JPS61148838U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS61148838U JPS61148838U JP3076485U JP3076485U JPS61148838U JP S61148838 U JPS61148838 U JP S61148838U JP 3076485 U JP3076485 U JP 3076485U JP 3076485 U JP3076485 U JP 3076485U JP S61148838 U JPS61148838 U JP S61148838U
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- JP
- Japan
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- sample
- cassette
- recesses
- pedestal
- convex portion
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- Granted
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- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例である試料搬送装置
の断面図、第２図は第１図のウエハカセツト１０
の斜視図、第３図は第１図のカセツト受台３０の
斜視図、第４図は第３図のリミツトスイツチ３４
ａないし３４ｄの回路図である。 １０……ウエハカセツト、１１，１２……凹部
、３０……カセツト受台、３１，３２……凸部、
３４ａないし３４ｄ……リミツトスイツチ、４０
……搬送手段。
の断面図、第２図は第１図のウエハカセツト１０
の斜視図、第３図は第１図のカセツト受台３０の
斜視図、第４図は第３図のリミツトスイツチ３４
ａないし３４ｄの回路図である。 １０……ウエハカセツト、１１，１２……凹部
、３０……カセツト受台、３１，３２……凸部、
３４ａないし３４ｄ……リミツトスイツチ、４０
……搬送手段。
Claims (1)
- 下面に非対象の位置に凹部を有し試料を収納す
る試料カセツトと、上面に前記試料カセツトの凹
部に嵌合する凸部を有し前記試料カセツトを載置
し上下動するカセツト受台と、前記カセツト受台
の裏面に設けた複数個の検出器と、前記カセツト
受台に載置した試料カセツトから試料を搬送する
搬送手段とから成ることを特徴とする試料搬送装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985030764U JPH0322186Y2 (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985030764U JPH0322186Y2 (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61148838U true JPS61148838U (ja) | 1986-09-13 |
| JPH0322186Y2 JPH0322186Y2 (ja) | 1991-05-15 |
Family
ID=30530751
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985030764U Expired JPH0322186Y2 (ja) | 1985-03-06 | 1985-03-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0322186Y2 (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58180634U (ja) * | 1982-05-24 | 1983-12-02 | 大日本スクリ−ン製造株式会社 | ウエハカセツトの位置決め検知装置 |
| JPS5982242A (ja) * | 1982-11-01 | 1984-05-12 | Shinkawa Ltd | マガジン交換装置 |
-
1985
- 1985-03-06 JP JP1985030764U patent/JPH0322186Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58180634U (ja) * | 1982-05-24 | 1983-12-02 | 大日本スクリ−ン製造株式会社 | ウエハカセツトの位置決め検知装置 |
| JPS5982242A (ja) * | 1982-11-01 | 1984-05-12 | Shinkawa Ltd | マガジン交換装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0322186Y2 (ja) | 1991-05-15 |