JPS6320436U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6320436U JPS6320436U JP11279686U JP11279686U JPS6320436U JP S6320436 U JPS6320436 U JP S6320436U JP 11279686 U JP11279686 U JP 11279686U JP 11279686 U JP11279686 U JP 11279686U JP S6320436 U JPS6320436 U JP S6320436U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- semiconductor device
- semiconductor
- stage
- ensuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 3
Landscapes
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は従来の構成を示す断面図、第２図は本
考案の一実施例を示す図、第３図は本考案の他の
実施例を示す図である。 １ａ……ステージ、２ａ……中空パイプ状のプ
ローブ、４ａ……プローブポジシヨナ、５ａ……
支持台。
考案の一実施例を示す図、第３図は本考案の他の
実施例を示す図である。 １ａ……ステージ、２ａ……中空パイプ状のプ
ローブ、４ａ……プローブポジシヨナ、５ａ……
支持台。
Claims (1)
- ステージ上に載置した半導体素子と一端部が接
触するプローブが中空に形成され、上記プローブ
の他端側に真空装置が設けられ、上記プローブの
一端部が負圧となるようにし、上記半導体素子と
の安定した接触状態を確保したことを特徴とする
半導体素子の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11279686U JPS6320436U (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11279686U JPS6320436U (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6320436U true JPS6320436U (ja) | 1988-02-10 |
Family
ID=30994004
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11279686U Pending JPS6320436U (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6320436U (ja) |
-
1986
- 1986-07-24 JP JP11279686U patent/JPS6320436U/ja active Pending