JPS63164229U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS63164229U JPS63164229U JP5761687U JP5761687U JPS63164229U JP S63164229 U JPS63164229 U JP S63164229U JP 5761687 U JP5761687 U JP 5761687U JP 5761687 U JP5761687 U JP 5761687U JP S63164229 U JPS63164229 U JP S63164229U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- push
- transfer device
- chuck mechanism
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 11
Landscapes
- Pile Receivers (AREA)
Description
第１図は本考案に係るウエハ移し替え装置の一
実施例を示す要部断面図、第２図は第１図におけ
る倒れ防止体を拡大して示す部分断面図、第３図
は従来装置の全体を示す断面図、第４図はその動
作を説明する第１図相当図、第５図は第３図にお
ける−線断面図、第６図はチヤツク機構によ
つてウエハを挾持した状態を示す要部断面図、第
７図は第６図における−線断面図である。 図において、１はウエハ、２はカセツト、４は
押し上げ機構、８はチヤツク機構、９は倒れ防止
体、９ａは溝（ウエハ受容部）である。尚、各図
中、同一符号は同一又に相当部分を示す。
実施例を示す要部断面図、第２図は第１図におけ
る倒れ防止体を拡大して示す部分断面図、第３図
は従来装置の全体を示す断面図、第４図はその動
作を説明する第１図相当図、第５図は第３図にお
ける−線断面図、第６図はチヤツク機構によ
つてウエハを挾持した状態を示す要部断面図、第
７図は第６図における−線断面図である。 図において、１はウエハ、２はカセツト、４は
押し上げ機構、８はチヤツク機構、９は倒れ防止
体、９ａは溝（ウエハ受容部）である。尚、各図
中、同一符号は同一又に相当部分を示す。
Claims (1)
- 複数のウエハを並列させて収容したカセツトか
ら該ウエハを押し上げ機構にて押し上げて、その
押し上げ端にてウエハ両側から内側に揺動してウ
エハ下側を支承するチヤツク機構に移し替えるウ
エハ移し替え装置において、上記ウエハが押し上
げ端に達するとともに該ウエハの上端がウエハ受
容部に嵌入してウエハ相互の倒れを防止する倒れ
防止体を上記チヤツク機構上方に配設したことを
特徴とするウエハ移し替え装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5761687U JPS63164229U (ja) | 1987-04-16 | 1987-04-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5761687U JPS63164229U (ja) | 1987-04-16 | 1987-04-16 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63164229U true JPS63164229U (ja) | 1988-10-26 |
Family
ID=30887489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5761687U Pending JPS63164229U (ja) | 1987-04-16 | 1987-04-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63164229U (ja) |
-
1987
- 1987-04-16 JP JP5761687U patent/JPS63164229U/ja active Pending
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