JPH02106832U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02106832U JPH02106832U JP1429889U JP1429889U JPH02106832U JP H02106832 U JPH02106832 U JP H02106832U JP 1429889 U JP1429889 U JP 1429889U JP 1429889 U JP1429889 U JP 1429889U JP H02106832 U JPH02106832 U JP H02106832U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- handle
- opening
- opposite
- carrying
- space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 10
Description
第１図は本考案のウエハキヤリア傾斜図、第２
図ａ，ｂはウエハを収容した状態での第１図のＡ
―Ａ′断面図、及び開口部側から見た上面図、第
３図ａ，ｂはそれぞれ異なる搬送状態を示す図、
第４図、第５図は従来のウエハキヤリアを示す一
部破断図である。 １……ウエハ支持用壁、２……ウエハ収容空間
、３……開口部、６……把手、９……ウエハ。
図ａ，ｂはウエハを収容した状態での第１図のＡ
―Ａ′断面図、及び開口部側から見た上面図、第
３図ａ，ｂはそれぞれ異なる搬送状態を示す図、
第４図、第５図は従来のウエハキヤリアを示す一
部破断図である。 １……ウエハ支持用壁、２……ウエハ収容空間
、３……開口部、６……把手、９……ウエハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 内部にウエハ支持用壁１が複数個設けられたウ
エハ収容のための空間２を有すると共に、該空間
と連通しウエハを出し入れする開口部３が一つの
面４に設けられた升状体であり、 前記開口部を有する面との隣接面のうち一つの
面５には持ち運び用の把手６が備えられていると
共に、前記開口部を有する面に対して対向する面
７と把手を有する面に対して対向する面８とが載
置可能な如く平坦となつており、且つ前記支持用
壁が前記把手を有する面からその対向面にかけて
下がるような傾斜を有していることを特徴とした
ウエハキヤリア。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1429889U JPH02106832U (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1429889U JPH02106832U (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02106832U true JPH02106832U (ja) | 1990-08-24 |
Family
ID=31225374
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1429889U Pending JPH02106832U (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02106832U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013008920A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Mitsubishi Electric Corp | ウェハカセット |
-
1989
- 1989-02-09 JP JP1429889U patent/JPH02106832U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013008920A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Mitsubishi Electric Corp | ウェハカセット |
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