JPS62181534U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62181534U JPS62181534U JP6877986U JP6877986U JPS62181534U JP S62181534 U JPS62181534 U JP S62181534U JP 6877986 U JP6877986 U JP 6877986U JP 6877986 U JP6877986 U JP 6877986U JP S62181534 U JPS62181534 U JP S62181534U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- wafer
- rotating shaft
- photo sensor
- wafer carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 7
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第1図はこの考案に係るウエハ移替装置の一部
を示す概略図、第2図は従来のウエハ移替装置の
一部を示す概略図、第3図は第2図のA―A断面
図である。 1……基台、2……位置決め部材、3……第1
のウエハキヤリア、4……ウエハ収納溝、6……
移動台、8……第2のウエハキヤリア、9……ウ
エハ収納溝、12……回転軸、13……雄ネジ部
、14……雌ネジ部材、16……ステツピングモ
ータ、17……ホトセンサ、18……制御装置。
を示す概略図、第2図は従来のウエハ移替装置の
一部を示す概略図、第3図は第2図のA―A断面
図である。 1……基台、2……位置決め部材、3……第1
のウエハキヤリア、4……ウエハ収納溝、6……
移動台、8……第2のウエハキヤリア、9……ウ
エハ収納溝、12……回転軸、13……雄ネジ部
、14……雌ネジ部材、16……ステツピングモ
ータ、17……ホトセンサ、18……制御装置。
Claims (1)
- 第1のウエハキヤリアから石英からなる第2の
ウエハキヤリアに半導体ウエハを移し替える装置
において、基台と、その基台に固定された位置決
め部材と、上記基台に移動可能に取付けられた移
動台と、上記基台に回転可能に設けられた回転軸
と、その回転軸に設けられた雄ネジ部と、上記移
動台に固定されかつ上記雄ネジ部と螺合した雌ネ
ジ部材と、出力軸が上記回転軸に取付けられたス
テツピングモータと、上記移動台上に載置された
上記第2のウエハキヤリアのウエハ収納溝を検知
するホトセンサと、そのホトセンサの出力に応じ
て上記ステツピングモータを制御する制御装置と
を具備することを特徴とするウエハ移替装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986068779U JPH052501Y2 (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986068779U JPH052501Y2 (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62181534U true JPS62181534U (ja) | 1987-11-18 |
JPH052501Y2 JPH052501Y2 (ja) | 1993-01-21 |
Family
ID=30908911
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986068779U Expired - Lifetime JPH052501Y2 (ja) | 1986-05-09 | 1986-05-09 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH052501Y2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63252831A (ja) * | 1987-04-07 | 1988-10-19 | Taiyo Yuden Co Ltd | 板体収納マガジンと板体収納方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59103436U (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-12 | 株式会社東芝 | 半導体ウエハ用ボ−ト |
JPS6072241A (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-24 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエハ−供給装置 |
JPS60252542A (ja) * | 1984-05-28 | 1985-12-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | カセツト変換装置 |
-
1986
- 1986-05-09 JP JP1986068779U patent/JPH052501Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59103436U (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-12 | 株式会社東芝 | 半導体ウエハ用ボ−ト |
JPS6072241A (ja) * | 1983-09-28 | 1985-04-24 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体ウエハ−供給装置 |
JPS60252542A (ja) * | 1984-05-28 | 1985-12-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | カセツト変換装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63252831A (ja) * | 1987-04-07 | 1988-10-19 | Taiyo Yuden Co Ltd | 板体収納マガジンと板体収納方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH052501Y2 (ja) | 1993-01-21 |