JPS58175628U - 半導体ウエ−ハの包装容器 - Google Patents
半導体ウエ−ハの包装容器Info
- Publication number
- JPS58175628U JPS58175628U JP7322582U JP7322582U JPS58175628U JP S58175628 U JPS58175628 U JP S58175628U JP 7322582 U JP7322582 U JP 7322582U JP 7322582 U JP7322582 U JP 7322582U JP S58175628 U JPS58175628 U JP S58175628U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- box body
- semiconductor wafer
- wafer packaging
- packaging containers
- carrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Closures For Containers (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の半導体ウェーハの包装容器の一例を示す
斜視図、第２図は本考案による半導体ウェーハ包装容器
の一実施例を示す斜視図である。 １・・・・・・キャリア、１１・・・・・・函本体、１
２・・・・・・側壁、１３・・・・・・切欠部、１４・
・・・・・蓋、１５・・・・・・突部。
斜視図、第２図は本考案による半導体ウェーハ包装容器
の一実施例を示す斜視図である。 １・・・・・・キャリア、１１・・・・・・函本体、１
２・・・・・・側壁、１３・・・・・・切欠部、１４・
・・・・・蓋、１５・・・・・・突部。
Claims (1)
- 半導体ウェーハを保持するキャリアと、このキャリアを
内部に収納する函本体と、この函本体に気密的に取付け
られる蓋とからなる半導体ウェーハ包装容器において、
前記函本体の互いに対向する両側壁に下方に延びる切欠
部がそれぞれ設けられるとともに、これら切欠部の下端
が前記函本体の内部に収納されたキャリアの上端よりも
下側に位置し、かつ前記蓋の互いに対向する両縁部に前
記函本体の切欠部に対応する突部がそれぞれ設けられて
なることを特徴とする半導体ウェーハの包装容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7322582U JPS58175628U (ja) | 1982-05-19 | 1982-05-19 | 半導体ウエ−ハの包装容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7322582U JPS58175628U (ja) | 1982-05-19 | 1982-05-19 | 半導体ウエ−ハの包装容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58175628U true JPS58175628U (ja) | 1983-11-24 |
| JPH0451482Y2 JPH0451482Y2 (ja) | 1992-12-03 |
Family
ID=30082743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7322582U Granted JPS58175628U (ja) | 1982-05-19 | 1982-05-19 | 半導体ウエ−ハの包装容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58175628U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60223111A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-07 | Hitachi Ltd | 半導体ウェーハ用収納ケース |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55134238A (en) * | 1979-04-04 | 1980-10-18 | Toshiba Corp | Clean box |
| JPS5645317U (ja) * | 1979-09-14 | 1981-04-23 |
-
1982
- 1982-05-19 JP JP7322582U patent/JPS58175628U/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55134238A (en) * | 1979-04-04 | 1980-10-18 | Toshiba Corp | Clean box |
| JPS5645317U (ja) * | 1979-09-14 | 1981-04-23 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60223111A (ja) * | 1984-04-20 | 1985-11-07 | Hitachi Ltd | 半導体ウェーハ用収納ケース |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0451482Y2 (ja) | 1992-12-03 |
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