JPH0193736U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0193736U JPH0193736U JP18917987U JP18917987U JPH0193736U JP H0193736 U JPH0193736 U JP H0193736U JP 18917987 U JP18917987 U JP 18917987U JP 18917987 U JP18917987 U JP 18917987U JP H0193736 U JPH0193736 U JP H0193736U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- arm
- end surface
- point
- wafer
- cushion member
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Feeding Of Articles By Means Other Than Belts Or Rollers (AREA)
Description
第1図および第2図は本考案の一実施例にかか
る平面図および側面図である。 1……ウエハ、1A……オリフラ、1B……対
向端面、2……第1アーム、2A,3A……クツ
シヨン部材、2B……第1ラツク、2G3,2G
4,3G5……ピニオンギヤ、3……第2アーム
、3B……第2ラツク、4……モータ、5G1,
5G2……ギヤ。
る平面図および側面図である。 1……ウエハ、1A……オリフラ、1B……対
向端面、2……第1アーム、2A,3A……クツ
シヨン部材、2B……第1ラツク、2G3,2G
4,3G5……ピニオンギヤ、3……第2アーム
、3B……第2ラツク、4……モータ、5G1,
5G2……ギヤ。
Claims (1)
- ウエハのオリエーテンシヨンフラツト端面を2
点で支持するクツシヨン部材をもつ第1アームと
、前記オリエーテンシヨンフラツトに対向する端
面を1点で支持するクツシヨン部材をもつ第2ア
ームと、前記ウエハ端面を両水平方向から支持す
るため前記第1、第2アームを対向移動させる機
構とで構成されたことを特徴とする半導体製造装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18917987U JPH0193736U (ja) | 1987-12-12 | 1987-12-12 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18917987U JPH0193736U (ja) | 1987-12-12 | 1987-12-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0193736U true JPH0193736U (ja) | 1989-06-20 |
Family
ID=31480229
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18917987U Pending JPH0193736U (ja) | 1987-12-12 | 1987-12-12 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0193736U (ja) |
-
1987
- 1987-12-12 JP JP18917987U patent/JPH0193736U/ja active Pending