JPS63102235U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63102235U JPS63102235U JP19802486U JP19802486U JPS63102235U JP S63102235 U JPS63102235 U JP S63102235U JP 19802486 U JP19802486 U JP 19802486U JP 19802486 U JP19802486 U JP 19802486U JP S63102235 U JPS63102235 U JP S63102235U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal transfer
- response
- semiconductor wafer
- transfer head
- defective signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例によるマーキング
機構の構成図、第２図はこの考案に係る熱転写部
分の詳細図、第３図は従来のマーク装置を示す構
成図である。 図において、５はカーボンリボン、６は熱転写
ヘツド、９は駆動ローラである。なお、図中、同
一符号は同一、又は相当部分を示す。
機構の構成図、第２図はこの考案に係る熱転写部
分の詳細図、第３図は従来のマーク装置を示す構
成図である。 図において、５はカーボンリボン、６は熱転写
ヘツド、９は駆動ローラである。なお、図中、同
一符号は同一、又は相当部分を示す。
Claims (1)
- カーボンリボンと、このカーボンリボンを送り
出しおよび巻取る駆動ローラと、不良信号により
上下する熱転写ヘツドとを備え、上記不良信号に
より上記熱転写ヘツドを下げ、半導体ウエハのチ
ツプ上にカーボンを付着させるようにしたことを
特徴とする半導体ウエハテストのマーク装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19802486U JPS63102235U (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19802486U JPS63102235U (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63102235U true JPS63102235U (ja) | 1988-07-02 |
Family
ID=31158330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19802486U Pending JPS63102235U (ja) | 1986-12-22 | 1986-12-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63102235U (ja) |
-
1986
- 1986-12-22 JP JP19802486U patent/JPS63102235U/ja active Pending
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