JPH0350337U - - Google Patents

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JPH0350337U
JPH0350337U JP11007889U JP11007889U JPH0350337U JP H0350337 U JPH0350337 U JP H0350337U JP 11007889 U JP11007889 U JP 11007889U JP 11007889 U JP11007889 U JP 11007889U JP H0350337 U JPH0350337 U JP H0350337U
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wafer carriers
wafer
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例によるウエーハ収容
ボツクス、第２図は第１図に示すウエーハキヤリ
ヤ、第３図は第１図に示すキヤリヤボツクスの主
体、第４図は第１図に示すキヤリヤボツクスの蓋
体、第５図は平面上に置かれた第１図のウエーハ
キヤリア、第６図は本考案の他の実施例に係わる
キヤリヤボツクスの主体、第７図は本考案のさら
に他の実施例に係わるウエーハキヤリヤ、第８図
は第７図に示すウエーハキヤリヤを収容するキヤ
リヤボツクスの主体、第９図は従来のウエーハ収
容ボツクス、第１０図は第９図に示すウエーハキ
ヤリヤ、第１１図は第９図に示すキヤリヤボツク
スの主体、第１２図は第９図に示すキヤリヤボツ
クスの蓋体、第１３図は平面上に置かれた従来の
ウエーハキヤリア、を示す。 図中において、１……ウエーハ、７……ウエー
ハ挿入溝、２１……ウエーハ収容ボツクス、２２
，３１……ウエーハキヤリヤ、２３，２８，３８
……キヤリヤボツクス、２５，３４……突片、２
７，２９，３９……凹所、である。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 長さ方向に多数のウエーハ１の挿入溝７が整列
    するウエーハキヤリヤ２２，３１と、該ウエーハ
    キヤリヤ２２，３１を収容するキヤリヤボツクス
    ２３，２８，３８とを具え、 該ウエーハキヤリヤ２２，３１には、その長さ
    方向の一側より下方へ突出するまたは突出可能な
    突片２５，３４が設けられ、 該ウエーハキヤリヤ２２，３１の挿入口を一側
    に設けた該キヤリヤボツクス２３，２８，３８に
    は、該挿入口の近傍に該突片２５，３４の挿入さ
    れる凹所２７，２９，３９が設けられたことを特
    徴とするウエーハ収容ボツクス。
JP11007889U 1989-09-20 1989-09-20 Pending JPH0350337U (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006239103A (ja) * 2005-03-03 2006-09-14 Ohashi Gyogu Kk 釣り用シューズ
JP2015173171A (ja) * 2014-03-11 2015-10-01 セイコーインスツル株式会社 ウェハキャリア及びウェハキャリアからウェハを取り出す方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6338330B2 (ja) * 1978-11-24 1988-07-29 Efu Hofuman Ra Roshu Unto Co Ag
JPS63248651A (ja) * 1987-03-25 1988-10-14 藤墳　公美 コンテナ

Patent Citations (2)

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