JPH01130541U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01130541U JPH01130541U JP2766188U JP2766188U JPH01130541U JP H01130541 U JPH01130541 U JP H01130541U JP 2766188 U JP2766188 U JP 2766188U JP 2766188 U JP2766188 U JP 2766188U JP H01130541 U JPH01130541 U JP H01130541U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- view
- storage case
- storing
- lid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 8
Landscapes
- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
第１図第２図はこの考案の一実施例であるウエ
ハ収納ケースの下蓋の平面図および正面図、第３
図第４図は同じくこの考案のウエハ収納ケースの
上蓋の平面図および正面図、第５図第６図はこの
考案のウエハ収納ケースにウエハを収納した状態
の平面図および正面図、第７図は第６図において
上蓋を外した場合の正面図、第８図第９図は従来
のウエハ収納ケースの下蓋の平面図および正面図
、第１０図第１１図は従来のウエハ収納ケースの
上蓋の平面図および正面図、第１２図第１３図は
従来のウエハ収納ケースにウエハを収納した状態
の平面図および正面図、第１４図は第１３図にお
いて上蓋を外した場合の正面図である。 図中、１は下蓋、２は下蓋１に設けられた半円
形に切込んだ凸部、６は下蓋１に設けられた滑走
面、３は上蓋、４は上蓋３に設けられた半円形に
切込んだ凸部、５は半円形に切込んだ凸部２と４
によつて生じるウエハ収納部、２０はウエハであ
る。なお、図中、同一符号は同一、または相当部
分を示す。
ハ収納ケースの下蓋の平面図および正面図、第３
図第４図は同じくこの考案のウエハ収納ケースの
上蓋の平面図および正面図、第５図第６図はこの
考案のウエハ収納ケースにウエハを収納した状態
の平面図および正面図、第７図は第６図において
上蓋を外した場合の正面図、第８図第９図は従来
のウエハ収納ケースの下蓋の平面図および正面図
、第１０図第１１図は従来のウエハ収納ケースの
上蓋の平面図および正面図、第１２図第１３図は
従来のウエハ収納ケースにウエハを収納した状態
の平面図および正面図、第１４図は第１３図にお
いて上蓋を外した場合の正面図である。 図中、１は下蓋、２は下蓋１に設けられた半円
形に切込んだ凸部、６は下蓋１に設けられた滑走
面、３は上蓋、４は上蓋３に設けられた半円形に
切込んだ凸部、５は半円形に切込んだ凸部２と４
によつて生じるウエハ収納部、２０はウエハであ
る。なお、図中、同一符号は同一、または相当部
分を示す。
Claims (1)
- ウエハを収納するための半円形に切込んだ凸部
とウエハを出し入れするための滑走面を有する下
蓋と、ウエハを収納するための半円形に切込んだ
凸部を有する上蓋部とからなることを特徴とする
ウエハ収納ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2766188U JPH01130541U (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2766188U JPH01130541U (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01130541U true JPH01130541U (ja) | 1989-09-05 |
Family
ID=31250343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2766188U Pending JPH01130541U (ja) | 1988-03-01 | 1988-03-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01130541U (ja) |
-
1988
- 1988-03-01 JP JP2766188U patent/JPH01130541U/ja active Pending