JPH0418445U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0418445U JPH0418445U JP5801990U JP5801990U JPH0418445U JP H0418445 U JPH0418445 U JP H0418445U JP 5801990 U JP5801990 U JP 5801990U JP 5801990 U JP5801990 U JP 5801990U JP H0418445 U JPH0418445 U JP H0418445U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- self
- carrier
- propelled
- propelled cart
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
Description
第1図は本考案の自走台車の実施例を示す概略
図、第2図は従来の自走台車の概略図、第3図は
本考案の自走台車によるウエハ移し替えの実施例
を示す概略図、第4図は本考案の自走台車による
ウエハ移し替え作業を示す概略図、第5図は本考
案の自走台車によるキヤリアへのウエハ収納作業
を示す概略図。 11,21……自走部、12,22,32……
キヤリア用置き台、14,24,34……半導体
ウエハ、15,25,35……キヤリア、17,
37……ウエハ押し出し部、38……キヤリア取
扱部、39……ウエハ取扱部。
図、第2図は従来の自走台車の概略図、第3図は
本考案の自走台車によるウエハ移し替えの実施例
を示す概略図、第4図は本考案の自走台車による
ウエハ移し替え作業を示す概略図、第5図は本考
案の自走台車によるキヤリアへのウエハ収納作業
を示す概略図。 11,21……自走部、12,22,32……
キヤリア用置き台、14,24,34……半導体
ウエハ、15,25,35……キヤリア、17,
37……ウエハ押し出し部、38……キヤリア取
扱部、39……ウエハ取扱部。
Claims (1)
- 自走中及びキヤリア移動時に半導体ウエハを別
のキヤリアに移し替える機能を持つことを特徴と
する自走台車。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5801990U JPH0418445U (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5801990U JPH0418445U (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0418445U true JPH0418445U (ja) | 1992-02-17 |
Family
ID=31583251
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5801990U Pending JPH0418445U (ja) | 1990-06-01 | 1990-06-01 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0418445U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010219337A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Honda Motor Co Ltd | 板状部材の位置決め搬送方法及びその装置 |
-
1990
- 1990-06-01 JP JP5801990U patent/JPH0418445U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010219337A (ja) * | 2009-03-17 | 2010-09-30 | Honda Motor Co Ltd | 板状部材の位置決め搬送方法及びその装置 |