JPH08107141A - ウェーハ収納容器のウェーハ抑え - Google Patents
ウェーハ収納容器のウェーハ抑えInfo
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- JPH08107141A JPH08107141A JP24258194A JP24258194A JPH08107141A JP H08107141 A JPH08107141 A JP H08107141A JP 24258194 A JP24258194 A JP 24258194A JP 24258194 A JP24258194 A JP 24258194A JP H08107141 A JPH08107141 A JP H08107141A
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
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- B65D25/02—Internal fittings
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】クリープ変形を起こしたり、作業性を損ねるこ
とがなく、しかもウェーハの形状が変わっても保持力に
影響を与えることのないウェーハ収納容器のウェーハ抑
えを提供する。 【構成】蓋体３の底面に装着されて、内箱１に収納され
た各ウェーハＷの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え
４が、直方形をした支持枠５と、その内の相対する二辺
に基部Ａが連設され内方へＵ字状に屈曲すると共に幅方
向が櫛状に分岐する、左右対称の整列した板バネ状の弾
性部材６とからなり、弾性部材６の先端Ｅは蓋体３の底
面に接して配設されているものである。
とがなく、しかもウェーハの形状が変わっても保持力に
影響を与えることのないウェーハ収納容器のウェーハ抑
えを提供する。 【構成】蓋体３の底面に装着されて、内箱１に収納され
た各ウェーハＷの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え
４が、直方形をした支持枠５と、その内の相対する二辺
に基部Ａが連設され内方へＵ字状に屈曲すると共に幅方
向が櫛状に分岐する、左右対称の整列した板バネ状の弾
性部材６とからなり、弾性部材６の先端Ｅは蓋体３の底
面に接して配設されているものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェーハを損傷、
汚染から防いで安全に輸送し、保管し、取り扱うための
ウェーハ収納容器に用いられるウェーハ抑えに関するも
のである。
汚染から防いで安全に輸送し、保管し、取り扱うための
ウェーハ収納容器に用いられるウェーハ抑えに関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェーハ収納容器は、例えば図５
に示すような構造をしていて、ウェーハＷを内箱ａに収
納した後、内箱ａを容器本体ｂに入れ、その嵌合周縁部
にシール部材ｃを装着する。他方、蓋体ｄの内面に、両
側に多数の短冊状の弾性片ｅが片持ち梁状に対設されて
いるウェーハ抑えｆを装着した後、蓋体ｄを容器本体ｂ
に被せて嵌合すると共に、ウェーハ抑えｆで各ウェーハ
Ｗの上縁部を弾性的に支持するという方法で使用してい
た。この構造のウェーハ抑えｆに代えて、図６に示すよ
うに蓋体ｇの内面両側に垂直の弾性板材を二重にして対
設させた構造のウェーハ抑えｈとし、両弾性板材を外側
に曲げることで各ウェーハＷの斜め上縁を弾性的に支持
する方法、図７に示すように弓状弾性片ｉをウェーハ抑
えｊの内面両側で固設し、弓状弾性片ｉの中央部で各ウ
ェーハＷの上縁部を弾性的に支持する方法、図８に示す
ように蓋体ｋの内面中央部に相対して設けられた１対の
係止片ｍと、その両側より設けられた片持ち梁状の弾性
片ｎとからなるウェーハ抑えを用いて、係止片ｍでウェ
ーハＷの上縁部を支持すると共に、弾性片ｎの先端部が
上方へ曲がることでウェーハＷの斜め上縁部を弾性的に
支持する方法などが知られている。
に示すような構造をしていて、ウェーハＷを内箱ａに収
納した後、内箱ａを容器本体ｂに入れ、その嵌合周縁部
にシール部材ｃを装着する。他方、蓋体ｄの内面に、両
側に多数の短冊状の弾性片ｅが片持ち梁状に対設されて
いるウェーハ抑えｆを装着した後、蓋体ｄを容器本体ｂ
に被せて嵌合すると共に、ウェーハ抑えｆで各ウェーハ
Ｗの上縁部を弾性的に支持するという方法で使用してい
た。この構造のウェーハ抑えｆに代えて、図６に示すよ
うに蓋体ｇの内面両側に垂直の弾性板材を二重にして対
設させた構造のウェーハ抑えｈとし、両弾性板材を外側
に曲げることで各ウェーハＷの斜め上縁を弾性的に支持
する方法、図７に示すように弓状弾性片ｉをウェーハ抑
えｊの内面両側で固設し、弓状弾性片ｉの中央部で各ウ
ェーハＷの上縁部を弾性的に支持する方法、図８に示す
ように蓋体ｋの内面中央部に相対して設けられた１対の
係止片ｍと、その両側より設けられた片持ち梁状の弾性
片ｎとからなるウェーハ抑えを用いて、係止片ｍでウェ
ーハＷの上縁部を支持すると共に、弾性片ｎの先端部が
上方へ曲がることでウェーハＷの斜め上縁部を弾性的に
支持する方法などが知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図５、図６お
よび図８に示すウェーハ抑えｆ、ｈ、ｍ、ｎはいずれも
一端だけが固定された垂直または片持ち梁状の弾性片か
らなっているため、弾性片の撓み部分がクリープ変形を
起こし易く、とくにウェーハを長期間保管すると、クリ
ープ変形によって弾性片の反発力が低下し、ウェーハ保
持力が弱まって輸送中にウェーハが回転したりガタつい
たりして擦れが発生し、ウェーハまたはウェーハ抑えの
摩耗による発塵でウェーハが汚染される可能性が大きか
った。その点、図７に示す弓状弾性片ｉは両側で保持さ
れているためクリープ変形のおそれはないが、構造的に
ウェーハの上面全体を覆う状態になるため、このウェー
ハ抑えが邪魔になって、容器に収納したウェーハの枚数
を蓋体の外側から確認することができず、作業性を著し
く損ねるという不都合があった。さらに、ウェーハＷの
形状には、基準位置を示す方式として、図６に示すよう
な頂部の一部にだけ切り欠きのあるノッチ式Ｗ1 と、図
８に示すような上部がフラットになったオリフラ式Ｗ2
とがあるため、ウェーハ抑えの形状によっては両方式の
保持力に差が生じ、一方では満足しても他方ではウェー
ハの回転やガタつきによる発塵汚染が生ずるという問題
があった。したがって、本発明の目的は、クリープ変形
を起こしたり、作業性を損ねることがなく、しかもウェ
ーハの形状が変わっても保持力に影響を与えることのな
いウェーハ収納容器のウェーハ抑えを提供するものであ
る。
よび図８に示すウェーハ抑えｆ、ｈ、ｍ、ｎはいずれも
一端だけが固定された垂直または片持ち梁状の弾性片か
らなっているため、弾性片の撓み部分がクリープ変形を
起こし易く、とくにウェーハを長期間保管すると、クリ
ープ変形によって弾性片の反発力が低下し、ウェーハ保
持力が弱まって輸送中にウェーハが回転したりガタつい
たりして擦れが発生し、ウェーハまたはウェーハ抑えの
摩耗による発塵でウェーハが汚染される可能性が大きか
った。その点、図７に示す弓状弾性片ｉは両側で保持さ
れているためクリープ変形のおそれはないが、構造的に
ウェーハの上面全体を覆う状態になるため、このウェー
ハ抑えが邪魔になって、容器に収納したウェーハの枚数
を蓋体の外側から確認することができず、作業性を著し
く損ねるという不都合があった。さらに、ウェーハＷの
形状には、基準位置を示す方式として、図６に示すよう
な頂部の一部にだけ切り欠きのあるノッチ式Ｗ1 と、図
８に示すような上部がフラットになったオリフラ式Ｗ2
とがあるため、ウェーハ抑えの形状によっては両方式の
保持力に差が生じ、一方では満足しても他方ではウェー
ハの回転やガタつきによる発塵汚染が生ずるという問題
があった。したがって、本発明の目的は、クリープ変形
を起こしたり、作業性を損ねることがなく、しかもウェ
ーハの形状が変わっても保持力に影響を与えることのな
いウェーハ収納容器のウェーハ抑えを提供するものであ
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明による上記ウェー
ハ抑えは、蓋体の底面に装着されて、内箱に収納された
各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えが、
直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基部が
連設され内方にＵ字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に
分岐する、左右対称の整列した板バネ状の弾性部材とか
らなり、弾性部材の先端は蓋体の底面に接して配設され
ていることを特徴とするものである。
ハ抑えは、蓋体の底面に装着されて、内箱に収納された
各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えが、
直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基部が
連設され内方にＵ字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に
分岐する、左右対称の整列した板バネ状の弾性部材とか
らなり、弾性部材の先端は蓋体の底面に接して配設され
ていることを特徴とするものである。
【０００５】以下、本発明のウェーハ収納容器のウェー
ハ抑えについて、例示した図１〜図３に基づいて詳細に
説明する。図１はウェーハを個別に担持する箱状の本体
と本発明のウェーハ抑えを装着した蓋体との関係を示す
縦断面図で、図（ａ）は嵌合前、図（ｂ）は嵌合後の状
態である。図２は図１（ａ）の底面図である。図３はウ
ェーハ抑えの別の実施態様を示す縦断面図である。上記
各図において、１はウェーハＷを収納する内箱、２はこ
の内箱１を収納・係止する容器本体、３は蓋体、４は本
発明のウェーハ抑えである。ウェーハ抑え４は、直方形
をした支持枠５と、その内の相対する二辺に基部が連設
され、内方にＵ字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分
岐する、左右対称の整列した板バネ構造の弾性部材６と
からなり、支持枠５の周縁が蓋体３の底面の適所に設け
られた係止部７と嵌合することで、蓋体３に着脱自在に
装着されると共に、弾性部材６の（各櫛刃部分の）先端
部Ｅは蓋体３の底面に隙間が生じないように接して配設
されている。また、８は蓋体３を容器本体２に被せたと
きに、容器本体２の開口周縁で係止するための係止部、
９は弾性部材６の（各櫛刃部分の）Ｃ位置の両側に設け
られた突縁で、この間にそれぞれのウェーハＷの周縁を
挿入・支持する。なお、この挿入・支持機構は各櫛刃部
分に沿う縦溝とすることもできる。
ハ抑えについて、例示した図１〜図３に基づいて詳細に
説明する。図１はウェーハを個別に担持する箱状の本体
と本発明のウェーハ抑えを装着した蓋体との関係を示す
縦断面図で、図（ａ）は嵌合前、図（ｂ）は嵌合後の状
態である。図２は図１（ａ）の底面図である。図３はウ
ェーハ抑えの別の実施態様を示す縦断面図である。上記
各図において、１はウェーハＷを収納する内箱、２はこ
の内箱１を収納・係止する容器本体、３は蓋体、４は本
発明のウェーハ抑えである。ウェーハ抑え４は、直方形
をした支持枠５と、その内の相対する二辺に基部が連設
され、内方にＵ字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分
岐する、左右対称の整列した板バネ構造の弾性部材６と
からなり、支持枠５の周縁が蓋体３の底面の適所に設け
られた係止部７と嵌合することで、蓋体３に着脱自在に
装着されると共に、弾性部材６の（各櫛刃部分の）先端
部Ｅは蓋体３の底面に隙間が生じないように接して配設
されている。また、８は蓋体３を容器本体２に被せたと
きに、容器本体２の開口周縁で係止するための係止部、
９は弾性部材６の（各櫛刃部分の）Ｃ位置の両側に設け
られた突縁で、この間にそれぞれのウェーハＷの周縁を
挿入・支持する。なお、この挿入・支持機構は各櫛刃部
分に沿う縦溝とすることもできる。
【０００６】これにより、ウェーハＷを収納した内箱１
を容器本体２に入れ、蓋体３を被せたときには、ウェー
ハ抑え４の弾性部材６の先端部Ｅは蓋体３の底面と隙間
が生じないように接して配設されているため、弾性部材
６は基部Ａと先端部Ｅの２か所で両持ち梁の状態とな
り、ウェーハＷに小さな力で接触して、ウェーハＷを内
箱１の内側壁に設けられた縦溝の中心に誘導する。さら
に、蓋体３を押し込んで完全に容器本体２に被せたとき
は、左右一対の弾性部材６、６はそれぞれのＣ位置下面
でウェーハＷを左右斜め上縁より弾性的に保持すると共
に、基部Ａと先端部Ｅの２個所で蓋体３に支持されるこ
とになる［図１（ｂ）参照］ため、弾性部材６の変形が
分散され、ウェーハ抑え４の耐久力が向上する。
を容器本体２に入れ、蓋体３を被せたときには、ウェー
ハ抑え４の弾性部材６の先端部Ｅは蓋体３の底面と隙間
が生じないように接して配設されているため、弾性部材
６は基部Ａと先端部Ｅの２か所で両持ち梁の状態とな
り、ウェーハＷに小さな力で接触して、ウェーハＷを内
箱１の内側壁に設けられた縦溝の中心に誘導する。さら
に、蓋体３を押し込んで完全に容器本体２に被せたとき
は、左右一対の弾性部材６、６はそれぞれのＣ位置下面
でウェーハＷを左右斜め上縁より弾性的に保持すると共
に、基部Ａと先端部Ｅの２個所で蓋体３に支持されるこ
とになる［図１（ｂ）参照］ため、弾性部材６の変形が
分散され、ウェーハ抑え４の耐久力が向上する。
【０００７】上記弾性部材の断面形状は、図３に示すよ
うに、基部Ａより２〜５°内側に傾いた状態で垂下した
（Ｂ位置）後、Ｒを画いて50〜70°の勾配で内方へ上昇
し（Ｃ位置）、その後さらに、２〜５°の角度で上昇し
（Ｄ位置）先端部Ｅに至る、下方内側の角がとれたＵ字
状をしていること（16）、とくには図３に記載の数値か
らなる形状をしていることが好ましく、これによればウ
ェーハＷと弾性部材16との接触面積が大きくなり、ウェ
ーハ抑え14の耐久性が一層向上する。このため弾性部材
16の厚みを 0.5〜 3.0mmの範囲に薄くできる利点もあ
る。図示のように、ウェーハ抑え14では、支持枠15の両
端に上記の形状の弾性部材16を設けると共に、底面中央
部に図８（ａ）にｍとして示したのと同様の左右１対の
係止片17を設けてもよい。これによれば収納するウェー
ハＷが図８に示した上部がフラットになったオリフラ式
Ｗ2 の場合に、より有効に保持することができる。
うに、基部Ａより２〜５°内側に傾いた状態で垂下した
（Ｂ位置）後、Ｒを画いて50〜70°の勾配で内方へ上昇
し（Ｃ位置）、その後さらに、２〜５°の角度で上昇し
（Ｄ位置）先端部Ｅに至る、下方内側の角がとれたＵ字
状をしていること（16）、とくには図３に記載の数値か
らなる形状をしていることが好ましく、これによればウ
ェーハＷと弾性部材16との接触面積が大きくなり、ウェ
ーハ抑え14の耐久性が一層向上する。このため弾性部材
16の厚みを 0.5〜 3.0mmの範囲に薄くできる利点もあ
る。図示のように、ウェーハ抑え14では、支持枠15の両
端に上記の形状の弾性部材16を設けると共に、底面中央
部に図８（ａ）にｍとして示したのと同様の左右１対の
係止片17を設けてもよい。これによれば収納するウェー
ハＷが図８に示した上部がフラットになったオリフラ式
Ｗ2 の場合に、より有効に保持することができる。
【０００８】図４は本発明のウェーハ抑えの更に別の実
施態様を、蓋体の内面に装着した状態で示す底面図であ
る。このウェーハ抑え24は、図２に示したウェーハ抑え
４に比べて、直方形をした支持枠25と、左右対称の整列
した板バネ状の弾性部材26とからなる点について共通す
るものの、板バネ状の弾性部材26が支持枠25の相対する
二辺に基部Ａと先端部Ｅとで連設され、その中程は内方
にＵ字状に屈曲すると共に、垂下部Ｂの途中から上昇部
Ｄの途中までの間で幅方向が櫛状に分岐したものからな
る点が相違している。この実施態様は蓋体３の底面が凹
凸形状をしていたり、弾性部材26の先端部Ｅが蓋体３の
底面に接して配設することが困難な場合に有効な構造
で、弾性部材26の先端部Ｅを支持枠25に連結すること
で、蓋体３の底面に弾性部材26の先端部Ｅを嵌合させた
のと同じ効果が得られる。本発明によるウェーハ抑え
４、14、24には、透明または着色無地の、ＰＥ、ＰＰな
どのポリオレフィン、ＡＢＳ、ＰＳ、ＰＣ、ＰＢＴなど
の熱可塑性樹脂およびポリエステル系、ポリオレフィン
系、ポリスチレン系などの熱可塑性エラストマーが用い
られる。
施態様を、蓋体の内面に装着した状態で示す底面図であ
る。このウェーハ抑え24は、図２に示したウェーハ抑え
４に比べて、直方形をした支持枠25と、左右対称の整列
した板バネ状の弾性部材26とからなる点について共通す
るものの、板バネ状の弾性部材26が支持枠25の相対する
二辺に基部Ａと先端部Ｅとで連設され、その中程は内方
にＵ字状に屈曲すると共に、垂下部Ｂの途中から上昇部
Ｄの途中までの間で幅方向が櫛状に分岐したものからな
る点が相違している。この実施態様は蓋体３の底面が凹
凸形状をしていたり、弾性部材26の先端部Ｅが蓋体３の
底面に接して配設することが困難な場合に有効な構造
で、弾性部材26の先端部Ｅを支持枠25に連結すること
で、蓋体３の底面に弾性部材26の先端部Ｅを嵌合させた
のと同じ効果が得られる。本発明によるウェーハ抑え
４、14、24には、透明または着色無地の、ＰＥ、ＰＰな
どのポリオレフィン、ＡＢＳ、ＰＳ、ＰＣ、ＰＢＴなど
の熱可塑性樹脂およびポリエステル系、ポリオレフィン
系、ポリスチレン系などの熱可塑性エラストマーが用い
られる。
【０００９】
【作用】多数のウェーハＷを収納した内箱１を、容器本
体２内に収納・係止する。一方、蓋体３の底面に本発明
のウェーハ抑え４を装着した後、蓋体３を容器本体２に
被せ、その開口周縁で嵌合・係止する。このとき、容器
内ではウェーハ抑え４が弾性部材６の先端部Ｅと基部Ａ
の２か所で両持ち梁の状態となって変形が分散され、ウ
ェーハ抑え４の耐久力が向上すると共に、弾性部材６の
Ｃ位置下面でウェーハＷの左右斜め上縁を弾性的に保持
し、ウェーハＷのがたつきによる発塵を防止する。
体２内に収納・係止する。一方、蓋体３の底面に本発明
のウェーハ抑え４を装着した後、蓋体３を容器本体２に
被せ、その開口周縁で嵌合・係止する。このとき、容器
内ではウェーハ抑え４が弾性部材６の先端部Ｅと基部Ａ
の２か所で両持ち梁の状態となって変形が分散され、ウ
ェーハ抑え４の耐久力が向上すると共に、弾性部材６の
Ｃ位置下面でウェーハＷの左右斜め上縁を弾性的に保持
し、ウェーハＷのがたつきによる発塵を防止する。
【００１０】
【発明の効果】本発明のウェーハ収納容器のウェーハ抑
えによれば、 1)従来のものよりもクリープ変形が少なく、ウェーハ保
持力の低下が少なくなり、長期保管後の輸送においても
パーティクルの発生を抑制することができる。 2)弾性部材が左右対称に２列に設けられているので、中
央部からの収納されているウェーハの透視・確認が容易
である。 3)ノッチ式ウェーハ、オリフラ式ウェーハの別なく、同
じ保持力が安定的に付与される。
えによれば、 1)従来のものよりもクリープ変形が少なく、ウェーハ保
持力の低下が少なくなり、長期保管後の輸送においても
パーティクルの発生を抑制することができる。 2)弾性部材が左右対称に２列に設けられているので、中
央部からの収納されているウェーハの透視・確認が容易
である。 3)ノッチ式ウェーハ、オリフラ式ウェーハの別なく、同
じ保持力が安定的に付与される。
【図１】ウェーハを収納する本体と本発明のウェーハ抑
えを装着した蓋体との関係を示すもので、図（ａ）は嵌
合前の状態での縦断面図、図（ｂ）は嵌合後の状態での
部分縦断面図である。
えを装着した蓋体との関係を示すもので、図（ａ）は嵌
合前の状態での縦断面図、図（ｂ）は嵌合後の状態での
部分縦断面図である。
【図２】図１（ａ）に示した本発明のウェーハ抑えを蓋
体の内面に装着した状態で示す底面図である。
体の内面に装着した状態で示す底面図である。
【図３】本発明のウェーハ抑えの別の実施態様を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図４】本発明のウェーハ抑えの更に別の実施態様を、
蓋体の内面に装着した状態で示す底面図である。
蓋体の内面に装着した状態で示す底面図である。
【図５】従来のウェーハ収納容器の一例を示す分解斜視
図である。
図である。
【図６】従来のウェーハ収納容器の他の例を示す縦断面
図である。
図である。
【図７】従来のウェーハ抑えの別の例を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図８】ウェーハを収納する本体と従来の更に別のウェ
ーハ抑えを装着した蓋体との関係を示すもので、図
（ａ）は嵌合前の状態での縦断面図、図（ｂ）は嵌合後
の状態での部分縦断面図ある。
ーハ抑えを装着した蓋体との関係を示すもので、図
（ａ）は嵌合前の状態での縦断面図、図（ｂ）は嵌合後
の状態での部分縦断面図ある。
１、ａ‥内箱、 ２、ｂ‥容器本体、
３、ｄ、ｇ、ｋ‥蓋体、 ４、14、24、ｆ、ｈ、ｊ‥ウ
ェーハ抑え、５、15、25‥支持枠、 ６、1
6、26‥弾性部材、７、８‥係止部、
９‥突縁、17、ｍ‥係止片、
ｃ‥シール部材、ｅ、ｎ‥弾性片、
ｉ‥弓状弾性片、Ａ‥基部、
Ｂ‥垂下部、Ｃ‥斜め上昇部、 Ｄ‥上
昇部、Ｅ‥先端部、 Ｗ‥ウェー
ハ、Ｗ1 ‥ノッチ式ウェーハ、 Ｗ2 ‥オリフ
ラ式ウェーハ。
３、ｄ、ｇ、ｋ‥蓋体、 ４、14、24、ｆ、ｈ、ｊ‥ウ
ェーハ抑え、５、15、25‥支持枠、 ６、1
6、26‥弾性部材、７、８‥係止部、
９‥突縁、17、ｍ‥係止片、
ｃ‥シール部材、ｅ、ｎ‥弾性片、
ｉ‥弓状弾性片、Ａ‥基部、
Ｂ‥垂下部、Ｃ‥斜め上昇部、 Ｄ‥上
昇部、Ｅ‥先端部、 Ｗ‥ウェー
ハ、Ｗ1 ‥ノッチ式ウェーハ、 Ｗ2 ‥オリフ
ラ式ウェーハ。
Claims (2)
- 【請求項１】蓋体の底面に装着されて、内箱に収納され
た各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え
が、直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基
部が連設され内方にＵ字状に屈曲すると共に幅方向が櫛
状に分岐する、左右対称の整列した板バネ状の弾性部材
とからなり、弾性部材の先端は蓋体の底面に接して配設
されていることを特徴とするウェーハ収納容器のウェー
ハ抑え。 - 【請求項２】蓋体の底面に装着されて、内箱に収納され
た各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え
が、直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基
部と先端部とが連設された、左右対称の整列した板バネ
状の弾性部材とからなり、弾性部材の中程は内方にＵ字
状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分岐したものからな
ることを特徴とするウェーハ収納容器のウェーハ抑え。
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006066911A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Epak Internatl Inc | 半導体ウエハなどのディスク梱包用クッション |
| JP2007095781A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | ウエハキャリアとこれを用いた半導体装置の製造方法 |
| JP2011054984A (ja) * | 2003-12-02 | 2011-03-17 | Miraial Kk | 薄板支持容器用蓋体 |
| CN102582670A (zh) * | 2011-10-17 | 2012-07-18 | 上海华力微电子有限公司 | 一种掩模板安全搬运推车 |
| JP2016149492A (ja) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5788082A (en) * | 1996-07-12 | 1998-08-04 | Fluoroware, Inc. | Wafer carrier |
| US5711427A (en) * | 1996-07-12 | 1998-01-27 | Fluoroware, Inc. | Wafer carrier with door |
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| KR20010053787A (ko) * | 1999-12-01 | 2001-07-02 | 마이클 디. 오브라이언 | 웨이퍼 핸들링장치 |
| DE10151320B4 (de) * | 2001-10-17 | 2006-02-09 | Infineon Technologies Ag | Scheibenträger |
| KR100832702B1 (ko) * | 2003-12-24 | 2008-05-28 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 웨이퍼 세정장치 |
| WO2008056549A1 (fr) * | 2006-11-07 | 2008-05-15 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Récipient pour substrat |
| SG151129A1 (en) * | 2007-09-26 | 2009-04-30 | E Sun Prec Ind Co Ltd | Container for reticle |
| DE102010005202B4 (de) * | 2010-01-21 | 2020-04-09 | Q-Cells Se | Magazin für einen photovoltaischen Wafer- und/oder Zellstapel mit einem Magazineinsatz zur Aufnahme desselben |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0655259U (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-26 | 住友シチックス株式会社 | 輸送用ウェーハケース |
| JPH0679152U (ja) * | 1993-04-22 | 1994-11-04 | 株式会社大八化成 | 半導体ウエーハ運搬用容器の構造 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4043451A (en) * | 1976-03-18 | 1977-08-23 | Fluoroware, Inc. | Shipping container for silicone semiconductor wafers |
| US4557382A (en) * | 1983-08-17 | 1985-12-10 | Empak Inc. | Disk package |
| IT1181778B (it) * | 1985-05-07 | 1987-09-30 | Dynamit Nobel Silicon Spa | Contenitore per l'immagazzinamento ed il trasporto di dischetti (fette) di silicio |
| US5207324A (en) * | 1991-03-08 | 1993-05-04 | Fluoroware, Inc. | Wafer cushion for shippers |
| JP2908985B2 (ja) * | 1994-07-19 | 1999-06-23 | 信越ポリマー株式会社 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
-
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- 1995-10-06 DE DE19537193A patent/DE19537193A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0655259U (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-26 | 住友シチックス株式会社 | 輸送用ウェーハケース |
| JPH0679152U (ja) * | 1993-04-22 | 1994-11-04 | 株式会社大八化成 | 半導体ウエーハ運搬用容器の構造 |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011054984A (ja) * | 2003-12-02 | 2011-03-17 | Miraial Kk | 薄板支持容器用蓋体 |
| JP2006066911A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Epak Internatl Inc | 半導体ウエハなどのディスク梱包用クッション |
| JP2007095781A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | ウエハキャリアとこれを用いた半導体装置の製造方法 |
| JP4606294B2 (ja) * | 2005-09-27 | 2011-01-05 | Ｏｋｉセミコンダクタ株式会社 | ウエハキャリアとこれを用いた半導体装置の製造方法 |
| CN102582670A (zh) * | 2011-10-17 | 2012-07-18 | 上海华力微电子有限公司 | 一种掩模板安全搬运推车 |
| JP2016149492A (ja) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
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