JPH042036U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH042036U JPH042036U JP4178590U JP4178590U JPH042036U JP H042036 U JPH042036 U JP H042036U JP 4178590 U JP4178590 U JP 4178590U JP 4178590 U JP4178590 U JP 4178590U JP H042036 U JPH042036 U JP H042036U
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- JP
- Japan
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- self
- propelled
- recognize
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- function
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
Landscapes
- Forklifts And Lifting Vehicles (AREA)
- Intermediate Stations On Conveyors (AREA)
Description
第1図は本考案の自走台車の実施例を示す概略
図、第2図は従来の自走台車の概略図、第3図は
本考案の自走台車によるウエハ数認識の実施例を
示す概略図、第4図は本考案の自走台車によるウ
エハ数認識の実施例を示す概略図。 11,21……自走部、12,22,32……
キヤリア用置き台、14,24,34,44……
半導体ウエハ、15,25,35,45……キヤ
リア、17,37,47……ウエハ数認識装置。
図、第2図は従来の自走台車の概略図、第3図は
本考案の自走台車によるウエハ数認識の実施例を
示す概略図、第4図は本考案の自走台車によるウ
エハ数認識の実施例を示す概略図。 11,21……自走部、12,22,32……
キヤリア用置き台、14,24,34,44……
半導体ウエハ、15,25,35,45……キヤ
リア、17,37,47……ウエハ数認識装置。
Claims (1)
- 自走中またはキヤリア受渡し時に半導体ウエハ
数を認識する機能を持つことを特徴とする自走台
車。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4178590U JPH042036U (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4178590U JPH042036U (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH042036U true JPH042036U (ja) | 1992-01-09 |
Family
ID=31552753
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4178590U Pending JPH042036U (ja) | 1990-04-19 | 1990-04-19 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH042036U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003092338A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Nec Corp | 半導体ウェハ収納状態の検知装置 |
JP2013021166A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Murata Mach Ltd | 搬送車 |
-
1990
- 1990-04-19 JP JP4178590U patent/JPH042036U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003092338A (ja) * | 2001-09-18 | 2003-03-28 | Nec Corp | 半導体ウェハ収納状態の検知装置 |
JP2013021166A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Murata Mach Ltd | 搬送車 |