JPH01179443U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01179443U JPH01179443U JP7652688U JP7652688U JPH01179443U JP H01179443 U JPH01179443 U JP H01179443U JP 7652688 U JP7652688 U JP 7652688U JP 7652688 U JP7652688 U JP 7652688U JP H01179443 U JPH01179443 U JP H01179443U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafers
- wafer support
- boat
- support boat
- rotating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 4
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図、および第２図はこの考案の一実施例に
よるウエハ支持ボートを示す側面および正面断面
図、第３図および第４図は従来のウエハ支持ボー
トを示す側面および正面断面図である。 図において、１は半導体ウエハ、２ａは固定支
持棒、２ｂは回転支持棒、３は支持板、４は駆動
軸を示す。なお、図中、同一符号は同一、又は相
当部分を示す。
よるウエハ支持ボートを示す側面および正面断面
図、第３図および第４図は従来のウエハ支持ボー
トを示す側面および正面断面図である。 図において、１は半導体ウエハ、２ａは固定支
持棒、２ｂは回転支持棒、３は支持板、４は駆動
軸を示す。なお、図中、同一符号は同一、又は相
当部分を示す。
Claims (1)
- 半導体ウエハを搭載するウエハ支持ボートにお
いてウエハ支持ボートを構成する支持棒を回転さ
せることによつて半導体ウエハを回転させること
を特徴とするウエハ支持ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7652688U JPH01179443U (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7652688U JPH01179443U (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01179443U true JPH01179443U (ja) | 1989-12-22 |
Family
ID=31301547
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7652688U Pending JPH01179443U (ja) | 1988-06-09 | 1988-06-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01179443U (ja) |
-
1988
- 1988-06-09 JP JP7652688U patent/JPH01179443U/ja active Pending