JPS63128734U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS63128734U JPS63128734U JP2096287U JP2096287U JPS63128734U JP S63128734 U JPS63128734 U JP S63128734U JP 2096287 U JP2096287 U JP 2096287U JP 2096287 U JP2096287 U JP 2096287U JP S63128734 U JPS63128734 U JP S63128734U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holding plate
- wafer
- thickness
- support stand
- diameter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例によるウエハ貼付
装置を示す断面図、第２図はこの考案の他の実施
例を示す断面図、第３図はこの考案の他の実施例
を示すガイドリングの上面図、第４図は従来装置
を示す断面図である。 図中、４は支持台、５はヒーター用、ｂは保持
板、７はウエハ、８はワツクス、９は押え板、１
２，１３，１４はガイドリング、１５ａ，１５ｂ
はピンである。尚、図中同一符号は同一または相
当部分を示す。
装置を示す断面図、第２図はこの考案の他の実施
例を示す断面図、第３図はこの考案の他の実施例
を示すガイドリングの上面図、第４図は従来装置
を示す断面図である。 図中、４は支持台、５はヒーター用、ｂは保持
板、７はウエハ、８はワツクス、９は押え板、１
２，１３，１４はガイドリング、１５ａ，１５ｂ
はピンである。尚、図中同一符号は同一または相
当部分を示す。
Claims (1)
- 支持台と、この支持台の上方に配置された押え
板との間に、一面にワツクスを塗布したウエハと
保持板とを挾み、上記押え板を押圧して上記ウエ
ハを保持板に貼り付けるようにしたものにおいて
、上記支持台または押え板に、ウエハ径および保
持板径より大きい内径を有し、厚さがウエハ厚、
ワツクス厚および保持板厚の和より薄いガイドリ
ングを配置したことを特徴とするウエハ貼付装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2096287U JPS63128734U (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2096287U JPS63128734U (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63128734U true JPS63128734U (ja) | 1988-08-23 |
Family
ID=30816962
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2096287U Pending JPS63128734U (ja) | 1987-02-16 | 1987-02-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63128734U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02123726A (ja) * | 1988-11-02 | 1990-05-11 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ貼付装置 |
-
1987
- 1987-02-16 JP JP2096287U patent/JPS63128734U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02123726A (ja) * | 1988-11-02 | 1990-05-11 | Mitsubishi Electric Corp | ウエハ貼付装置 |