JPS6378066U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6378066U JPS6378066U JP17182586U JP17182586U JPS6378066U JP S6378066 U JPS6378066 U JP S6378066U JP 17182586 U JP17182586 U JP 17182586U JP 17182586 U JP17182586 U JP 17182586U JP S6378066 U JPS6378066 U JP S6378066U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- film
- holding ring
- holds
- holding
- Prior art date
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- Granted
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図と第２図は本考案に係るフイルム保持機
構を示す概略断面図であり、第１図はその分離状
態を示し、第２図はその使用状態を示している。
第３図と第４図は、本考案に係るフイルム保持機
構の作用を示す各要部の概略断面図である。第５
図と第６図は、従来における保持リングの改良例
を示す各断面図である。 Ｆ…フイルム、１…保持リング、３…インナー
リング、４…アウターリング。
構を示す概略断面図であり、第１図はその分離状
態を示し、第２図はその使用状態を示している。
第３図と第４図は、本考案に係るフイルム保持機
構の作用を示す各要部の概略断面図である。第５
図と第６図は、従来における保持リングの改良例
を示す各断面図である。 Ｆ…フイルム、１…保持リング、３…インナー
リング、４…アウターリング。
Claims (1)
- フイルムの外周を挟持する保持リングと、この
保持リングに保持されたフイルムをその一面から
環状に押えるインナーリングと、このインナーリ
ングと前記保持リングとの間で該インナーリング
と反対側の面からフイルムを環状に押えるアウタ
ーリングとを具備してなることを特徴とするフイ
ルム保持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17182586U JPH0538051Y2 (ja) | 1986-11-08 | 1986-11-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17182586U JPH0538051Y2 (ja) | 1986-11-08 | 1986-11-08 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6378066U true JPS6378066U (ja) | 1988-05-24 |
| JPH0538051Y2 JPH0538051Y2 (ja) | 1993-09-27 |
Family
ID=31107812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17182586U Expired - Lifetime JPH0538051Y2 (ja) | 1986-11-08 | 1986-11-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0538051Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005042114A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | General Electric Co <Ge> | 薄膜の取り扱いを容易にする方法及び器具 |
-
1986
- 1986-11-08 JP JP17182586U patent/JPH0538051Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005042114A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | General Electric Co <Ge> | 薄膜の取り扱いを容易にする方法及び器具 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0538051Y2 (ja) | 1993-09-27 |