JP2908985B2 - ウェーハ収納容器のウェーハ抑え - Google Patents
ウェーハ収納容器のウェーハ抑えInfo
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェーハを損傷、
汚染から防いで安全に輸送し、保管し、取り扱うための
ウェーハ収納容器に用いられるウェーハ抑えに関するも
のである。
汚染から防いで安全に輸送し、保管し、取り扱うための
ウェーハ収納容器に用いられるウェーハ抑えに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェーハ収納容器は、例えば図４
に示すような構造をしていて、ウェーハＷを内箱ａに収
納した後、内箱ａを容器本体ｂに入れ、その嵌合周縁部
にシール部材ｃを装着する。他方、蓋体ｄの内面に、両
側に多数の短冊状の弾性片ｅが片持ち梁状に対設されて
いるウェーハ抑えｆを装着した後、蓋体ｄを容器本体ｂ
に被せて嵌合すると共に、ウェーハ抑えｆで各ウェーハ
Ｗの上縁部を弾性的に支持するという方法で使用してい
た。この構造のウェーハ抑えｆに代えて、図５に示すよ
うに蓋体ｇの内面両側に垂直の弾性板材を二重にして対
設させた構造のウェーハ抑えｈとし、両弾性板材を外側
に曲げることで各ウェーハＷの斜め上縁を弾性的に支持
する方法、図６に示すように弓状弾性片ｉを支持枠ｊの
内面両側で固設したウェーハ抑えとし、弓状弾性片ｉの
中央部で各ウェーハＷの上縁部を弾性的に支持する方
法、図７に示すように蓋体ｋの内面中央部の支持枠と、
これに相対して設けられた１対の係止片ｍと、その両側
寄りに設けられた片持ち梁状の弾性片ｎとからなる、ウ
ェーハ抑えを用いて、係止片ｍでウェーハＷの上縁部を
支持すると共に、弾性片ｎの先端部が上方へ曲がること
でウェーハＷの斜め上縁部を弾性的に支持する方法など
が知られている。
に示すような構造をしていて、ウェーハＷを内箱ａに収
納した後、内箱ａを容器本体ｂに入れ、その嵌合周縁部
にシール部材ｃを装着する。他方、蓋体ｄの内面に、両
側に多数の短冊状の弾性片ｅが片持ち梁状に対設されて
いるウェーハ抑えｆを装着した後、蓋体ｄを容器本体ｂ
に被せて嵌合すると共に、ウェーハ抑えｆで各ウェーハ
Ｗの上縁部を弾性的に支持するという方法で使用してい
た。この構造のウェーハ抑えｆに代えて、図５に示すよ
うに蓋体ｇの内面両側に垂直の弾性板材を二重にして対
設させた構造のウェーハ抑えｈとし、両弾性板材を外側
に曲げることで各ウェーハＷの斜め上縁を弾性的に支持
する方法、図６に示すように弓状弾性片ｉを支持枠ｊの
内面両側で固設したウェーハ抑えとし、弓状弾性片ｉの
中央部で各ウェーハＷの上縁部を弾性的に支持する方
法、図７に示すように蓋体ｋの内面中央部の支持枠と、
これに相対して設けられた１対の係止片ｍと、その両側
寄りに設けられた片持ち梁状の弾性片ｎとからなる、ウ
ェーハ抑えを用いて、係止片ｍでウェーハＷの上縁部を
支持すると共に、弾性片ｎの先端部が上方へ曲がること
でウェーハＷの斜め上縁部を弾性的に支持する方法など
が知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図４、図５お
よび図７に示すウェーハ抑えはいずれも一端だけが蓋体
または支持枠に固定された垂直または片持ち梁状の弾性
片でウェーハを支持する構造になっているため、弾性片
の撓み部分がクリープ変形を起こし易く、とくにウェー
ハを長期間保管すると、クリープ変形によって弾性片の
反発力が低下し、ウェーハ保持力が弱まって輸送中にウ
ェーハが回転したりガタついたりして擦れが発生し、ウ
ェーハまたはウェーハ抑えの摩耗による発塵でウェーハ
が汚染される可能性が大きかった。その点、図６に示す
弓状弾性片ｉは両側で保持されているためクリープ変形
のおそれはないが、構造的にウェーハの上面全体を覆う
状態になるため、このウェーハ抑えが邪魔になって、容
器に収納したウェーハの枚数を蓋体の外側から確認する
ことができず、作業性を著しく損ねるという不都合があ
った。さらに、ウェーハＷの形状には、基準位置を示す
方式として、図５に示すような頂部の一部にだけ切り欠
きのあるノッチ式Ｗ1 と、図７に示すような上部がフラ
ットになったオリフラ式Ｗ2 とがあるため、ウェーハ抑
えの形状によっては両方式の保持力に差が生じ、一方で
は満足しても他方ではウェーハの回転やガタつきによる
発塵汚染が生ずるという問題があった。したがって、本
発明の目的は、クリープ変形を起こしたり、作業性を損
ねることがなく、しかもウェーハの形状が変わっても保
持力に影響を与えることのないウェーハ収納容器のウェ
ーハ抑えを提供するものである。
よび図７に示すウェーハ抑えはいずれも一端だけが蓋体
または支持枠に固定された垂直または片持ち梁状の弾性
片でウェーハを支持する構造になっているため、弾性片
の撓み部分がクリープ変形を起こし易く、とくにウェー
ハを長期間保管すると、クリープ変形によって弾性片の
反発力が低下し、ウェーハ保持力が弱まって輸送中にウ
ェーハが回転したりガタついたりして擦れが発生し、ウ
ェーハまたはウェーハ抑えの摩耗による発塵でウェーハ
が汚染される可能性が大きかった。その点、図６に示す
弓状弾性片ｉは両側で保持されているためクリープ変形
のおそれはないが、構造的にウェーハの上面全体を覆う
状態になるため、このウェーハ抑えが邪魔になって、容
器に収納したウェーハの枚数を蓋体の外側から確認する
ことができず、作業性を著しく損ねるという不都合があ
った。さらに、ウェーハＷの形状には、基準位置を示す
方式として、図５に示すような頂部の一部にだけ切り欠
きのあるノッチ式Ｗ1 と、図７に示すような上部がフラ
ットになったオリフラ式Ｗ2 とがあるため、ウェーハ抑
えの形状によっては両方式の保持力に差が生じ、一方で
は満足しても他方ではウェーハの回転やガタつきによる
発塵汚染が生ずるという問題があった。したがって、本
発明の目的は、クリープ変形を起こしたり、作業性を損
ねることがなく、しかもウェーハの形状が変わっても保
持力に影響を与えることのないウェーハ収納容器のウェ
ーハ抑えを提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のウェーハ抑え
は、蓋体の底面に装着されて、内箱に収納された各ウェ
ーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えであって、
直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に連設さ
れたそれぞれの基部から垂下し、互いに近ずく方向にＲ
を描いて屈曲し、傾斜して上昇した後、先端部が急上昇
してＵ字状を呈すると共に幅方向が櫛状に分岐する、対
をなす２列の片持ち構造の弾性部材とからなり、弾性部
材の先端部は蓋体の底面に設けられたガイドリブに嵌合
し、蓋体の底面と 0.5〜10mmの間隙をおいて配設されて
いることを特徴とするものである。
は、蓋体の底面に装着されて、内箱に収納された各ウェ
ーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えであって、
直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に連設さ
れたそれぞれの基部から垂下し、互いに近ずく方向にＲ
を描いて屈曲し、傾斜して上昇した後、先端部が急上昇
してＵ字状を呈すると共に幅方向が櫛状に分岐する、対
をなす２列の片持ち構造の弾性部材とからなり、弾性部
材の先端部は蓋体の底面に設けられたガイドリブに嵌合
し、蓋体の底面と 0.5〜10mmの間隙をおいて配設されて
いることを特徴とするものである。
【０００５】以下、本発明のウェーハ収納容器のウェー
ハ抑えについて、例示した図１〜図３に基づいて詳細に
説明する。図１はウェーハを個別に担持する箱状の本体
と本発明のウェーハ抑えを装着した蓋体との関係を示す
もので、図（ａ）は蓋体を嵌合する前の状態での縦断面
説明図、図（ｂ）は蓋体を嵌合した後の状態での部分縦
断面説明図である。図２は図１（ａ）における蓋体の底
面説明図である。上記各図において、１はウェーハＷを
収納する内箱、２はこの内箱１を収納・係止する容器本
体、３は蓋体、４は本発明のウェーハ抑えである。ウェ
ーハ抑え４は、直方形をした支持枠５と、その内の相対
する二辺に、それぞれの基部Ａが連設され、基部Ａから
垂下し（Ｂ）、互いに近ずく方向にＲを描いて屈曲し、
傾斜して上昇し（Ｃ）た後、先端部が急上昇し（Ｄ）て
Ｕ字状を呈すると共に幅方向が櫛状に分岐する、対をな
す２列の片持ち構造の弾性部材６とからなり、支持枠５
の周縁が蓋体３の底面の適所に設けられたリブ７と嵌合
することで、蓋体３に着脱自在に装着されると共に、弾
性部材６の先端部は蓋体３の底面に設けられたガイドリ
ブと嵌合し、底面と 0.5〜10mm、好ましくは２〜５mmの
間隙αをおいて配設されている。また、８はそれぞれ蓋
体３を容器本体２に被せたときに、それぞれの周縁で係
止するための係止部、９は弾性部材６のＣ位置両側に設
けられたリブで、隣接するリブ間にウェーハＷの周縁を
挿入・支持している。
ハ抑えについて、例示した図１〜図３に基づいて詳細に
説明する。図１はウェーハを個別に担持する箱状の本体
と本発明のウェーハ抑えを装着した蓋体との関係を示す
もので、図（ａ）は蓋体を嵌合する前の状態での縦断面
説明図、図（ｂ）は蓋体を嵌合した後の状態での部分縦
断面説明図である。図２は図１（ａ）における蓋体の底
面説明図である。上記各図において、１はウェーハＷを
収納する内箱、２はこの内箱１を収納・係止する容器本
体、３は蓋体、４は本発明のウェーハ抑えである。ウェ
ーハ抑え４は、直方形をした支持枠５と、その内の相対
する二辺に、それぞれの基部Ａが連設され、基部Ａから
垂下し（Ｂ）、互いに近ずく方向にＲを描いて屈曲し、
傾斜して上昇し（Ｃ）た後、先端部が急上昇し（Ｄ）て
Ｕ字状を呈すると共に幅方向が櫛状に分岐する、対をな
す２列の片持ち構造の弾性部材６とからなり、支持枠５
の周縁が蓋体３の底面の適所に設けられたリブ７と嵌合
することで、蓋体３に着脱自在に装着されると共に、弾
性部材６の先端部は蓋体３の底面に設けられたガイドリ
ブと嵌合し、底面と 0.5〜10mm、好ましくは２〜５mmの
間隙αをおいて配設されている。また、８はそれぞれ蓋
体３を容器本体２に被せたときに、それぞれの周縁で係
止するための係止部、９は弾性部材６のＣ位置両側に設
けられたリブで、隣接するリブ間にウェーハＷの周縁を
挿入・支持している。
【０００６】これにより、ウェーハＷを収納した内箱１
を容器本体２に入れ、蓋体３を被せたときには、ウェー
ハ抑え４の弾性部材６の先端部はガイドリブ内で蓋体３
の底面と間隙αをおいて配設されているため、片持ち梁
の状態となり、弾性部材６がウェーハＷに小さな力で接
触し、ウェーハＷをその周側縁で内箱１の内側壁に設け
られた縦溝の中心に誘導する。さらに、蓋体３を押し込
んで完全に容器本体２に被せたときには容器内でウェー
ハ抑え４の弾性部材６の先端部がガイドリブ内で蓋体３
の底面に接触する両持ち梁の状態となり、弾性部材６の
Ｃ位置下面でウェーハＷの左右斜め上縁を弾性的に保持
する。しかも、この状態では押圧力を弾性部材６の基部
と先端部の２個所で支持することになるため、弾性部材
６の変形が分散され、ウェーハ抑え４の耐久力が向上す
る。
を容器本体２に入れ、蓋体３を被せたときには、ウェー
ハ抑え４の弾性部材６の先端部はガイドリブ内で蓋体３
の底面と間隙αをおいて配設されているため、片持ち梁
の状態となり、弾性部材６がウェーハＷに小さな力で接
触し、ウェーハＷをその周側縁で内箱１の内側壁に設け
られた縦溝の中心に誘導する。さらに、蓋体３を押し込
んで完全に容器本体２に被せたときには容器内でウェー
ハ抑え４の弾性部材６の先端部がガイドリブ内で蓋体３
の底面に接触する両持ち梁の状態となり、弾性部材６の
Ｃ位置下面でウェーハＷの左右斜め上縁を弾性的に保持
する。しかも、この状態では押圧力を弾性部材６の基部
と先端部の２個所で支持することになるため、弾性部材
６の変形が分散され、ウェーハ抑え４の耐久力が向上す
る。
【０００７】上記対をなす弾性部材６の断面形状は、図
示のように、基部Ａより垂線に対し２〜５°内側に傾い
た状態で下降した（Ｂ位置）後、Ｒを画いて50〜70°の
勾配で内方へ上昇し（Ｃ位置）、その後さらに、垂線に
対し２〜５°内側に傾いた角度で急上昇し（Ｄ位置）先
端部に至る、下方内側の角がとれたＵ字状をしているこ
とが好ましく、これによりウェーハＷと弾性部材６との
接触面積が大きくなり、ウェーハ抑え４の耐久性が一層
向上する。このため弾性部材６の厚みを 1.5mm程度に薄
くできるという利点もある。図３はウェーハ抑えの別の
実施態様を示すもので、このウェーハ抑え14では、支持
枠15の両側部に図示の形状の弾性部材16が設けられると
共に、中央部に図７（ａ）にｍとして示したのと同様の
左右１対の係止片17が設けられている。これによれば収
納するウェーハＷが図７に示した上部がフラットになっ
たオリフラ式Ｗ2 の場合に、より有効に保持することが
できる。本発明によるウェーハ抑え４、14は、透明また
は着色無地の、ＰＥ、ＰＰなどのポリオレフィン、ＡＢ
Ｓ、ＰＳ、ＰＣ、ＰＢＴなどの熱可塑性樹脂およびポリ
エステル系、ポリオレフィン系、ポリスチレン系などの
熱可塑性エラストマーが用いられる。
示のように、基部Ａより垂線に対し２〜５°内側に傾い
た状態で下降した（Ｂ位置）後、Ｒを画いて50〜70°の
勾配で内方へ上昇し（Ｃ位置）、その後さらに、垂線に
対し２〜５°内側に傾いた角度で急上昇し（Ｄ位置）先
端部に至る、下方内側の角がとれたＵ字状をしているこ
とが好ましく、これによりウェーハＷと弾性部材６との
接触面積が大きくなり、ウェーハ抑え４の耐久性が一層
向上する。このため弾性部材６の厚みを 1.5mm程度に薄
くできるという利点もある。図３はウェーハ抑えの別の
実施態様を示すもので、このウェーハ抑え14では、支持
枠15の両側部に図示の形状の弾性部材16が設けられると
共に、中央部に図７（ａ）にｍとして示したのと同様の
左右１対の係止片17が設けられている。これによれば収
納するウェーハＷが図７に示した上部がフラットになっ
たオリフラ式Ｗ2 の場合に、より有効に保持することが
できる。本発明によるウェーハ抑え４、14は、透明また
は着色無地の、ＰＥ、ＰＰなどのポリオレフィン、ＡＢ
Ｓ、ＰＳ、ＰＣ、ＰＢＴなどの熱可塑性樹脂およびポリ
エステル系、ポリオレフィン系、ポリスチレン系などの
熱可塑性エラストマーが用いられる。
【０００８】
【作用】多数のウェーハＷを収納した内箱１を、容器本
体２内に収納・係止する。一方、蓋体３の底面に本発明
のウェーハ抑え４を装着した後、蓋体３を容器本体２に
被せ、それぞれの周縁の係止部８で嵌合・係止する。こ
のとき、容器内ではウェーハ抑え４の弾性部材６の先端
部が蓋体３の底面に接触する状態となり、弾性部材６の
Ｃ位置下面でウェーハＷの左右斜め上縁を弾性的に保持
する。また、この状態では押圧力を弾性部材６の基部と
先端部の２個所で支持することになるため、変形が分散
され、ウェーハ抑え４の耐久力が向上する。
体２内に収納・係止する。一方、蓋体３の底面に本発明
のウェーハ抑え４を装着した後、蓋体３を容器本体２に
被せ、それぞれの周縁の係止部８で嵌合・係止する。こ
のとき、容器内ではウェーハ抑え４の弾性部材６の先端
部が蓋体３の底面に接触する状態となり、弾性部材６の
Ｃ位置下面でウェーハＷの左右斜め上縁を弾性的に保持
する。また、この状態では押圧力を弾性部材６の基部と
先端部の２個所で支持することになるため、変形が分散
され、ウェーハ抑え４の耐久力が向上する。
【０００９】
【発明の効果】本発明のウェーハ収納容器のウェーハ抑
えによれば、下記の効果を奏する。1)従来のものよりも
クリープ変形が少なく、ウェーハ保持力の低下が少なく
なり、長期保管後の輸送においてもパーティクルの発生
を抑制することができる。2)弾性部材が対をなす２列に
設けられているので、中央部上方から収納されているウ
ェーハを透視・確認することが容易である。3)ノッチ式
ウェーハ、オリフラ式ウェーハの別なく、同じ保持力が
安定的に付与される。
えによれば、下記の効果を奏する。1)従来のものよりも
クリープ変形が少なく、ウェーハ保持力の低下が少なく
なり、長期保管後の輸送においてもパーティクルの発生
を抑制することができる。2)弾性部材が対をなす２列に
設けられているので、中央部上方から収納されているウ
ェーハを透視・確認することが容易である。3)ノッチ式
ウェーハ、オリフラ式ウェーハの別なく、同じ保持力が
安定的に付与される。
【図１】ウェーハを収納する本体と本発明のウェーハ抑
えを装着した蓋体との関係を示すもので、図（ａ）は蓋
体を嵌合する前の状態での縦断面説明図、図（ｂ）は蓋
体を嵌合した後の状態での部分縦断面説明図である。
えを装着した蓋体との関係を示すもので、図（ａ）は蓋
体を嵌合する前の状態での縦断面説明図、図（ｂ）は蓋
体を嵌合した後の状態での部分縦断面説明図である。
【図２】図１（ａ）に示した本発明のウェーハ抑えを蓋
体の内面に装着した状態で示す底面説明図である。
体の内面に装着した状態で示す底面説明図である。
【図３】本発明のウェーハ抑えの別の実施態様を示す正
面説明図である。
面説明図である。
【図４】従来のウェーハ収納容器の一例を示す分解斜視
図である。
図である。
【図５】従来のウェーハ収納容器の他の例を示す縦断面
図である。
図である。
【図６】従来のウェーハ抑えの別の例を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図７】従来のウェーハ収納容器の更に別の例を示すも
ので、図（ａ）は蓋体を嵌合する前の状態での縦断面
図、図（ｂ）は蓋体を嵌合した後の状態での部分縦断面
図ある。
ので、図（ａ）は蓋体を嵌合する前の状態での縦断面
図、図（ｂ）は蓋体を嵌合した後の状態での部分縦断面
図ある。
１‥内箱、 ２‥容器本
体、 ３‥蓋体、 ４、14‥ウェーハ
抑え、 ５、15‥支持枠、 ６、16‥弾性
部材、 ７‥リブ、 ８‥係止部、 ９‥リブ、 17‥係止片、 α‥間隙。 ａ‥内箱、 ｂ‥容器本
体、 ｃ‥シール部材、 ｄ、ｇ、ｋ‥蓋体、 ｅ、ｎ‥弾性片、 ｆ、ｈ、ｊ‥ウェ
ーハ抑え、 ｉ‥弓状弾性片、 ｍ‥係止片、 Ｗ‥ウェーハ Ｗ1 ‥ノッチ
式ウェーハ、 Ｗ2 ‥オリフラ式ウェーハ。
体、 ３‥蓋体、 ４、14‥ウェーハ
抑え、 ５、15‥支持枠、 ６、16‥弾性
部材、 ７‥リブ、 ８‥係止部、 ９‥リブ、 17‥係止片、 α‥間隙。 ａ‥内箱、 ｂ‥容器本
体、 ｃ‥シール部材、 ｄ、ｇ、ｋ‥蓋体、 ｅ、ｎ‥弾性片、 ｆ、ｈ、ｊ‥ウェ
ーハ抑え、 ｉ‥弓状弾性片、 ｍ‥係止片、 Ｗ‥ウェーハ Ｗ1 ‥ノッチ
式ウェーハ、 Ｗ2 ‥オリフラ式ウェーハ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/68 B65D 85/86 C23C 14/50
Claims (1)
- 【請求項１】蓋体の底面に装着されて、内箱に収納され
た各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えで
あって、直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺
に連設されたそれぞれの基部から垂下し、互いに近ずく
方向にＲを描いて屈曲し、傾斜して上昇した後、先端部
が急上昇してＵ字状を呈すると共に幅方向が櫛状に分岐
する、対をなす２列の片持ち構造の弾性部材とからな
り、弾性部材の先端部は蓋体の底面に設けられたガイド
リブに嵌合し、蓋体の底面と 0.5〜10mmの間隙をおいて
配設されていることを特徴とするウェーハ収納容器のウ
ェーハ抑え。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16685094A JP2908985B2 (ja) | 1994-07-19 | 1994-07-19 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16685094A JP2908985B2 (ja) | 1994-07-19 | 1994-07-19 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0831920A JPH0831920A (ja) | 1996-02-02 |
| JP2908985B2 true JP2908985B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=15838813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16685094A Expired - Fee Related JP2908985B2 (ja) | 1994-07-19 | 1994-07-19 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2908985B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2796502B2 (ja) * | 1994-10-06 | 1998-09-10 | 信越ポリマー株式会社 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
| JP3938293B2 (ja) * | 2001-05-30 | 2007-06-27 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器及びその押さえ部材 |
| JP4667769B2 (ja) * | 2004-06-11 | 2011-04-13 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
| CN116101634A (zh) * | 2023-03-07 | 2023-05-12 | 中国工程物理研究院总体工程研究所 | 一种热源的抗事故包装箱 |
-
1994
- 1994-07-19 JP JP16685094A patent/JP2908985B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0831920A (ja) | 1996-02-02 |
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