JPS6441130U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6441130U JPS6441130U JP13706087U JP13706087U JPS6441130U JP S6441130 U JPS6441130 U JP S6441130U JP 13706087 U JP13706087 U JP 13706087U JP 13706087 U JP13706087 U JP 13706087U JP S6441130 U JPS6441130 U JP S6441130U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chuck
- dummy
- dummy wafer
- transfer device
- adjacent
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第1図はこの考案の一実施例によるダミーウエ
ハ移し替え装置を示す斜視図、第2図は上記実施
例装置を制御するための制御装置を示すブロツク
図、第3図は従来のダミーウエハ移し替え装置を
示す斜視図、第4図は上記従来装置を制御するた
めの制御装置を示すブロツク図である。 図において、1……半導体ウエハ、2……ダミ
ーウエハ、3……拡散ボート、7……チヤツク、
21a,21b……センサ。なお、図中、同一の
符号は同一、又は相当部分を示している。
ハ移し替え装置を示す斜視図、第2図は上記実施
例装置を制御するための制御装置を示すブロツク
図、第3図は従来のダミーウエハ移し替え装置を
示す斜視図、第4図は上記従来装置を制御するた
めの制御装置を示すブロツク図である。 図において、1……半導体ウエハ、2……ダミ
ーウエハ、3……拡散ボート、7……チヤツク、
21a,21b……センサ。なお、図中、同一の
符号は同一、又は相当部分を示している。
Claims (1)
- 拡散ボート上に配列された半導体ウエハの両端
に隣接してダミーウエハを配置すべく、同ダミー
ウエハを把持して昇降駆動されるチヤツクを有す
るダミーウエハ移し替え装置において、上記チヤ
ツクに、上記半導体ウエハに近接もしくは接触し
たことを検知するセンサが設けられたことを特徴
とするダミーウエハ移し替え装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13706087U JPS6441130U (ja) | 1987-09-08 | 1987-09-08 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13706087U JPS6441130U (ja) | 1987-09-08 | 1987-09-08 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6441130U true JPS6441130U (ja) | 1989-03-13 |
Family
ID=31398144
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13706087U Pending JPS6441130U (ja) | 1987-09-08 | 1987-09-08 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6441130U (ja) |
-
1987
- 1987-09-08 JP JP13706087U patent/JPS6441130U/ja active Pending