JPH038433U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH038433U JPH038433U JP6888389U JP6888389U JPH038433U JP H038433 U JPH038433 U JP H038433U JP 6888389 U JP6888389 U JP 6888389U JP 6888389 U JP6888389 U JP 6888389U JP H038433 U JPH038433 U JP H038433U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bottom plate
- support member
- lift
- jig
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Weting (AREA)
Description
第1図a,bは本考案のリフトオフ用治具の実
施例を示す側面図及び平面図、第2図a乃至cは
リフトオフ法を説明する断面図である。 5a,5b……外板、6……底板、7a,7b
,7c……支持板、8,9,10,11……スト
ツパ、12……ウエハ。
施例を示す側面図及び平面図、第2図a乃至cは
リフトオフ法を説明する断面図である。 5a,5b……外板、6……底板、7a,7b
,7c……支持板、8,9,10,11……スト
ツパ、12……ウエハ。
Claims (1)
- 底板に対して傾斜して取付けられた複数の支持
部材と、少なくとも各支持部材に対向して底板に
設けられ各支持部材にウエハを面接触状態に維持
するストツパとを含むことを特徴とするリフトオ
フ用治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6888389U JPH038433U (ja) | 1989-06-13 | 1989-06-13 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6888389U JPH038433U (ja) | 1989-06-13 | 1989-06-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH038433U true JPH038433U (ja) | 1991-01-28 |
Family
ID=31603707
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6888389U Pending JPH038433U (ja) | 1989-06-13 | 1989-06-13 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH038433U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS535967U (ja) * | 1976-07-01 | 1978-01-19 | ||
JPS5315470U (ja) * | 1976-07-21 | 1978-02-08 |
-
1989
- 1989-06-13 JP JP6888389U patent/JPH038433U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS535967U (ja) * | 1976-07-01 | 1978-01-19 | ||
JPS5315470U (ja) * | 1976-07-21 | 1978-02-08 |