JPH01129835U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01129835U JPH01129835U JP2453388U JP2453388U JPH01129835U JP H01129835 U JPH01129835 U JP H01129835U JP 2453388 U JP2453388 U JP 2453388U JP 2453388 U JP2453388 U JP 2453388U JP H01129835 U JPH01129835 U JP H01129835U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- container
- upper edge
- radius
- wafer
- utility
- Prior art date
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- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Description
第1図は本考案によるウエーハ容器の一例を示
す外観図、第2図、第3図は第1図に示すウエー
ハ容器の機能を説明するための側面図及び平面図
、第4図は本考案のウエーハ容器の使用状態を説
明するための図、第5図は本考案のウエーハ容器
の機能を説明する図である。第6図は従来のウエ
ーハ容器を示す図である。 1……ウエーハ容器、2……スプリング、3…
…ウエーハ、4……純水、5……コンベヤーシス
テム、6……ガイド、7……プツシヤー。
す外観図、第2図、第3図は第1図に示すウエー
ハ容器の機能を説明するための側面図及び平面図
、第4図は本考案のウエーハ容器の使用状態を説
明するための図、第5図は本考案のウエーハ容器
の機能を説明する図である。第6図は従来のウエ
ーハ容器を示す図である。 1……ウエーハ容器、2……スプリング、3…
…ウエーハ、4……純水、5……コンベヤーシス
テム、6……ガイド、7……プツシヤー。
Claims (1)
- 容器上縁に、ウエーハ半径よりも大きな半径を
有する円弧状のスプリングを、容器上縁面に対し
て傾斜させて具備してなることを特徴とする半導
体ウエーハ用容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2453388U JPH01129835U (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2453388U JPH01129835U (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01129835U true JPH01129835U (ja) | 1989-09-04 |
Family
ID=31244461
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2453388U Pending JPH01129835U (ja) | 1988-02-25 | 1988-02-25 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01129835U (ja) |
-
1988
- 1988-02-25 JP JP2453388U patent/JPH01129835U/ja active Pending