JPH01127243U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01127243U JPH01127243U JP2357988U JP2357988U JPH01127243U JP H01127243 U JPH01127243 U JP H01127243U JP 2357988 U JP2357988 U JP 2357988U JP 2357988 U JP2357988 U JP 2357988U JP H01127243 U JPH01127243 U JP H01127243U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mounter
- wafer cassette
- section
- cassette holder
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第1図は本考案の一実施例のウエハカセツトホ
ルダを示す側面図、第2図はそのウエハカセツト
ホルダの第2のマウンタ部を第1図の状態から1
80°回転させた状態を示す側面図、第3図は第
2のマウンタ部を第1図の状態から90°回転さ
せた状態を示す側面図である。 1…第1のマウンタ部、2…ブロツク、3…連
結部、4…第2のマウンタ部、5…バランサ、6
…第1のセンサ、7…第2のセンサ。
ルダを示す側面図、第2図はそのウエハカセツト
ホルダの第2のマウンタ部を第1図の状態から1
80°回転させた状態を示す側面図、第3図は第
2のマウンタ部を第1図の状態から90°回転さ
せた状態を示す側面図である。 1…第1のマウンタ部、2…ブロツク、3…連
結部、4…第2のマウンタ部、5…バランサ、6
…第1のセンサ、7…第2のセンサ。
Claims (1)
- 第1又は第2の寸法のウエハカセツトが載置さ
れる第1のマウンタ部と、この第1のマウンタ部
に連結部を介して回転自在に連結してある第2の
マウンタ部と、前記両マウンタ部間に架け渡して
あるバランサと、前記第1のマウンタ部上に前記
第2のマウンタ部が載つているか否かを検出する
第1のセンサと、前記第1のマウンタ部上にウエ
ハカセツトが載置されているか否かを検出する第
2のセンサとを備えていることを特徴とするウエ
ハカセツトホルダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2357988U JPH01127243U (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2357988U JPH01127243U (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01127243U true JPH01127243U (ja) | 1989-08-31 |
Family
ID=31242690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2357988U Pending JPH01127243U (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01127243U (ja) |
-
1988
- 1988-02-23 JP JP2357988U patent/JPH01127243U/ja active Pending