JPH0831920A - ウェーハ収納容器のウェーハ抑え - Google Patents
ウェーハ収納容器のウェーハ抑えInfo
- Publication number
- JPH0831920A JPH0831920A JP16685094A JP16685094A JPH0831920A JP H0831920 A JPH0831920 A JP H0831920A JP 16685094 A JP16685094 A JP 16685094A JP 16685094 A JP16685094 A JP 16685094A JP H0831920 A JPH0831920 A JP H0831920A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- retainer
- shape
- elastic member
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】クリープ変形を起こしたり、作業性を損ねるこ
とがなく、しかもウェーハの形状が変わっても保持力に
影響を与えることのないウェーハ収納容器のウェーハ抑
えを提供する。 【構成】蓋体３の底面に装着されて、内箱１に収納され
た各ウェーハＷの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え
４が、直方形をした支持枠５と、その内の相対する二辺
に基部が連設され内方へＵ字状に屈曲すると共に幅方向
が櫛状に分岐する、左右対称の片持ち構造の弾性部材６
とからなり、弾性部材６の先端は蓋体３の底面と 0.5〜
10mmの間隙αをおいて配設されているものである。
とがなく、しかもウェーハの形状が変わっても保持力に
影響を与えることのないウェーハ収納容器のウェーハ抑
えを提供する。 【構成】蓋体３の底面に装着されて、内箱１に収納され
た各ウェーハＷの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え
４が、直方形をした支持枠５と、その内の相対する二辺
に基部が連設され内方へＵ字状に屈曲すると共に幅方向
が櫛状に分岐する、左右対称の片持ち構造の弾性部材６
とからなり、弾性部材６の先端は蓋体３の底面と 0.5〜
10mmの間隙αをおいて配設されているものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェーハを損傷、
汚染から防いで安全に輸送し、保管し、取り扱うための
ウェーハ収納容器に用いられるウェーハ抑えに関するも
のである。
汚染から防いで安全に輸送し、保管し、取り扱うための
ウェーハ収納容器に用いられるウェーハ抑えに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェーハ収納容器は、例えば図４
に示すような構造をしていて、ウェーハＷを内箱ａに収
納した後、内箱ａを容器本体ｂに入れ、その嵌合周縁部
にシール部材ｃを装着する。他方、蓋体ｄの内面に、両
側に多数の短冊状の弾性片ｅが片持ち梁状に対設されて
いるウェーハ抑えｆを装着した後、蓋体ｄを容器本体ｂ
に被せて嵌合すると共に、ウェーハ抑えｆで各ウェーハ
Ｗの上縁部を弾性的に支持するという方法で使用してい
た。この構造のウェーハ抑えｆに代えて、図５に示すよ
うに蓋体ｇの内面両側に垂直の弾性板材を二重にして対
設させた構造のウェーハ抑えｈとし、両弾性板材を外側
に曲げることで各ウェーハＷの斜め上縁を弾性的に支持
する方法、図６に示すように弓状弾性片ｉをウェーハ抑
えｊの内面両側で固設し、弓状弾性片ｉの中央部で各ウ
ェーハＷの上縁部を弾性的に支持する方法、図７に示す
ように蓋体ｋの内面中央部に相対して設けられた１対の
係止片ｍと、その両側より設けられた片持ち梁状の弾性
片ｎとからなるウェーハ抑えを用いて、係止片ｍでウェ
ーハＷの上縁部を支持すると共に、弾性片ｎの先端部が
上方へ曲がることでウェーハＷの斜め上縁部を弾性的に
支持する方法などが知られている。
に示すような構造をしていて、ウェーハＷを内箱ａに収
納した後、内箱ａを容器本体ｂに入れ、その嵌合周縁部
にシール部材ｃを装着する。他方、蓋体ｄの内面に、両
側に多数の短冊状の弾性片ｅが片持ち梁状に対設されて
いるウェーハ抑えｆを装着した後、蓋体ｄを容器本体ｂ
に被せて嵌合すると共に、ウェーハ抑えｆで各ウェーハ
Ｗの上縁部を弾性的に支持するという方法で使用してい
た。この構造のウェーハ抑えｆに代えて、図５に示すよ
うに蓋体ｇの内面両側に垂直の弾性板材を二重にして対
設させた構造のウェーハ抑えｈとし、両弾性板材を外側
に曲げることで各ウェーハＷの斜め上縁を弾性的に支持
する方法、図６に示すように弓状弾性片ｉをウェーハ抑
えｊの内面両側で固設し、弓状弾性片ｉの中央部で各ウ
ェーハＷの上縁部を弾性的に支持する方法、図７に示す
ように蓋体ｋの内面中央部に相対して設けられた１対の
係止片ｍと、その両側より設けられた片持ち梁状の弾性
片ｎとからなるウェーハ抑えを用いて、係止片ｍでウェ
ーハＷの上縁部を支持すると共に、弾性片ｎの先端部が
上方へ曲がることでウェーハＷの斜め上縁部を弾性的に
支持する方法などが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図４、図５お
よび図７に示すウェーハ抑えｆ、ｈ、ｍ、ｎはいずれも
一端だけが固定された垂直または片持ち梁状の弾性片か
らなっているため、弾性片の撓み部分がクリープ変形を
起こし易く、とくにウェーハを長期間保管すると、クリ
ープ変形によって弾性片の反発力が低下し、ウェーハ保
持力が弱まって輸送中にウェーハが回転したりガタつい
たりして擦れが発生し、ウェーハまたはウェーハ抑えの
摩耗による発塵でウェーハが汚染される可能性が大きか
った。その点、図６に示す弓状弾性片ｉは両側で保持さ
れているためクリープ変形のおそれはないが、構造的に
ウェーハの上面全体を覆う状態になるため、このウェー
ハ抑えが邪魔になって、容器に収納したウェーハの枚数
を蓋体の外側から確認することができず、作業性を著し
く損ねるという不都合があった。さらに、ウェーハＷの
形状には、基準位置を示す方式として、図５に示すよう
な頂部の一部にだけ切り欠きのあるノッチ式Ｗ1 と、図
７に示すような上部がフラットになったオリフラ式Ｗ2
とがあるため、ウェーハ抑えの形状によっては両方式の
保持力に差が生じ、一方では満足しても他方ではウェー
ハの回転やガタつきによる発塵汚染が生ずるという問題
があった。したがって、本発明の目的は、クリープ変形
を起こしたり、作業性を損ねることがなく、しかもウェ
ーハの形状が変わっても保持力に影響を与えることのな
いウェーハ収納容器のウェーハ抑えを提供するものであ
る。
よび図７に示すウェーハ抑えｆ、ｈ、ｍ、ｎはいずれも
一端だけが固定された垂直または片持ち梁状の弾性片か
らなっているため、弾性片の撓み部分がクリープ変形を
起こし易く、とくにウェーハを長期間保管すると、クリ
ープ変形によって弾性片の反発力が低下し、ウェーハ保
持力が弱まって輸送中にウェーハが回転したりガタつい
たりして擦れが発生し、ウェーハまたはウェーハ抑えの
摩耗による発塵でウェーハが汚染される可能性が大きか
った。その点、図６に示す弓状弾性片ｉは両側で保持さ
れているためクリープ変形のおそれはないが、構造的に
ウェーハの上面全体を覆う状態になるため、このウェー
ハ抑えが邪魔になって、容器に収納したウェーハの枚数
を蓋体の外側から確認することができず、作業性を著し
く損ねるという不都合があった。さらに、ウェーハＷの
形状には、基準位置を示す方式として、図５に示すよう
な頂部の一部にだけ切り欠きのあるノッチ式Ｗ1 と、図
７に示すような上部がフラットになったオリフラ式Ｗ2
とがあるため、ウェーハ抑えの形状によっては両方式の
保持力に差が生じ、一方では満足しても他方ではウェー
ハの回転やガタつきによる発塵汚染が生ずるという問題
があった。したがって、本発明の目的は、クリープ変形
を起こしたり、作業性を損ねることがなく、しかもウェ
ーハの形状が変わっても保持力に影響を与えることのな
いウェーハ収納容器のウェーハ抑えを提供するものであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明による上記ウェー
ハ抑えは、蓋体の底面に装着されて、内箱に収納された
各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えが、
直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基部が
連設され内方にＵ字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に
分岐する、左右対称の片持ち構造の弾性部材とからな
り、弾性部材の先端は蓋体の底面と 0.5〜10mmの間隙を
おいて配設されていることを特徴とするものである。
ハ抑えは、蓋体の底面に装着されて、内箱に収納された
各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えが、
直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基部が
連設され内方にＵ字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に
分岐する、左右対称の片持ち構造の弾性部材とからな
り、弾性部材の先端は蓋体の底面と 0.5〜10mmの間隙を
おいて配設されていることを特徴とするものである。
【０００５】以下、本発明のウェーハ収納容器のウェー
ハ抑えについて、例示した図１〜図３に基づいて詳細に
説明する。図１はウェーハを個別に担持する箱状の本体
と本発明のウェーハ抑えを装着した蓋体との関係を示す
縦断面図で、図（ａ）は嵌合前、図（ｂ）は嵌合後の状
態である。図２は図１（ａ）の底面図である。上記各図
において、１はウェーハＷを収納する内箱、２はこの内
箱１を収納・係止する容器本体、３は蓋体、４は本発明
のウェーハ抑えである。ウェーハ抑え４は、直方形をし
た支持枠５と、その内の相対する二辺に基部が連設さ
れ、内方にＵ字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分岐
する、左右対称の片持ち構造の弾性部材６とからなり、
支持枠５の周縁が蓋体３の底面の適所に設けられたリブ
７と嵌合することで、蓋体３に着脱自在に装着されると
共に、弾性部材６の先端は蓋体３の底面と 0.5〜10mm、
好ましくは２〜５mmの間隙αをおいて配設されている。
また、８はそれぞれ蓋体３を容器本体２に被せたとき
に、それぞれの周縁で係止するための係止部、９は弾性
部材６のＣ位置両側に設けられた、ウェーハＷの周縁を
挿入・支持するためのリブである。
ハ抑えについて、例示した図１〜図３に基づいて詳細に
説明する。図１はウェーハを個別に担持する箱状の本体
と本発明のウェーハ抑えを装着した蓋体との関係を示す
縦断面図で、図（ａ）は嵌合前、図（ｂ）は嵌合後の状
態である。図２は図１（ａ）の底面図である。上記各図
において、１はウェーハＷを収納する内箱、２はこの内
箱１を収納・係止する容器本体、３は蓋体、４は本発明
のウェーハ抑えである。ウェーハ抑え４は、直方形をし
た支持枠５と、その内の相対する二辺に基部が連設さ
れ、内方にＵ字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分岐
する、左右対称の片持ち構造の弾性部材６とからなり、
支持枠５の周縁が蓋体３の底面の適所に設けられたリブ
７と嵌合することで、蓋体３に着脱自在に装着されると
共に、弾性部材６の先端は蓋体３の底面と 0.5〜10mm、
好ましくは２〜５mmの間隙αをおいて配設されている。
また、８はそれぞれ蓋体３を容器本体２に被せたとき
に、それぞれの周縁で係止するための係止部、９は弾性
部材６のＣ位置両側に設けられた、ウェーハＷの周縁を
挿入・支持するためのリブである。
【０００６】これにより、ウェーハＷを収納した内箱１
を容器本体２に入れ、蓋体３を被せたときには、ウェー
ハ抑え４の弾性部材６の先端は蓋体３の底面と間隙αを
おいて配設されているため、片持ち梁の状態となり、ウ
ェーハＷに小さな力で接触してウェーハＷを溝の中心に
ガイドする。さらに、蓋体３を押し込んで完全に容器本
体２に被せたときには容器内ではウェーハ抑え４の弾性
部材６の先端が蓋体３の底面に接触する両持ち梁の状態
となり、弾性部材６のＣ位置下面でウェーハＷの左右斜
め上縁を弾性的に保持する。しかも、この状態では押圧
力を弾性部材６の基部と先端部の２個所で支持すること
になるため、変形が分散され、ウェーハ抑え４の耐久力
が向上する。
を容器本体２に入れ、蓋体３を被せたときには、ウェー
ハ抑え４の弾性部材６の先端は蓋体３の底面と間隙αを
おいて配設されているため、片持ち梁の状態となり、ウ
ェーハＷに小さな力で接触してウェーハＷを溝の中心に
ガイドする。さらに、蓋体３を押し込んで完全に容器本
体２に被せたときには容器内ではウェーハ抑え４の弾性
部材６の先端が蓋体３の底面に接触する両持ち梁の状態
となり、弾性部材６のＣ位置下面でウェーハＷの左右斜
め上縁を弾性的に保持する。しかも、この状態では押圧
力を弾性部材６の基部と先端部の２個所で支持すること
になるため、変形が分散され、ウェーハ抑え４の耐久力
が向上する。
【０００７】上記弾性部材６の断面形状は、図示のよう
に、基部Ａより２〜５°内側に傾いた状態で垂下した
（Ｂ位置）後、Ｒを画いて50〜70°の勾配で内方へ上昇
し（Ｃ位置）、その後さらに、２〜５°の角度で上昇す
る（Ｄ位置）、下方内側の角がとれたＵ字状をしている
ことが好ましく、これによりウェーハＷと弾性部材６と
の接触面積が大きくなり、ウェーハ抑え４の耐久性が一
層向上する。このため弾性部材６の厚みを 1.5mm程度に
薄くできるという利点もある。図３はウェーハ抑えの別
の実施態様を示すもので、このウェーハ抑え14では、支
持枠15の両端に図示の形状の弾性部材16が設けられると
共に、底面中央部に図７（ａ）にｍとして示したのと同
様の左右１対の係止片17が設けられている。これによれ
ば収納するウェーハＷが図７に示した上部がフラットに
なったオリフラ式Ｗ2 の場合に、より有効に保持するこ
とができる。本発明によるウェーハ抑え４、14は、透明
または着色無地の、ＰＥ、ＰＰなどのポリオレフィン、
ＡＢＳ、ＰＳ、ＰＣ、ＰＢＴなどの熱可塑性樹脂および
ポリエステル系、ポリオレフィン系、ポリスチレン系な
どの熱可塑性エラストマーが用いられる。
に、基部Ａより２〜５°内側に傾いた状態で垂下した
（Ｂ位置）後、Ｒを画いて50〜70°の勾配で内方へ上昇
し（Ｃ位置）、その後さらに、２〜５°の角度で上昇す
る（Ｄ位置）、下方内側の角がとれたＵ字状をしている
ことが好ましく、これによりウェーハＷと弾性部材６と
の接触面積が大きくなり、ウェーハ抑え４の耐久性が一
層向上する。このため弾性部材６の厚みを 1.5mm程度に
薄くできるという利点もある。図３はウェーハ抑えの別
の実施態様を示すもので、このウェーハ抑え14では、支
持枠15の両端に図示の形状の弾性部材16が設けられると
共に、底面中央部に図７（ａ）にｍとして示したのと同
様の左右１対の係止片17が設けられている。これによれ
ば収納するウェーハＷが図７に示した上部がフラットに
なったオリフラ式Ｗ2 の場合に、より有効に保持するこ
とができる。本発明によるウェーハ抑え４、14は、透明
または着色無地の、ＰＥ、ＰＰなどのポリオレフィン、
ＡＢＳ、ＰＳ、ＰＣ、ＰＢＴなどの熱可塑性樹脂および
ポリエステル系、ポリオレフィン系、ポリスチレン系な
どの熱可塑性エラストマーが用いられる。
【０００８】
【作用】多数のウェーハＷを収納した内箱１を、容器本
体２内に収納・係止する。一方、蓋体３の底面に本発明
のウェーハ抑え４を装着した後、蓋体３を容器本体２に
被せ、それぞれの周縁の係止部８で嵌合・係止する。こ
のとき、容器内ではウェーハ抑え４の弾性部材６の先端
が蓋体３の底面に接触する状態となり、弾性部材６のＣ
位置下面でウェーハＷの左右斜め上縁を弾性的に保持す
る。また、この状態では押圧力を弾性部材６の基部と先
端部の２個所で支持することになるため、変形が分散さ
れ、ウェーハ抑え４の耐久力が向上する。
体２内に収納・係止する。一方、蓋体３の底面に本発明
のウェーハ抑え４を装着した後、蓋体３を容器本体２に
被せ、それぞれの周縁の係止部８で嵌合・係止する。こ
のとき、容器内ではウェーハ抑え４の弾性部材６の先端
が蓋体３の底面に接触する状態となり、弾性部材６のＣ
位置下面でウェーハＷの左右斜め上縁を弾性的に保持す
る。また、この状態では押圧力を弾性部材６の基部と先
端部の２個所で支持することになるため、変形が分散さ
れ、ウェーハ抑え４の耐久力が向上する。
【０００９】
【発明の効果】本発明のウェーハ収納容器のウェーハ抑
えによれば、 1)従来のものよりもクリープ変形が少なく、ウェーハ保
持力の低下が少なくなり、長期保管後の輸送においても
パーティクルの発生を抑制することができる。 2)弾性部材が左右対称に２列に設けられているので、中
央部からの収納されているウェーハの透視・確認が容易
である。 3)ノッチ式ウェーハ、オリフラ式ウェーハの別なく、同
じ保持力が安定的に付与される。
えによれば、 1)従来のものよりもクリープ変形が少なく、ウェーハ保
持力の低下が少なくなり、長期保管後の輸送においても
パーティクルの発生を抑制することができる。 2)弾性部材が左右対称に２列に設けられているので、中
央部からの収納されているウェーハの透視・確認が容易
である。 3)ノッチ式ウェーハ、オリフラ式ウェーハの別なく、同
じ保持力が安定的に付与される。
【図１】ウェーハを収納する本体と本発明のウェーハ抑
えを装着した蓋体との関係を示すもので、図（ａ）は嵌
合前の状態での縦断面図、図（ｂ）は嵌合後の状態での
部分縦断面図である。
えを装着した蓋体との関係を示すもので、図（ａ）は嵌
合前の状態での縦断面図、図（ｂ）は嵌合後の状態での
部分縦断面図である。
【図２】図１（ａ）に示した本発明のウェーハ抑えを蓋
体の内面に装着した状態で示す底面図である。
体の内面に装着した状態で示す底面図である。
【図３】本発明のウェーハ抑えの別の実施態様を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図４】従来のウェーハ収納容器の一例を示す分解斜視
図である。
図である。
【図５】従来のウェーハ収納容器の他の例を示す縦断面
図である。
図である。
【図６】従来のウェーハ抑えの別の例を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図７】ウェーハを収納する本体と従来の更に別のウェ
ーハ抑えを装着した蓋体との関係を示すもので、図
（ａ）は嵌合前の状態での縦断面図、図（ｂ）は嵌合後
の状態での部分縦断面図ある。
ーハ抑えを装着した蓋体との関係を示すもので、図
（ａ）は嵌合前の状態での縦断面図、図（ｂ）は嵌合後
の状態での部分縦断面図ある。
１‥内箱、 ２‥容器本
体、３‥蓋体、 ４、14‥ウェ
ーハ抑え、５、15‥支持枠、
６、16‥弾性部材、７‥リブ、
８‥係止部、９‥リブ、
17‥係止片、α‥間隙。ａ‥内箱、
ｂ‥容器本体、ｃ‥シール部材、
ｄ、ｇ、ｋ‥蓋体、ｅ、ｎ‥弾性片、
ｆ、ｈ、ｊ‥ウェーハ抑え、ｉ‥弓状弾性
片、 ｍ‥係止片、Ｗ‥ウェーハ
Ｗ1 ‥ノッチ式ウェーハ、Ｗ
2 ‥オリフラ式ウェーハ。
体、３‥蓋体、 ４、14‥ウェ
ーハ抑え、５、15‥支持枠、
６、16‥弾性部材、７‥リブ、
８‥係止部、９‥リブ、
17‥係止片、α‥間隙。ａ‥内箱、
ｂ‥容器本体、ｃ‥シール部材、
ｄ、ｇ、ｋ‥蓋体、ｅ、ｎ‥弾性片、
ｆ、ｈ、ｊ‥ウェーハ抑え、ｉ‥弓状弾性
片、 ｍ‥係止片、Ｗ‥ウェーハ
Ｗ1 ‥ノッチ式ウェーハ、Ｗ
2 ‥オリフラ式ウェーハ。
Claims (1)
- 【請求項１】蓋体の底面に装着されて、内箱に収納され
た各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え
が、直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基
部が連設され内方にＵ字状に屈曲すると共に幅方向が櫛
状に分岐する、左右対称の片持ち構造の弾性部材とから
なり、弾性部材の先端は蓋体の底面と 0.5〜10mmの間隙
をおいて配設されていることを特徴とするウェーハ収納
容器のウェーハ抑え。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16685094A JP2908985B2 (ja) | 1994-07-19 | 1994-07-19 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16685094A JP2908985B2 (ja) | 1994-07-19 | 1994-07-19 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0831920A true JPH0831920A (ja) | 1996-02-02 |
| JP2908985B2 JP2908985B2 (ja) | 1999-06-23 |
Family
ID=15838813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16685094A Expired - Fee Related JP2908985B2 (ja) | 1994-07-19 | 1994-07-19 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2908985B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2725960A1 (fr) * | 1994-10-06 | 1996-04-26 | Shinetsu Polymer Co | Support de plaquettes, notamment de silicium semi-conducteur |
| WO2002097879A1 (fr) * | 2001-05-30 | 2002-12-05 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Recipient de stockage de substrat de precision et son element de retenue |
| EP1605496A3 (en) * | 2004-06-11 | 2011-01-19 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Substrate storage container |
| CN116101634A (zh) * | 2023-03-07 | 2023-05-12 | 中国工程物理研究院总体工程研究所 | 一种热源的抗事故包装箱 |
-
1994
- 1994-07-19 JP JP16685094A patent/JP2908985B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2725960A1 (fr) * | 1994-10-06 | 1996-04-26 | Shinetsu Polymer Co | Support de plaquettes, notamment de silicium semi-conducteur |
| WO2002097879A1 (fr) * | 2001-05-30 | 2002-12-05 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Recipient de stockage de substrat de precision et son element de retenue |
| US7017749B2 (en) | 2001-05-30 | 2006-03-28 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Precision substrate storage container and retaining member therefor |
| KR100890884B1 (ko) * | 2001-05-30 | 2009-03-31 | 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 | 정밀기판 수납용기 및 그 누름부재 |
| EP1605496A3 (en) * | 2004-06-11 | 2011-01-19 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Substrate storage container |
| CN116101634A (zh) * | 2023-03-07 | 2023-05-12 | 中国工程物理研究院总体工程研究所 | 一种热源的抗事故包装箱 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2908985B2 (ja) | 1999-06-23 |
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