JPH0227731U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0227731U JPH0227731U JP10636388U JP10636388U JPH0227731U JP H0227731 U JPH0227731 U JP H0227731U JP 10636388 U JP10636388 U JP 10636388U JP 10636388 U JP10636388 U JP 10636388U JP H0227731 U JPH0227731 U JP H0227731U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer holder
- wafer
- substantially hemispherical
- inspection data
- notch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 4
Landscapes
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例のウエーハ検査用資
料台の斜視図、第２図はこのウエーハ検査用資料
台にウエーハを載置したときの斜視図、第３図は
ウエーハの斜視図である。第４図は従来のウエー
ハ検査用資料台の斜視図である。 １０……ウエーハ保持部、１１……上部周縁、
１２……切り欠き、２０……ウエーハ保持部載置
台、２１……凹部。
料台の斜視図、第２図はこのウエーハ検査用資料
台にウエーハを載置したときの斜視図、第３図は
ウエーハの斜視図である。第４図は従来のウエー
ハ検査用資料台の斜視図である。 １０……ウエーハ保持部、１１……上部周縁、
１２……切り欠き、２０……ウエーハ保持部載置
台、２１……凹部。
Claims (1)
- 上部周縁に切り欠きを設けたほぼ半球面形状の
ウエーハ保持部と、このウエーハ保持部が載置さ
れこのウエーハ保持部の前記ほぼ半球面形状に対
応した球面形状の凹部を有するウエーハ保持部載
置台とを具備したことを特徴とするウエーハ検査
用資料台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10636388U JPH0227731U (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10636388U JPH0227731U (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0227731U true JPH0227731U (ja) | 1990-02-22 |
Family
ID=31339804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10636388U Pending JPH0227731U (ja) | 1988-08-10 | 1988-08-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0227731U (ja) |
-
1988
- 1988-08-10 JP JP10636388U patent/JPH0227731U/ja active Pending