JPH0467344U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0467344U JPH0467344U JP11094590U JP11094590U JPH0467344U JP H0467344 U JPH0467344 U JP H0467344U JP 11094590 U JP11094590 U JP 11094590U JP 11094590 U JP11094590 U JP 11094590U JP H0467344 U JPH0467344 U JP H0467344U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- holding ring
- semiconductor wafer
- dicing
- sloped
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 3
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例1の断面図、第2図は
本考案を用いたシート引き伸ばし状態の概略断面
図、第3図は本考案の実施例2の断面図、第4図
は従来の保持リングを示す断面図、第5図は従来
のシート引き伸ばし状態の概略断面図である。 1……ウエハ、2……シート、3……ウエハ保
持リング、4……リング押え、5……シート支持
リング。
本考案を用いたシート引き伸ばし状態の概略断面
図、第3図は本考案の実施例2の断面図、第4図
は従来の保持リングを示す断面図、第5図は従来
のシート引き伸ばし状態の概略断面図である。 1……ウエハ、2……シート、3……ウエハ保
持リング、4……リング押え、5……シート支持
リング。
Claims (1)
- 半導体ウエハを搭載したシートを接着保持し、
半導体ウエハのダイシングからダイボンデイング
に至る工程で使用する半導体ウエハ保持リングに
おいて、シートが貼付けられる保持リングの面に
外側に向かつて薄くなるように傾斜を設けたこと
を特徴とする半導体ウエハ保持リング。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11094590U JPH0467344U (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11094590U JPH0467344U (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0467344U true JPH0467344U (ja) | 1992-06-15 |
Family
ID=31858352
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11094590U Pending JPH0467344U (ja) | 1990-10-23 | 1990-10-23 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0467344U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007048884A (ja) * | 2005-08-09 | 2007-02-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 半導体ウェーハのダイシング用フレーム |
-
1990
- 1990-10-23 JP JP11094590U patent/JPH0467344U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007048884A (ja) * | 2005-08-09 | 2007-02-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 半導体ウェーハのダイシング用フレーム |
JP4693542B2 (ja) * | 2005-08-09 | 2011-06-01 | 信越ポリマー株式会社 | 半導体ウェーハのダイシング用フレーム |