JPS6387005U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6387005U JPS6387005U JP18153086U JP18153086U JPS6387005U JP S6387005 U JPS6387005 U JP S6387005U JP 18153086 U JP18153086 U JP 18153086U JP 18153086 U JP18153086 U JP 18153086U JP S6387005 U JPS6387005 U JP S6387005U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- semiconductor single
- crystal rod
- cutting
- inner peripheral
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
- 239000012634 fragment Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
第1図は本考案の第1実施例を示す概略断面図
、第2図は本考案の第2実施例を示す概略断面図
である。 1……ブレード(内周刃)、4……半導体単結
晶棒、6……チヤツクボデイ、13……センサー
。
、第2図は本考案の第2実施例を示す概略断面図
である。 1……ブレード(内周刃)、4……半導体単結
晶棒、6……チヤツクボデイ、13……センサー
。
Claims (1)
- 半導体単結晶棒を内周刃で順次切断して多数の
ウエーハを得る半導体単結晶棒の切断装置におい
て、上記内周刃の回転支持部の近傍に、上記ウエ
ーハあるいはウエーハ破片を感知するセンサーを
設けたことを特徴とする半導体単結晶棒の切断装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18153086U JPH047927Y2 (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18153086U JPH047927Y2 (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6387005U true JPS6387005U (ja) | 1988-06-07 |
JPH047927Y2 JPH047927Y2 (ja) | 1992-02-28 |
Family
ID=31126484
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP18153086U Expired JPH047927Y2 (ja) | 1986-11-26 | 1986-11-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH047927Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-11-26 JP JP18153086U patent/JPH047927Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH047927Y2 (ja) | 1992-02-28 |