JPS60223111A - 半導体ウェーハ用収納ケース - Google Patents
半導体ウェーハ用収納ケースInfo
- Publication number
- JPS60223111A JPS60223111A JP7845184A JP7845184A JPS60223111A JP S60223111 A JPS60223111 A JP S60223111A JP 7845184 A JP7845184 A JP 7845184A JP 7845184 A JP7845184 A JP 7845184A JP S60223111 A JPS60223111 A JP S60223111A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cartridge
- main body
- case
- storage case
- wafer
- Prior art date
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- Granted
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、物品の収納技術に関し、特に板状物を整列保
持するカートリッジを良好に収納することができる収納
ケースに利用して有効な技術に関するものである。
持するカートリッジを良好に収納することができる収納
ケースに利用して有効な技術に関するものである。
半導体製造工程ではウェーハの保管、搬送更にはバッチ
処理のために、複数枚のウェーッ１を整列状態に保持す
るカートリッジが使用されるし特公昭５３−１１４２７
号公報）。このカートリッジは、第１図に概略図示する
ように、樹脂材等を枠状に構成し、その下側枠２に長さ
方向に並列される複数本のスリット３を形成し、このス
リット３内に夫々ウェーハＷを立設状態に保持するよう
にしたものである。この場合、カートリッジ１は一端面
をＨ型に、他端面をＵ型に形成し、かつウェーハＷは表
面が他端Ｕ型面方向を向くように保持されるのが通常で
ある。
処理のために、複数枚のウェーッ１を整列状態に保持す
るカートリッジが使用されるし特公昭５３−１１４２７
号公報）。このカートリッジは、第１図に概略図示する
ように、樹脂材等を枠状に構成し、その下側枠２に長さ
方向に並列される複数本のスリット３を形成し、このス
リット３内に夫々ウェーハＷを立設状態に保持するよう
にしたものである。この場合、カートリッジ１は一端面
をＨ型に、他端面をＵ型に形成し、かつウェーハＷは表
面が他端Ｕ型面方向を向くように保持されるのが通常で
ある。
ソシて、ウェーハＷを保持させたカートリッジ１を収納
するケースとして、第２図に示す構造のものが考えられ
る。これは、本体４と蓋体５とからなり、内部底面は、
平坦な構成とし、カー） ＩＪッジ１をこの底面上に水
平に載置する容器として構成されているものである。し
かしながら、このケース構造では、収納したカートリッ
ジ１がケース６内で移動し易く、移動したときにはカー
トリッジとケースとの摩耗に伴って摩耗粉が発生し、こ
れが異物となってウェーハＷ表面に付着するという不具
合が発生する。また、カートリッジ１の収納、取出しの
ためにカー） ＩＪッジ周囲に余裕を設けねばならす、
ケース６全体が大型化することになる。
するケースとして、第２図に示す構造のものが考えられ
る。これは、本体４と蓋体５とからなり、内部底面は、
平坦な構成とし、カー） ＩＪッジ１をこの底面上に水
平に載置する容器として構成されているものである。し
かしながら、このケース構造では、収納したカートリッ
ジ１がケース６内で移動し易く、移動したときにはカー
トリッジとケースとの摩耗に伴って摩耗粉が発生し、こ
れが異物となってウェーハＷ表面に付着するという不具
合が発生する。また、カートリッジ１の収納、取出しの
ためにカー） ＩＪッジ周囲に余裕を設けねばならす、
ケース６全体が大型化することになる。
さらに上述したケース構造ではカートリッジ１が、ケー
ス６内で移動することにより、ウェーハＷ自体が振動し
ウェーハ表面とカートリッジＪのスリット内面等が干渉
してウェーハ表面に傷がついたり或いは新たに異物か発
生するという問題等があることが、本発明者によって明
らかにされた。
ス６内で移動することにより、ウェーハＷ自体が振動し
ウェーハ表面とカートリッジＪのスリット内面等が干渉
してウェーハ表面に傷がついたり或いは新たに異物か発
生するという問題等があることが、本発明者によって明
らかにされた。
本発明の目的はケース内における異物の発生を低減させ
ると共に、ケース全体の小型化を図ったカートリッジの
収納ケースを提供することにある。
ると共に、ケース全体の小型化を図ったカートリッジの
収納ケースを提供することにある。
本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本明細書の記述および添付図面からあきらかになるであ
ろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、本体と蓋体とを有する収納ケースの底面を斜
めに形成してカートリッジを斜めに収納し得ると共にカ
ートリッジの一端面側にほぼ合致（以後係合という）す
る突状段部を形成する−１、本体と蓋体の嵌合部の一部
には互いに係合して本体と蓋体との相対位置を決定する
保合部を形成すること尾より、ケースに収納されるカー
トリッジは、カートリッジ内のウェーハ主表面が上方に
向くように斜め忙支持され、これによりケース内でのカ
ートリッジの移動を低減して異物の発生を少なくしかつ
ケースの小型化を図ると共に、前記カートリッジの移動
によるウェーハとカートリッジの干渉を低減してこれに
伴う異物の発生およびウェーハ表面の損傷をも低減する
ことができるものである。
めに形成してカートリッジを斜めに収納し得ると共にカ
ートリッジの一端面側にほぼ合致（以後係合という）す
る突状段部を形成する−１、本体と蓋体の嵌合部の一部
には互いに係合して本体と蓋体との相対位置を決定する
保合部を形成すること尾より、ケースに収納されるカー
トリッジは、カートリッジ内のウェーハ主表面が上方に
向くように斜め忙支持され、これによりケース内でのカ
ートリッジの移動を低減して異物の発生を少なくしかつ
ケースの小型化を図ると共に、前記カートリッジの移動
によるウェーハとカートリッジの干渉を低減してこれに
伴う異物の発生およびウェーハ表面の損傷をも低減する
ことができるものである。
第３図は本発明の一実施例である収納ケースを示す分解
斜視図であり、収納ケース７は本体８と、この本体の開
口部上に被冠される蓋体９とからなり、夫々ポリプロピ
レン等の材料を一体成形して形成しており、内部にはウ
ェーハＷを保持したカートリッジ１を収納できる。
斜視図であり、収納ケース７は本体８と、この本体の開
口部上に被冠される蓋体９とからなり、夫々ポリプロピ
レン等の材料を一体成形して形成しており、内部にはウ
ェーハＷを保持したカートリッジ１を収納できる。
前記本体８は立方体に近い形状の容器として形成してお
り、底面に設けた脚１ｏに対して内底面１１を−１に向
かって傾斜させている。そして内底面が傾斜されて低く
なった側の側壁１２およびこれを挾む側壁１３０夫々忙
は、側壁面を内方に向かつて突出曲成した段状突部１４
，１５を形成している。各突部のうち、段状突部１４は
、本体８の深さ方向に対してその略半分を側壁面と略平
行に小寸法だけ突出させており、前記カートリッジ１の
Ｈ型をした一端面側の下部溝１ａと丁度嵌合し得るよう
にその縦横寸法等を定めている。また、段状突部１５は
全体なテーバ状とし、少なくともその下側部カートリッ
ジ１の両側下部のテーパ面１ｂと丁度当接し得るように
その寸法、傾斜角等を設定している。また、本体８の上
部開口縁にはフランジ１６を形成し、このフランジ１６
に蓋体９の開口縁１７が嵌合し得るようになっており、
このフランジ１６０周方向一部には係合突部１８を一体
に形成している。
り、底面に設けた脚１ｏに対して内底面１１を−１に向
かって傾斜させている。そして内底面が傾斜されて低く
なった側の側壁１２およびこれを挾む側壁１３０夫々忙
は、側壁面を内方に向かつて突出曲成した段状突部１４
，１５を形成している。各突部のうち、段状突部１４は
、本体８の深さ方向に対してその略半分を側壁面と略平
行に小寸法だけ突出させており、前記カートリッジ１の
Ｈ型をした一端面側の下部溝１ａと丁度嵌合し得るよう
にその縦横寸法等を定めている。また、段状突部１５は
全体なテーバ状とし、少なくともその下側部カートリッ
ジ１の両側下部のテーパ面１ｂと丁度当接し得るように
その寸法、傾斜角等を設定している。また、本体８の上
部開口縁にはフランジ１６を形成し、このフランジ１６
に蓋体９の開口縁１７が嵌合し得るようになっており、
このフランジ１６０周方向一部には係合突部１８を一体
に形成している。
−１、蓋体９は下方開口縁１７が前記フランジ１６に嵌
合して本体８開口に被冠されるが、この開口縁１７０周
方向一部には前記係合突部１８に保合する係合切欠き１
９を形成している。蓋体９にはカード受け２０等を形成
し、必要な表示カ−ドを取着できるようにしている。
合して本体８開口に被冠されるが、この開口縁１７０周
方向一部には前記係合突部１８に保合する係合切欠き１
９を形成している。蓋体９にはカード受け２０等を形成
し、必要な表示カ−ドを取着できるようにしている。
なお、カートリッジ１は、第１図で説明したように、枠
２に複数本のスリット３を形成し、複数枚のウェーハＷ
をこのスリット３を利用して立設し、整列支持すること
ができる。この場合、ウェーハＷは全て、主表面をＵ型
忙形成した他端面側に向けて支持される。
２に複数本のスリット３を形成し、複数枚のウェーハＷ
をこのスリット３を利用して立設し、整列支持すること
ができる。この場合、ウェーハＷは全て、主表面をＵ型
忙形成した他端面側に向けて支持される。
以上の構成の収納ケース７によれば、第３図の状態でカ
ー） リッジ１を本体８内に入れ、かつ蓋体９を本体８
に嵌合すれば、第４図、第５図に示されるように収納さ
れる。即ち、カートリッジ１は一端面側の下部溝１ａが
中央の段状突部１４に係合し、かつ両側の段状突部１５
がカートリッジ１の両側テーパ面１ｂに当接される。ま
た、カートリッジ１の他端面側下縁は本体８の内側下縁
に当接される。これにより、カートリッジ１は両側の段
状突部１５とテーパ面１ｂとの当接により両側方向の移
動が拘束され、段状突部１４と下部溝】ａとの係合およ
び他端面側下縁と本体８との当接により両端方向に拘束
される。したがって、カートリッジ１がケース（本体）
７内で移動されることは概ね低減される。
ー） リッジ１を本体８内に入れ、かつ蓋体９を本体８
に嵌合すれば、第４図、第５図に示されるように収納さ
れる。即ち、カートリッジ１は一端面側の下部溝１ａが
中央の段状突部１４に係合し、かつ両側の段状突部１５
がカートリッジ１の両側テーパ面１ｂに当接される。ま
た、カートリッジ１の他端面側下縁は本体８の内側下縁
に当接される。これにより、カートリッジ１は両側の段
状突部１５とテーパ面１ｂとの当接により両側方向の移
動が拘束され、段状突部１４と下部溝】ａとの係合およ
び他端面側下縁と本体８との当接により両端方向に拘束
される。したがって、カートリッジ１がケース（本体）
７内で移動されることは概ね低減される。
−１、本体８の内底面】１が傾斜されていることにより
、本体８に収納されたカートリッジ１はケース７載置面
に対して斜めに支持される。これにより、カートリッジ
１の収納、取出しに必要とされるカートリッジ１周囲の
余裕を小さくでき、それだけ本体８の小型化が達成でき
る。また、カートリッジ１は段状突部１４の存在により
、下部溝】ａが段状突部１４と係合する方向、換言すれ
ばカートリッジ１の一端面側が低くなるように傾斜され
る方向にのみ収納され得るので（反対向きでは他端面側
と段状突部１４とが干渉して収納不可能となるようにし
であるため）、ウェーッＳＷの主表面が上方に向けられ
ることになり、ウェーハＷの表面とスリット３内面との
干渉を防止してウェーハ表面の損傷し特にウェーハ王表
面の損傷）およびこれに伴う新たな異物の発生を低減で
きる。
、本体８に収納されたカートリッジ１はケース７載置面
に対して斜めに支持される。これにより、カートリッジ
１の収納、取出しに必要とされるカートリッジ１周囲の
余裕を小さくでき、それだけ本体８の小型化が達成でき
る。また、カートリッジ１は段状突部１４の存在により
、下部溝】ａが段状突部１４と係合する方向、換言すれ
ばカートリッジ１の一端面側が低くなるように傾斜され
る方向にのみ収納され得るので（反対向きでは他端面側
と段状突部１４とが干渉して収納不可能となるようにし
であるため）、ウェーッＳＷの主表面が上方に向けられ
ることになり、ウェーハＷの表面とスリット３内面との
干渉を防止してウェーハ表面の損傷し特にウェーハ王表
面の損傷）およびこれに伴う新たな異物の発生を低減で
きる。
更に、本体８のフランジ１６に設けた係合突部１８と、
蓋体９に設けた係合切欠１９が合致したときにのみ蓋体
９が本体８に嵌合できるので、蓋体９は本体８に対して
常に一定の方向に嵌合される。したがって、蓋体９の外
側のカード受けの位置或いはその他の目印により、蓋を
した状態でも収納ケースの方向、換言すれば収納されて
いるカートリッジ１．ウェーハＷの主表面の向いている
方向を判断でき、作業性を良くすることができる。
蓋体９に設けた係合切欠１９が合致したときにのみ蓋体
９が本体８に嵌合できるので、蓋体９は本体８に対して
常に一定の方向に嵌合される。したがって、蓋体９の外
側のカード受けの位置或いはその他の目印により、蓋を
した状態でも収納ケースの方向、換言すれば収納されて
いるカートリッジ１．ウェーハＷの主表面の向いている
方向を判断でき、作業性を良くすることができる。
（１）ケースの本体内に段状突部を形成し、ケースに収
納されるカートリッジがこの段状突部により常に一定の
方向に向き、しかもカートリッジが一定方向に傾斜して
収納されるように構成しているので、収納されたカート
リッジに保持されているウェーハは常に主表面を上方に
向けて支持されることになり、ウェーハ表面とカートリ
ッジとの干渉を防止し、ウェーハ表面の損傷（特にウェ
ーッ・主表面の損傷）や異物の発生を大幅に低減できる
。
納されるカートリッジがこの段状突部により常に一定の
方向に向き、しかもカートリッジが一定方向に傾斜して
収納されるように構成しているので、収納されたカート
リッジに保持されているウェーハは常に主表面を上方に
向けて支持されることになり、ウェーハ表面とカートリ
ッジとの干渉を防止し、ウェーハ表面の損傷（特にウェ
ーッ・主表面の損傷）や異物の発生を大幅に低減できる
。
（２） カートリッジを斜めに収納するので、カートリ
ッジの収納、取出しに必要とされるカートリッジ周囲の
余裕を小さくでき、これによりケースの小屋化が達成で
きる。
ッジの収納、取出しに必要とされるカートリッジ周囲の
余裕を小さくでき、これによりケースの小屋化が達成で
きる。
（３）カートリッジをケース本体の段状突部や内側面で
移動できないように拘束しているので、ケース内におけ
るカートリッジの移動に伴う異物の発生を大幅に低減で
きる。
移動できないように拘束しているので、ケース内におけ
るカートリッジの移動に伴う異物の発生を大幅に低減で
きる。
（４） 係合突部と係合切欠により、蓋体は本体に対し
て常に一定の方向に嵌合されるため、ケースの蓋を取着
した状態でも収納したカートリッジおよびウェーハの方
向を判断でき、作業性を向上できる。
て常に一定の方向に嵌合されるため、ケースの蓋を取着
した状態でも収納したカートリッジおよびウェーハの方
向を判断でき、作業性を向上できる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、カートリッ
ジの構造が異なればこれに応じて段状突起の構造も変更
できる。また、蓋体と本体との方向を決める保合部の構
造も適宜変更できる。更に、ケースの外形状や内底面の
傾斜角等も任意に設定できる。
具体的に説明したが、本発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。たとえば、カートリッ
ジの構造が異なればこれに応じて段状突起の構造も変更
できる。また、蓋体と本体との方向を決める保合部の構
造も適宜変更できる。更に、ケースの外形状や内底面の
傾斜角等も任意に設定できる。
以上の説明では王として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体ウェーハの保
持用カートリッジの収納ケースに適用した場合について
説明したが、それに限定されるものではなく、ウェーハ
状のものを並べて保持するカートリッジ一般の収納用ケ
ースとして同様に適用できる。
をその背景となった利用分野である半導体ウェーハの保
持用カートリッジの収納ケースに適用した場合について
説明したが、それに限定されるものではなく、ウェーハ
状のものを並べて保持するカートリッジ一般の収納用ケ
ースとして同様に適用できる。
第１図はカートリッジの斜視図、
第２図は、収納ケースにカートリッジを収納した状態の
断面図、 第３図は、本発明の一実施例である収納ケースの部分分
解斜視図、 第４図は、第３図におけるＡ−Ａ線矢視断面図、第５図
は、第３図におけるＢ−Ｂ線矢視断面図である。 １・・・カートリッジ、１ａ・・・下部溝、１ｂ・・・
テーパ面、７・・・収納ケース、８・・・本体、９・・
・蓋体、１１・・・内底面、１４・・・段状突部、１５
・・・段状突部、１６・・・フランジ、１７・・・開口
縁、１８・・・係合突部、１９・・・係合切欠き、Ｗ・
・・ウェーハ。 第１図 第 ２ 図 第 ３ 図
断面図、 第３図は、本発明の一実施例である収納ケースの部分分
解斜視図、 第４図は、第３図におけるＡ−Ａ線矢視断面図、第５図
は、第３図におけるＢ−Ｂ線矢視断面図である。 １・・・カートリッジ、１ａ・・・下部溝、１ｂ・・・
テーパ面、７・・・収納ケース、８・・・本体、９・・
・蓋体、１１・・・内底面、１４・・・段状突部、１５
・・・段状突部、１６・・・フランジ、１７・・・開口
縁、１８・・・係合突部、１９・・・係合切欠き、Ｗ・
・・ウェーハ。 第１図 第 ２ 図 第 ３ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、容器状の本体と、これに被冠する蓋体とからなる収
納ケースであって、前記本体は、前記本体内に収納され
るカートリッジに保合してこれを一定の方向に収納させ
る段状突部を有すると共に前記カートリッジを一定の方
向に傾斜させる内底面を有し、かつ本体と蓋体との間に
は本体に対して一定の方向に蓋体な嵌合し得る保合部を
設けたことを特徴とする収納ケース。 ２、内底面は傾斜状に形成し、この傾斜方向の一端位置
に段状突部を形成してなる特許請求の範囲Ｉ！１項記載
の収納ケース。 ３、本体の開口部周縁の一部に保合突起を設け、これに
対応する蓋体の開口部縁の一部に係合切欠を設けてなる
特許請求の範囲第２項記載の収納ケース。 ４、 カートリッジは複数枚のウェーハを整列して保持
でき、谷ウェーハは夫々王表面を同一方向に向けてなり
、カー） ＩＪッジが傾斜状態に収納されたときに前記
各ウェーハの夫々の主表面が上方を向くように構成して
なる特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記
載の収納ケース。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7845184A JPS60223111A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | 半導体ウェーハ用収納ケース |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7845184A JPS60223111A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | 半導体ウェーハ用収納ケース |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60223111A true JPS60223111A (ja) | 1985-11-07 |
| JPH0462460B2 JPH0462460B2 (ja) | 1992-10-06 |
Family
ID=13662398
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7845184A Granted JPS60223111A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | 半導体ウェーハ用収納ケース |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60223111A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012036206A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 富士電機株式会社 | ウェハ収納具、及びウェハカセットの収納ケース |
| CN103021914A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-04-03 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 防止晶圆中心部分下垂的晶舟 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5311427A (en) * | 1976-07-19 | 1978-02-01 | American Safety Equip | Safetyybelt retractor |
| JPS5315252U (ja) * | 1976-07-19 | 1978-02-08 | ||
| JPS5343019A (en) * | 1976-09-30 | 1978-04-18 | Nippon Steel Corp | Refining method for steel with reduced slag formation |
| JPS5758760U (ja) * | 1980-09-25 | 1982-04-07 | ||
| JPS58158440U (ja) * | 1982-04-16 | 1983-10-22 | 沖電気工業株式会社 | ウエハ洗浄装置 |
| JPS58175628U (ja) * | 1982-05-19 | 1983-11-24 | 三菱マテリアル株式会社 | 半導体ウエ−ハの包装容器 |
| JPS5961942A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-09 | Hitachi Ltd | 薄板キヤリア治具 |
-
1984
- 1984-04-20 JP JP7845184A patent/JPS60223111A/ja active Granted
Patent Citations (7)
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Cited By (3)
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| WO2012036206A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 富士電機株式会社 | ウェハ収納具、及びウェハカセットの収納ケース |
| CN103069558A (zh) * | 2010-09-17 | 2013-04-24 | 富士电机株式会社 | 晶片收纳装置和晶片盒收纳箱 |
| CN103021914A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-04-03 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 防止晶圆中心部分下垂的晶舟 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0462460B2 (ja) | 1992-10-06 |
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