JPH0459147U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0459147U JPH0459147U JP10299790U JP10299790U JPH0459147U JP H0459147 U JPH0459147 U JP H0459147U JP 10299790 U JP10299790 U JP 10299790U JP 10299790 U JP10299790 U JP 10299790U JP H0459147 U JPH0459147 U JP H0459147U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- board
- performance board
- semiconductor device
- testing apparatus
- device testing
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例である半導体デバ
イス試験装置の断面図、第2図はこの考案の他の
実施例を示す半導体デバイス試験装置の断面図、
第3図は従来の半導体デバイス試験装置の断面図
である。 図において、1はパフオーマンスボード(測定
ボード)、2はソケツト、6は発熱体を示す。な
お、図中、同一符号は同一、または相当部分を示
す。
イス試験装置の断面図、第2図はこの考案の他の
実施例を示す半導体デバイス試験装置の断面図、
第3図は従来の半導体デバイス試験装置の断面図
である。 図において、1はパフオーマンスボード(測定
ボード)、2はソケツト、6は発熱体を示す。な
お、図中、同一符号は同一、または相当部分を示
す。
Claims (1)
- 低温試験をするパフオーマンスボード(測定ボ
ード)に発熱体を前記パフオーマンスボードの少
なくとも一部分に内蔵又は表面に実装させたこと
を特徴とする半導体デバイス試験装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10299790U JPH0459147U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10299790U JPH0459147U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0459147U true JPH0459147U (ja) | 1992-05-21 |
Family
ID=31847704
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10299790U Pending JPH0459147U (ja) | 1990-09-27 | 1990-09-27 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0459147U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100977757B1 (ko) * | 2008-06-03 | 2010-08-24 | 주식회사 씨어테크 | 반도체 검사장치의 콜드챔버 |
-
1990
- 1990-09-27 JP JP10299790U patent/JPH0459147U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100977757B1 (ko) * | 2008-06-03 | 2010-08-24 | 주식회사 씨어테크 | 반도체 검사장치의 콜드챔버 |