JPH08107141A - ウェーハ収納容器のウェーハ抑え - Google Patents
ウェーハ収納容器のウェーハ抑えInfo
- Publication number
- JPH08107141A JPH08107141A JP24258194A JP24258194A JPH08107141A JP H08107141 A JPH08107141 A JP H08107141A JP 24258194 A JP24258194 A JP 24258194A JP 24258194 A JP24258194 A JP 24258194A JP H08107141 A JPH08107141 A JP H08107141A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- lid
- elastic member
- shape
- support frame
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D25/00—Details of other kinds or types of rigid or semi-rigid containers
- B65D25/02—Internal fittings
- B65D25/10—Devices to locate articles in containers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【目的】クリープ変形を起こしたり、作業性を損ねるこ
とがなく、しかもウェーハの形状が変わっても保持力に
影響を与えることのないウェーハ収納容器のウェーハ抑
えを提供する。 【構成】蓋体3の底面に装着されて、内箱1に収納され
た各ウェーハWの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え
4が、直方形をした支持枠5と、その内の相対する二辺
に基部Aが連設され内方へU字状に屈曲すると共に幅方
向が櫛状に分岐する、左右対称の整列した板バネ状の弾
性部材6とからなり、弾性部材6の先端Eは蓋体3の底
面に接して配設されているものである。
とがなく、しかもウェーハの形状が変わっても保持力に
影響を与えることのないウェーハ収納容器のウェーハ抑
えを提供する。 【構成】蓋体3の底面に装着されて、内箱1に収納され
た各ウェーハWの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え
4が、直方形をした支持枠5と、その内の相対する二辺
に基部Aが連設され内方へU字状に屈曲すると共に幅方
向が櫛状に分岐する、左右対称の整列した板バネ状の弾
性部材6とからなり、弾性部材6の先端Eは蓋体3の底
面に接して配設されているものである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は半導体ウェーハを損傷、
汚染から防いで安全に輸送し、保管し、取り扱うための
ウェーハ収納容器に用いられるウェーハ抑えに関するも
のである。
汚染から防いで安全に輸送し、保管し、取り扱うための
ウェーハ収納容器に用いられるウェーハ抑えに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来のウェーハ収納容器は、例えば図5
に示すような構造をしていて、ウェーハWを内箱aに収
納した後、内箱aを容器本体bに入れ、その嵌合周縁部
にシール部材cを装着する。他方、蓋体dの内面に、両
側に多数の短冊状の弾性片eが片持ち梁状に対設されて
いるウェーハ抑えfを装着した後、蓋体dを容器本体b
に被せて嵌合すると共に、ウェーハ抑えfで各ウェーハ
Wの上縁部を弾性的に支持するという方法で使用してい
た。この構造のウェーハ抑えfに代えて、図6に示すよ
うに蓋体gの内面両側に垂直の弾性板材を二重にして対
設させた構造のウェーハ抑えhとし、両弾性板材を外側
に曲げることで各ウェーハWの斜め上縁を弾性的に支持
する方法、図7に示すように弓状弾性片iをウェーハ抑
えjの内面両側で固設し、弓状弾性片iの中央部で各ウ
ェーハWの上縁部を弾性的に支持する方法、図8に示す
ように蓋体kの内面中央部に相対して設けられた1対の
係止片mと、その両側より設けられた片持ち梁状の弾性
片nとからなるウェーハ抑えを用いて、係止片mでウェ
ーハWの上縁部を支持すると共に、弾性片nの先端部が
上方へ曲がることでウェーハWの斜め上縁部を弾性的に
支持する方法などが知られている。
に示すような構造をしていて、ウェーハWを内箱aに収
納した後、内箱aを容器本体bに入れ、その嵌合周縁部
にシール部材cを装着する。他方、蓋体dの内面に、両
側に多数の短冊状の弾性片eが片持ち梁状に対設されて
いるウェーハ抑えfを装着した後、蓋体dを容器本体b
に被せて嵌合すると共に、ウェーハ抑えfで各ウェーハ
Wの上縁部を弾性的に支持するという方法で使用してい
た。この構造のウェーハ抑えfに代えて、図6に示すよ
うに蓋体gの内面両側に垂直の弾性板材を二重にして対
設させた構造のウェーハ抑えhとし、両弾性板材を外側
に曲げることで各ウェーハWの斜め上縁を弾性的に支持
する方法、図7に示すように弓状弾性片iをウェーハ抑
えjの内面両側で固設し、弓状弾性片iの中央部で各ウ
ェーハWの上縁部を弾性的に支持する方法、図8に示す
ように蓋体kの内面中央部に相対して設けられた1対の
係止片mと、その両側より設けられた片持ち梁状の弾性
片nとからなるウェーハ抑えを用いて、係止片mでウェ
ーハWの上縁部を支持すると共に、弾性片nの先端部が
上方へ曲がることでウェーハWの斜め上縁部を弾性的に
支持する方法などが知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、図5、図6お
よび図8に示すウェーハ抑えf、h、m、nはいずれも
一端だけが固定された垂直または片持ち梁状の弾性片か
らなっているため、弾性片の撓み部分がクリープ変形を
起こし易く、とくにウェーハを長期間保管すると、クリ
ープ変形によって弾性片の反発力が低下し、ウェーハ保
持力が弱まって輸送中にウェーハが回転したりガタつい
たりして擦れが発生し、ウェーハまたはウェーハ抑えの
摩耗による発塵でウェーハが汚染される可能性が大きか
った。その点、図7に示す弓状弾性片iは両側で保持さ
れているためクリープ変形のおそれはないが、構造的に
ウェーハの上面全体を覆う状態になるため、このウェー
ハ抑えが邪魔になって、容器に収納したウェーハの枚数
を蓋体の外側から確認することができず、作業性を著し
く損ねるという不都合があった。さらに、ウェーハWの
形状には、基準位置を示す方式として、図6に示すよう
な頂部の一部にだけ切り欠きのあるノッチ式W1 と、図
8に示すような上部がフラットになったオリフラ式W2
とがあるため、ウェーハ抑えの形状によっては両方式の
保持力に差が生じ、一方では満足しても他方ではウェー
ハの回転やガタつきによる発塵汚染が生ずるという問題
があった。したがって、本発明の目的は、クリープ変形
を起こしたり、作業性を損ねることがなく、しかもウェ
ーハの形状が変わっても保持力に影響を与えることのな
いウェーハ収納容器のウェーハ抑えを提供するものであ
る。
よび図8に示すウェーハ抑えf、h、m、nはいずれも
一端だけが固定された垂直または片持ち梁状の弾性片か
らなっているため、弾性片の撓み部分がクリープ変形を
起こし易く、とくにウェーハを長期間保管すると、クリ
ープ変形によって弾性片の反発力が低下し、ウェーハ保
持力が弱まって輸送中にウェーハが回転したりガタつい
たりして擦れが発生し、ウェーハまたはウェーハ抑えの
摩耗による発塵でウェーハが汚染される可能性が大きか
った。その点、図7に示す弓状弾性片iは両側で保持さ
れているためクリープ変形のおそれはないが、構造的に
ウェーハの上面全体を覆う状態になるため、このウェー
ハ抑えが邪魔になって、容器に収納したウェーハの枚数
を蓋体の外側から確認することができず、作業性を著し
く損ねるという不都合があった。さらに、ウェーハWの
形状には、基準位置を示す方式として、図6に示すよう
な頂部の一部にだけ切り欠きのあるノッチ式W1 と、図
8に示すような上部がフラットになったオリフラ式W2
とがあるため、ウェーハ抑えの形状によっては両方式の
保持力に差が生じ、一方では満足しても他方ではウェー
ハの回転やガタつきによる発塵汚染が生ずるという問題
があった。したがって、本発明の目的は、クリープ変形
を起こしたり、作業性を損ねることがなく、しかもウェ
ーハの形状が変わっても保持力に影響を与えることのな
いウェーハ収納容器のウェーハ抑えを提供するものであ
る。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明による上記ウェー
ハ抑えは、蓋体の底面に装着されて、内箱に収納された
各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えが、
直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基部が
連設され内方にU字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に
分岐する、左右対称の整列した板バネ状の弾性部材とか
らなり、弾性部材の先端は蓋体の底面に接して配設され
ていることを特徴とするものである。
ハ抑えは、蓋体の底面に装着されて、内箱に収納された
各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えが、
直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基部が
連設され内方にU字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に
分岐する、左右対称の整列した板バネ状の弾性部材とか
らなり、弾性部材の先端は蓋体の底面に接して配設され
ていることを特徴とするものである。
【0005】以下、本発明のウェーハ収納容器のウェー
ハ抑えについて、例示した図1〜図3に基づいて詳細に
説明する。図1はウェーハを個別に担持する箱状の本体
と本発明のウェーハ抑えを装着した蓋体との関係を示す
縦断面図で、図(a)は嵌合前、図(b)は嵌合後の状
態である。図2は図1(a)の底面図である。図3はウ
ェーハ抑えの別の実施態様を示す縦断面図である。上記
各図において、1はウェーハWを収納する内箱、2はこ
の内箱1を収納・係止する容器本体、3は蓋体、4は本
発明のウェーハ抑えである。ウェーハ抑え4は、直方形
をした支持枠5と、その内の相対する二辺に基部が連設
され、内方にU字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分
岐する、左右対称の整列した板バネ構造の弾性部材6と
からなり、支持枠5の周縁が蓋体3の底面の適所に設け
られた係止部7と嵌合することで、蓋体3に着脱自在に
装着されると共に、弾性部材6の(各櫛刃部分の)先端
部Eは蓋体3の底面に隙間が生じないように接して配設
されている。また、8は蓋体3を容器本体2に被せたと
きに、容器本体2の開口周縁で係止するための係止部、
9は弾性部材6の(各櫛刃部分の)C位置の両側に設け
られた突縁で、この間にそれぞれのウェーハWの周縁を
挿入・支持する。なお、この挿入・支持機構は各櫛刃部
分に沿う縦溝とすることもできる。
ハ抑えについて、例示した図1〜図3に基づいて詳細に
説明する。図1はウェーハを個別に担持する箱状の本体
と本発明のウェーハ抑えを装着した蓋体との関係を示す
縦断面図で、図(a)は嵌合前、図(b)は嵌合後の状
態である。図2は図1(a)の底面図である。図3はウ
ェーハ抑えの別の実施態様を示す縦断面図である。上記
各図において、1はウェーハWを収納する内箱、2はこ
の内箱1を収納・係止する容器本体、3は蓋体、4は本
発明のウェーハ抑えである。ウェーハ抑え4は、直方形
をした支持枠5と、その内の相対する二辺に基部が連設
され、内方にU字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分
岐する、左右対称の整列した板バネ構造の弾性部材6と
からなり、支持枠5の周縁が蓋体3の底面の適所に設け
られた係止部7と嵌合することで、蓋体3に着脱自在に
装着されると共に、弾性部材6の(各櫛刃部分の)先端
部Eは蓋体3の底面に隙間が生じないように接して配設
されている。また、8は蓋体3を容器本体2に被せたと
きに、容器本体2の開口周縁で係止するための係止部、
9は弾性部材6の(各櫛刃部分の)C位置の両側に設け
られた突縁で、この間にそれぞれのウェーハWの周縁を
挿入・支持する。なお、この挿入・支持機構は各櫛刃部
分に沿う縦溝とすることもできる。
【0006】これにより、ウェーハWを収納した内箱1
を容器本体2に入れ、蓋体3を被せたときには、ウェー
ハ抑え4の弾性部材6の先端部Eは蓋体3の底面と隙間
が生じないように接して配設されているため、弾性部材
6は基部Aと先端部Eの2か所で両持ち梁の状態とな
り、ウェーハWに小さな力で接触して、ウェーハWを内
箱1の内側壁に設けられた縦溝の中心に誘導する。さら
に、蓋体3を押し込んで完全に容器本体2に被せたとき
は、左右一対の弾性部材6、6はそれぞれのC位置下面
でウェーハWを左右斜め上縁より弾性的に保持すると共
に、基部Aと先端部Eの2個所で蓋体3に支持されるこ
とになる[図1(b)参照]ため、弾性部材6の変形が
分散され、ウェーハ抑え4の耐久力が向上する。
を容器本体2に入れ、蓋体3を被せたときには、ウェー
ハ抑え4の弾性部材6の先端部Eは蓋体3の底面と隙間
が生じないように接して配設されているため、弾性部材
6は基部Aと先端部Eの2か所で両持ち梁の状態とな
り、ウェーハWに小さな力で接触して、ウェーハWを内
箱1の内側壁に設けられた縦溝の中心に誘導する。さら
に、蓋体3を押し込んで完全に容器本体2に被せたとき
は、左右一対の弾性部材6、6はそれぞれのC位置下面
でウェーハWを左右斜め上縁より弾性的に保持すると共
に、基部Aと先端部Eの2個所で蓋体3に支持されるこ
とになる[図1(b)参照]ため、弾性部材6の変形が
分散され、ウェーハ抑え4の耐久力が向上する。
【0007】上記弾性部材の断面形状は、図3に示すよ
うに、基部Aより2〜5°内側に傾いた状態で垂下した
(B位置)後、Rを画いて50〜70°の勾配で内方へ上昇
し(C位置)、その後さらに、2〜5°の角度で上昇し
(D位置)先端部Eに至る、下方内側の角がとれたU字
状をしていること(16)、とくには図3に記載の数値か
らなる形状をしていることが好ましく、これによればウ
ェーハWと弾性部材16との接触面積が大きくなり、ウェ
ーハ抑え14の耐久性が一層向上する。このため弾性部材
16の厚みを 0.5〜 3.0mmの範囲に薄くできる利点もあ
る。図示のように、ウェーハ抑え14では、支持枠15の両
端に上記の形状の弾性部材16を設けると共に、底面中央
部に図8(a)にmとして示したのと同様の左右1対の
係止片17を設けてもよい。これによれば収納するウェー
ハWが図8に示した上部がフラットになったオリフラ式
W2 の場合に、より有効に保持することができる。
うに、基部Aより2〜5°内側に傾いた状態で垂下した
(B位置)後、Rを画いて50〜70°の勾配で内方へ上昇
し(C位置)、その後さらに、2〜5°の角度で上昇し
(D位置)先端部Eに至る、下方内側の角がとれたU字
状をしていること(16)、とくには図3に記載の数値か
らなる形状をしていることが好ましく、これによればウ
ェーハWと弾性部材16との接触面積が大きくなり、ウェ
ーハ抑え14の耐久性が一層向上する。このため弾性部材
16の厚みを 0.5〜 3.0mmの範囲に薄くできる利点もあ
る。図示のように、ウェーハ抑え14では、支持枠15の両
端に上記の形状の弾性部材16を設けると共に、底面中央
部に図8(a)にmとして示したのと同様の左右1対の
係止片17を設けてもよい。これによれば収納するウェー
ハWが図8に示した上部がフラットになったオリフラ式
W2 の場合に、より有効に保持することができる。
【0008】図4は本発明のウェーハ抑えの更に別の実
施態様を、蓋体の内面に装着した状態で示す底面図であ
る。このウェーハ抑え24は、図2に示したウェーハ抑え
4に比べて、直方形をした支持枠25と、左右対称の整列
した板バネ状の弾性部材26とからなる点について共通す
るものの、板バネ状の弾性部材26が支持枠25の相対する
二辺に基部Aと先端部Eとで連設され、その中程は内方
にU字状に屈曲すると共に、垂下部Bの途中から上昇部
Dの途中までの間で幅方向が櫛状に分岐したものからな
る点が相違している。この実施態様は蓋体3の底面が凹
凸形状をしていたり、弾性部材26の先端部Eが蓋体3の
底面に接して配設することが困難な場合に有効な構造
で、弾性部材26の先端部Eを支持枠25に連結すること
で、蓋体3の底面に弾性部材26の先端部Eを嵌合させた
のと同じ効果が得られる。本発明によるウェーハ抑え
4、14、24には、透明または着色無地の、PE、PPな
どのポリオレフィン、ABS、PS、PC、PBTなど
の熱可塑性樹脂およびポリエステル系、ポリオレフィン
系、ポリスチレン系などの熱可塑性エラストマーが用い
られる。
施態様を、蓋体の内面に装着した状態で示す底面図であ
る。このウェーハ抑え24は、図2に示したウェーハ抑え
4に比べて、直方形をした支持枠25と、左右対称の整列
した板バネ状の弾性部材26とからなる点について共通す
るものの、板バネ状の弾性部材26が支持枠25の相対する
二辺に基部Aと先端部Eとで連設され、その中程は内方
にU字状に屈曲すると共に、垂下部Bの途中から上昇部
Dの途中までの間で幅方向が櫛状に分岐したものからな
る点が相違している。この実施態様は蓋体3の底面が凹
凸形状をしていたり、弾性部材26の先端部Eが蓋体3の
底面に接して配設することが困難な場合に有効な構造
で、弾性部材26の先端部Eを支持枠25に連結すること
で、蓋体3の底面に弾性部材26の先端部Eを嵌合させた
のと同じ効果が得られる。本発明によるウェーハ抑え
4、14、24には、透明または着色無地の、PE、PPな
どのポリオレフィン、ABS、PS、PC、PBTなど
の熱可塑性樹脂およびポリエステル系、ポリオレフィン
系、ポリスチレン系などの熱可塑性エラストマーが用い
られる。
【0009】
【作用】多数のウェーハWを収納した内箱1を、容器本
体2内に収納・係止する。一方、蓋体3の底面に本発明
のウェーハ抑え4を装着した後、蓋体3を容器本体2に
被せ、その開口周縁で嵌合・係止する。このとき、容器
内ではウェーハ抑え4が弾性部材6の先端部Eと基部A
の2か所で両持ち梁の状態となって変形が分散され、ウ
ェーハ抑え4の耐久力が向上すると共に、弾性部材6の
C位置下面でウェーハWの左右斜め上縁を弾性的に保持
し、ウェーハWのがたつきによる発塵を防止する。
体2内に収納・係止する。一方、蓋体3の底面に本発明
のウェーハ抑え4を装着した後、蓋体3を容器本体2に
被せ、その開口周縁で嵌合・係止する。このとき、容器
内ではウェーハ抑え4が弾性部材6の先端部Eと基部A
の2か所で両持ち梁の状態となって変形が分散され、ウ
ェーハ抑え4の耐久力が向上すると共に、弾性部材6の
C位置下面でウェーハWの左右斜め上縁を弾性的に保持
し、ウェーハWのがたつきによる発塵を防止する。
【0010】
【発明の効果】本発明のウェーハ収納容器のウェーハ抑
えによれば、 1)従来のものよりもクリープ変形が少なく、ウェーハ保
持力の低下が少なくなり、長期保管後の輸送においても
パーティクルの発生を抑制することができる。 2)弾性部材が左右対称に2列に設けられているので、中
央部からの収納されているウェーハの透視・確認が容易
である。 3)ノッチ式ウェーハ、オリフラ式ウェーハの別なく、同
じ保持力が安定的に付与される。
えによれば、 1)従来のものよりもクリープ変形が少なく、ウェーハ保
持力の低下が少なくなり、長期保管後の輸送においても
パーティクルの発生を抑制することができる。 2)弾性部材が左右対称に2列に設けられているので、中
央部からの収納されているウェーハの透視・確認が容易
である。 3)ノッチ式ウェーハ、オリフラ式ウェーハの別なく、同
じ保持力が安定的に付与される。
【図1】ウェーハを収納する本体と本発明のウェーハ抑
えを装着した蓋体との関係を示すもので、図(a)は嵌
合前の状態での縦断面図、図(b)は嵌合後の状態での
部分縦断面図である。
えを装着した蓋体との関係を示すもので、図(a)は嵌
合前の状態での縦断面図、図(b)は嵌合後の状態での
部分縦断面図である。
【図2】図1(a)に示した本発明のウェーハ抑えを蓋
体の内面に装着した状態で示す底面図である。
体の内面に装着した状態で示す底面図である。
【図3】本発明のウェーハ抑えの別の実施態様を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図4】本発明のウェーハ抑えの更に別の実施態様を、
蓋体の内面に装着した状態で示す底面図である。
蓋体の内面に装着した状態で示す底面図である。
【図5】従来のウェーハ収納容器の一例を示す分解斜視
図である。
図である。
【図6】従来のウェーハ収納容器の他の例を示す縦断面
図である。
図である。
【図7】従来のウェーハ抑えの別の例を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図8】ウェーハを収納する本体と従来の更に別のウェ
ーハ抑えを装着した蓋体との関係を示すもので、図
(a)は嵌合前の状態での縦断面図、図(b)は嵌合後
の状態での部分縦断面図ある。
ーハ抑えを装着した蓋体との関係を示すもので、図
(a)は嵌合前の状態での縦断面図、図(b)は嵌合後
の状態での部分縦断面図ある。
1、a‥内箱、 2、b‥容器本体、
3、d、g、k‥蓋体、 4、14、24、f、h、j‥ウ
ェーハ抑え、5、15、25‥支持枠、 6、1
6、26‥弾性部材、7、8‥係止部、
9‥突縁、17、m‥係止片、
c‥シール部材、e、n‥弾性片、
i‥弓状弾性片、A‥基部、
B‥垂下部、C‥斜め上昇部、 D‥上
昇部、E‥先端部、 W‥ウェー
ハ、W1 ‥ノッチ式ウェーハ、 W2 ‥オリフ
ラ式ウェーハ。
3、d、g、k‥蓋体、 4、14、24、f、h、j‥ウ
ェーハ抑え、5、15、25‥支持枠、 6、1
6、26‥弾性部材、7、8‥係止部、
9‥突縁、17、m‥係止片、
c‥シール部材、e、n‥弾性片、
i‥弓状弾性片、A‥基部、
B‥垂下部、C‥斜め上昇部、 D‥上
昇部、E‥先端部、 W‥ウェー
ハ、W1 ‥ノッチ式ウェーハ、 W2 ‥オリフ
ラ式ウェーハ。
Claims (2)
- 【請求項1】蓋体の底面に装着されて、内箱に収納され
た各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え
が、直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基
部が連設され内方にU字状に屈曲すると共に幅方向が櫛
状に分岐する、左右対称の整列した板バネ状の弾性部材
とからなり、弾性部材の先端は蓋体の底面に接して配設
されていることを特徴とするウェーハ収納容器のウェー
ハ抑え。 - 【請求項2】蓋体の底面に装着されて、内箱に収納され
た各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え
が、直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基
部と先端部とが連設された、左右対称の整列した板バネ
状の弾性部材とからなり、弾性部材の中程は内方にU字
状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分岐したものからな
ることを特徴とするウェーハ収納容器のウェーハ抑え。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24258194A JP2796502B2 (ja) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
FR9511276A FR2725960B1 (fr) | 1994-10-06 | 1995-09-26 | Support de plaquettes, notamment de silicium semi-conducteur |
GB9519637A GB2293816B (en) | 1994-10-06 | 1995-09-26 | Wafer carrier with cushioning means |
KR1019950034154A KR960015841A (ko) | 1994-10-06 | 1995-10-05 | 완충 수단을 갖춘 웨이퍼 캐리어 |
DE19537193A DE19537193A1 (de) | 1994-10-06 | 1995-10-06 | Waferträger mit Polsterungsvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24258194A JP2796502B2 (ja) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08107141A true JPH08107141A (ja) | 1996-04-23 |
JP2796502B2 JP2796502B2 (ja) | 1998-09-10 |
Family
ID=17091198
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24258194A Expired - Lifetime JP2796502B2 (ja) | 1994-10-06 | 1994-10-06 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2796502B2 (ja) |
KR (1) | KR960015841A (ja) |
DE (1) | DE19537193A1 (ja) |
FR (1) | FR2725960B1 (ja) |
GB (1) | GB2293816B (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006066911A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Epak Internatl Inc | 半導体ウエハなどのディスク梱包用クッション |
JP2007095781A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | ウエハキャリアとこれを用いた半導体装置の製造方法 |
JP2011054984A (ja) * | 2003-12-02 | 2011-03-17 | Miraial Kk | 薄板支持容器用蓋体 |
CN102582670A (zh) * | 2011-10-17 | 2012-07-18 | 上海华力微电子有限公司 | 一种掩模板安全搬运推车 |
JP2016149492A (ja) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5788082A (en) * | 1996-07-12 | 1998-08-04 | Fluoroware, Inc. | Wafer carrier |
US5711427A (en) * | 1996-07-12 | 1998-01-27 | Fluoroware, Inc. | Wafer carrier with door |
US6193090B1 (en) | 1999-04-06 | 2001-02-27 | 3M Innovative Properties Company | Reusable container |
KR20010053787A (ko) * | 1999-12-01 | 2001-07-02 | 마이클 디. 오브라이언 | 웨이퍼 핸들링장치 |
DE10151320B4 (de) * | 2001-10-17 | 2006-02-09 | Infineon Technologies Ag | Scheibenträger |
KR100832702B1 (ko) * | 2003-12-24 | 2008-05-28 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 웨이퍼 세정장치 |
WO2008056549A1 (fr) * | 2006-11-07 | 2008-05-15 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Récipient pour substrat |
SG151129A1 (en) * | 2007-09-26 | 2009-04-30 | E Sun Prec Ind Co Ltd | Container for reticle |
DE102010005202B4 (de) * | 2010-01-21 | 2020-04-09 | Q-Cells Se | Magazin für einen photovoltaischen Wafer- und/oder Zellstapel mit einem Magazineinsatz zur Aufnahme desselben |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0655259U (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-26 | 住友シチックス株式会社 | 輸送用ウェーハケース |
JPH0679152U (ja) * | 1993-04-22 | 1994-11-04 | 株式会社大八化成 | 半導体ウエーハ運搬用容器の構造 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4043451A (en) * | 1976-03-18 | 1977-08-23 | Fluoroware, Inc. | Shipping container for silicone semiconductor wafers |
US4557382A (en) * | 1983-08-17 | 1985-12-10 | Empak Inc. | Disk package |
IT1181778B (it) * | 1985-05-07 | 1987-09-30 | Dynamit Nobel Silicon Spa | Contenitore per l'immagazzinamento ed il trasporto di dischetti (fette) di silicio |
US5207324A (en) * | 1991-03-08 | 1993-05-04 | Fluoroware, Inc. | Wafer cushion for shippers |
JP2908985B2 (ja) * | 1994-07-19 | 1999-06-23 | 信越ポリマー株式会社 | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え |
-
1994
- 1994-10-06 JP JP24258194A patent/JP2796502B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1995
- 1995-09-26 GB GB9519637A patent/GB2293816B/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-09-26 FR FR9511276A patent/FR2725960B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1995-10-05 KR KR1019950034154A patent/KR960015841A/ko not_active Application Discontinuation
- 1995-10-06 DE DE19537193A patent/DE19537193A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0655259U (ja) * | 1992-12-28 | 1994-07-26 | 住友シチックス株式会社 | 輸送用ウェーハケース |
JPH0679152U (ja) * | 1993-04-22 | 1994-11-04 | 株式会社大八化成 | 半導体ウエーハ運搬用容器の構造 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011054984A (ja) * | 2003-12-02 | 2011-03-17 | Miraial Kk | 薄板支持容器用蓋体 |
JP2006066911A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-09 | Epak Internatl Inc | 半導体ウエハなどのディスク梱包用クッション |
JP2007095781A (ja) * | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | ウエハキャリアとこれを用いた半導体装置の製造方法 |
JP4606294B2 (ja) * | 2005-09-27 | 2011-01-05 | Okiセミコンダクタ株式会社 | ウエハキャリアとこれを用いた半導体装置の製造方法 |
CN102582670A (zh) * | 2011-10-17 | 2012-07-18 | 上海华力微电子有限公司 | 一种掩模板安全搬运推车 |
JP2016149492A (ja) * | 2015-02-13 | 2016-08-18 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2293816B (en) | 1998-06-10 |
FR2725960B1 (fr) | 1998-04-03 |
KR960015841A (ko) | 1996-05-22 |
DE19537193A1 (de) | 1996-04-11 |
JP2796502B2 (ja) | 1998-09-10 |
GB9519637D0 (en) | 1995-11-29 |
FR2725960A1 (fr) | 1996-04-26 |
GB2293816A (en) | 1996-04-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7216766B2 (en) | Thin plate storage container with handled supporting member | |
US7316315B2 (en) | Thin plate storage container and lid having at least one thin plate supporting member | |
JPH08107141A (ja) | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え | |
US5725100A (en) | Semiconductor wafer case | |
US5782362A (en) | Wafer cassette in wafer carrier | |
TWI429011B (zh) | 用於晶圓容器之可重覆使用彈性襯墊 | |
TWI495605B (zh) | Substrate storage container | |
TWI259501B (en) | Seal and substrate container using same | |
TWI438855B (zh) | A retainer and a substrate storage container including a retainer | |
WO2008056549A1 (fr) | Récipient pour substrat | |
JP4213078B2 (ja) | リテーナ及び基板収納容器 | |
JPH0831920A (ja) | ウェーハ収納容器のウェーハ抑え | |
JPH10310191A (ja) | 基板収納容器 | |
JP4181926B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP4852023B2 (ja) | リテーナ及び基板収納容器 | |
JP4980252B2 (ja) | 基板収納容器及びそのシールガスケットの取り付け方法 | |
JP3093068B2 (ja) | ウェーハケース | |
JPH06204328A (ja) | ウェーハケース | |
JPH10279071A (ja) | ウエーハ接触防止装置 | |
JPH0249724Y2 (ja) | ||
JP3180693B2 (ja) | ウェーハ収納容器のウェーハ押え部材 | |
JP4461325B2 (ja) | ウエハ搬送容器 | |
JPH07307379A (ja) | 薄板用支持容器 | |
JPH0864669A (ja) | ウエハボックス | |
JPH11121601A (ja) | ウエハ収納容器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |