JPH02131342U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH02131342U JPH02131342U JP4036589U JP4036589U JPH02131342U JP H02131342 U JPH02131342 U JP H02131342U JP 4036589 U JP4036589 U JP 4036589U JP 4036589 U JP4036589 U JP 4036589U JP H02131342 U JPH02131342 U JP H02131342U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- positioning jig
- holding plate
- unevenness
- contacts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図はこの考案の一実施例によるウエハ位置
合せ治具を示す断面図、第２図はこの考案の他の
実施例によるウエハ位置合せ治具の断面図、第３
図はこの考案の他の実施例による位置合せ治具の
上面図、第４図は従来のウエハ位置合せ治具の断
面図である。 図において６，７，８は位置合せ治具、２はウ
エハ、３はワツクス、４は保持板、５は支持台で
ある。なお、図中、同一符号は同一、又は相当部
分を示す。
合せ治具を示す断面図、第２図はこの考案の他の
実施例によるウエハ位置合せ治具の断面図、第３
図はこの考案の他の実施例による位置合せ治具の
上面図、第４図は従来のウエハ位置合せ治具の断
面図である。 図において６，７，８は位置合せ治具、２はウ
エハ、３はワツクス、４は保持板、５は支持台で
ある。なお、図中、同一符号は同一、又は相当部
分を示す。
Claims (1)
- 保持板にワツクスを介してウエハの位置を決め
てはり付ける際ウエハの外周に接する近傍の厚さ
を薄くしたり、凹凸を設けたことを特徴とするウ
エハ位置合せ治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4036589U JPH02131342U (ja) | 1989-04-04 | 1989-04-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4036589U JPH02131342U (ja) | 1989-04-04 | 1989-04-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02131342U true JPH02131342U (ja) | 1990-10-31 |
Family
ID=31550091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4036589U Pending JPH02131342U (ja) | 1989-04-04 | 1989-04-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02131342U (ja) |
-
1989
- 1989-04-04 JP JP4036589U patent/JPH02131342U/ja active Pending