウエハ
の平面図、第３図は位置検出用パツドの一例を示
す断面図、第４図はプローバ側の構成を示す断面
図、第５図は該プローバ側の制御回路に記憶され
たフローチヤートを示す図である。 ａ……ボンデイングパツド、ｂ……位置検出用
パツド。
数の半導体ペレツトが形成されたシリコンウエハ
の平面図、第３図は位置検出用パツドの一例を示
す断面図、第４図はプローバ側の構成を示す断面
図、第５図は該プローバ側の制御回路に記憶され
たフローチヤートを示す図である。 ａ……ボンデイングパツド、ｂ……位置検出用
パツド。
Claims (1)
- 半導体パターン上に形成されるボンデイングパ
ツドを外れる部位に、プローバによる位置検出用
のパツドを形成してあることを特徴とする半導体
ペレツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19468485U JPS62103255U (ja) | 1985-12-18 | 1985-12-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19468485U JPS62103255U (ja) | 1985-12-18 | 1985-12-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62103255U true JPS62103255U (ja) | 1987-07-01 |
Family
ID=31151878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19468485U Pending JPS62103255U (ja) | 1985-12-18 | 1985-12-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62103255U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02151048A (ja) * | 1988-12-01 | 1990-06-11 | Nec Corp | 半導体集積回路 |
-
1985
- 1985-12-18 JP JP19468485U patent/JPS62103255U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02151048A (ja) * | 1988-12-01 | 1990-06-11 | Nec Corp | 半導体集積回路 |