JPS6436960U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6436960U JPS6436960U JP13219687U JP13219687U JPS6436960U JP S6436960 U JPS6436960 U JP S6436960U JP 13219687 U JP13219687 U JP 13219687U JP 13219687 U JP13219687 U JP 13219687U JP S6436960 U JPS6436960 U JP S6436960U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shape
- board
- base
- deflection
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 1
Description
第１図は、この考案の一実施例に係る基板保持
装置を示す縦断面図である。第２図は、この考案
の他の実施例に係る基板保持装置を示す縦断面図
である。第３図は、従来の基板保持装置の一例を
示す縦断面図である。 ２……ベース、２２……表面、４……押えリン
グ、６……基板、８……弾性材、１０……通路。
装置を示す縦断面図である。第２図は、この考案
の他の実施例に係る基板保持装置を示す縦断面図
である。第３図は、従来の基板保持装置の一例を
示す縦断面図である。 ２……ベース、２２……表面、４……押えリン
グ、６……基板、８……弾性材、１０……通路。
Claims (1)
- 基板を支持するベースと、基板の周縁部をベー
スに向けて押え付ける押えリングとを備え、ベー
スと押えリング間に基板を挟持する構造の基板保
持装置において、前記ベースの押えリング内領域
の表面形状を、基板をその周縁部で支持して全面
に均一な荷重を加えたときのそれによる当該基板
のたわみの形状と、基板の表裏面間に温度差が生
じたときのそれによる当該基板のたわみの形状と
を合成した形状としていることを特徴とする基板
保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13219687U JPS6436960U (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13219687U JPS6436960U (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6436960U true JPS6436960U (ja) | 1989-03-06 |
Family
ID=31388937
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13219687U Pending JPS6436960U (ja) | 1987-08-28 | 1987-08-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6436960U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11335992A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-12-07 | Voith Sulzer Papiertechnik Patent Gmbh | 圧搾ジャケット |
| EP1728921A1 (en) | 2005-05-31 | 2006-12-06 | Ichikawa Co.,Ltd. | Belt for a shoe-press in a paper machine |
-
1987
- 1987-08-28 JP JP13219687U patent/JPS6436960U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11335992A (ja) * | 1998-04-30 | 1999-12-07 | Voith Sulzer Papiertechnik Patent Gmbh | 圧搾ジャケット |
| JP4331315B2 (ja) * | 1998-04-30 | 2009-09-16 | フォイト ズルツァー パピーアテヒニク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 圧搾ジャケット |
| EP1728921A1 (en) | 2005-05-31 | 2006-12-06 | Ichikawa Co.,Ltd. | Belt for a shoe-press in a paper machine |