JPH01109168U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01109168U JPH01109168U JP405388U JP405388U JPH01109168U JP H01109168 U JPH01109168 U JP H01109168U JP 405388 U JP405388 U JP 405388U JP 405388 U JP405388 U JP 405388U JP H01109168 U JPH01109168 U JP H01109168U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- base
- holding device
- held
- magnetic fluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 claims description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Description
第１図は、実施例に係る基板保持装置を示す縦
断面図である。第２図は、第１図のベースの凹部
を示す平面図であり、片側を省略している。第３
図は、従来の基板保持装置の一例を示す縦断面図
である。 ２……基板、１４……ベース、１６……押えリ
ング、１８……磁性流体、２０……磁石。
断面図である。第２図は、第１図のベースの凹部
を示す平面図であり、片側を省略している。第３
図は、従来の基板保持装置の一例を示す縦断面図
である。 ２……基板、１４……ベース、１６……押えリ
ング、１８……磁性流体、２０……磁石。
Claims (1)
- 基板を支持するためのベースと、基板の周縁部
をベースに向けて押え付ける押えリングとを備え
るものにおいて、ベースの基板支持領域内に磁性
流体を磁石で保持し、この磁性流体を基板とベー
ス間に介在させるようにしたことを特徴とする基
板保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP405388U JPH01109168U (ja) | 1988-01-16 | 1988-01-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP405388U JPH01109168U (ja) | 1988-01-16 | 1988-01-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01109168U true JPH01109168U (ja) | 1989-07-24 |
Family
ID=31206223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP405388U Pending JPH01109168U (ja) | 1988-01-16 | 1988-01-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01109168U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130017125A (ko) * | 2011-08-10 | 2013-02-20 | 주성엔지니어링(주) | 기판 지지 기구 및 그를 이용한 기판 처리 방법 및 그를 이용한 태양전지 제조방법 |
-
1988
- 1988-01-16 JP JP405388U patent/JPH01109168U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20130017125A (ko) * | 2011-08-10 | 2013-02-20 | 주성엔지니어링(주) | 기판 지지 기구 및 그를 이용한 기판 처리 방법 및 그를 이용한 태양전지 제조방법 |