JPS62157152U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62157152U JPS62157152U JP4506086U JP4506086U JPS62157152U JP S62157152 U JPS62157152 U JP S62157152U JP 4506086 U JP4506086 U JP 4506086U JP 4506086 U JP4506086 U JP 4506086U JP S62157152 U JPS62157152 U JP S62157152U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- supports
- holding plate
- wafer
- pair
- holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図はこの考案の一実施例によるウエハホル
ダーを示す平面図、第２図は第１図の―線に
おける断面図、第３図は従来のウエハホルダーを
示す平面図、第４図は第３図の―線における
断面図である。 図において、１はウエハ、２は保持板、２０１
は支持具、２０５は凹部、３はスタツド、４は支
持ばねである。なお、各図中同一符号は同一又は
相当部分を示す。
ダーを示す平面図、第２図は第１図の―線に
おける断面図、第３図は従来のウエハホルダーを
示す平面図、第４図は第３図の―線における
断面図である。 図において、１はウエハ、２は保持板、２０１
は支持具、２０５は凹部、３はスタツド、４は支
持ばねである。なお、各図中同一符号は同一又は
相当部分を示す。
Claims (1)
- ウエハを支持する一対の支持具、この支持具を
保持する保持板、この保持板に支承されて、ウエ
ハを上記一対の支持具に向つて弾性的に押圧する
支持ばねを備えたものにおいて、上記保持板の全
面を凹状に形成したことを特徴とするウエハホル
ダー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4506086U JPS62157152U (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4506086U JPS62157152U (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62157152U true JPS62157152U (ja) | 1987-10-06 |
Family
ID=30863454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4506086U Pending JPS62157152U (ja) | 1986-03-25 | 1986-03-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62157152U (ja) |
-
1986
- 1986-03-25 JP JP4506086U patent/JPS62157152U/ja active Pending