JPH02106832U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH02106832U
JPH02106832U JP1429889U JP1429889U JPH02106832U JP H02106832 U JPH02106832 U JP H02106832U JP 1429889 U JP1429889 U JP 1429889U JP 1429889 U JP1429889 U JP 1429889U JP H02106832 U JPH02106832 U JP H02106832U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
handle
opening
opposite
carrying
space
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1429889U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP1429889U priority Critical patent/JPH02106832U/ja
Publication of JPH02106832U publication Critical patent/JPH02106832U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案のウエハキヤリア傾斜図、第2
図a,bはウエハを収容した状態での第1図のA
―A′断面図、及び開口部側から見た上面図、第
3図a,bはそれぞれ異なる搬送状態を示す図、
第4図、第5図は従来のウエハキヤリアを示す一
部破断図である。 1……ウエハ支持用壁、2……ウエハ収容空間
、3……開口部、6……把手、9……ウエハ。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 内部にウエハ支持用壁1が複数個設けられたウ
    エハ収容のための空間2を有すると共に、該空間
    と連通しウエハを出し入れする開口部3が一つの
    面4に設けられた升状体であり、 前記開口部を有する面との隣接面のうち一つの
    面5には持ち運び用の把手6が備えられていると
    共に、前記開口部を有する面に対して対向する面
    7と把手を有する面に対して対向する面8とが載
    置可能な如く平坦となつており、且つ前記支持用
    壁が前記把手を有する面からその対向面にかけて
    下がるような傾斜を有していることを特徴とした
    ウエハキヤリア。
JP1429889U 1989-02-09 1989-02-09 Pending JPH02106832U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1429889U JPH02106832U (ja) 1989-02-09 1989-02-09

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1429889U JPH02106832U (ja) 1989-02-09 1989-02-09

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH02106832U true JPH02106832U (ja) 1990-08-24

Family

ID=31225374

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1429889U Pending JPH02106832U (ja) 1989-02-09 1989-02-09

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH02106832U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013008920A (ja) * 2011-06-27 2013-01-10 Mitsubishi Electric Corp ウェハカセット

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013008920A (ja) * 2011-06-27 2013-01-10 Mitsubishi Electric Corp ウェハカセット

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS63200344U (ja)
JPH02106832U (ja)
USD467076S1 (en) Bearing storage box
USD467075S1 (en) Bearing storage box
USD467422S1 (en) Bearing storage box
JPS62114444U (ja)
JPH01169034U (ja)
JPH0260248U (ja)
JPS6018965U (ja) 運搬箱
JPS62140732U (ja)
JPH02140852U (ja)
JPH02114543U (ja)
JPS62191692U (ja)
JPS59109147U (ja) ウエハ収納ケ−ス
JPS6362363U (ja)
JPH0448136U (ja)
JPS6360475U (ja)
JPH01100737U (ja)
JPH0179830U (ja)
JPH0350337U (ja)
JPH01129837U (ja)
JPS62140731U (ja)
JPH0438052U (ja)
JPH0456341U (ja)
JPS5996827U (ja) 半導体ウエ−ハ収納容器