JPH0655259U - 輸送用ウェーハケース - Google Patents

輸送用ウェーハケース

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JPH0655259U
JPH0655259U JP9354392U JP9354392U JPH0655259U JP H0655259 U JPH0655259 U JP H0655259U JP 9354392 U JP9354392 U JP 9354392U JP 9354392 U JP9354392 U JP 9354392U JP H0655259 U JPH0655259 U JP H0655259U
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウェーハとウェーハ押え治具の位置決めを確
実に行い、押え治具のU字型溝とウェーハとのずれなど
を無くし、輸送中の振動によりキャリヤケースの材質が
ウェーハに付着し汚染することを極力防止した構成から
なる輸送用ウェーハケースの提供を目的としている。 【構成】 押え治具とウェーハの位置決めをケース蓋と
本体の間接的な位置決めでなく、確実にケース蓋内側に
位置決めされた押え治具を有するケース蓋と、直接ウェ
ーハを入れるキャリヤケースとの凹凸嵌合による位置決
めのため、ウェーハが押え治具から外れたり、押え治具
がキャリヤケース内の溝にこすれたりすることによって
起こるウェーハの損壊や汚染を防止し、確実にウェーハ
を押え治具によって押圧保持することができる。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
この考案は、半導体ウェーハの損壊、汚染を防止して安全に輸送する樹脂製の 輸送用ウェーハケースに係り、ケース本体に収納してウェーハを独立して保持す る溝を有するキャリヤケースの上面外周部にガイド溝を設け、一方ウェーハを押 圧保持する押えが装着されたフタ内側に設けた板状の突起が、押えによってウェ ーハを押圧保持する前に、キャリヤ上面外周部の溝に入り、確実に位置決めされ て、ウェーハを保持し、ウェーハを収納時及び輸送時の汚染から守る輸送用ウェ ーハケースに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年のあらゆる技術分野におけるエレクトニクス化が進み、半導体ウェーハの 需要が著しく増加している。従って、ウェーハを大量に輸送することになり、輸 送にあたっては、高価なウェーハの損壊及び汚染を防止することが最重要となっ ている。 従来の輸送用ウェーハケースは、特開昭62−33436号、特公平2−39 867号等に開示される如く、樹脂製のウェーハ収納枠、該枠を収めるケース本 体、ケース蓋、ウェーハ押え治具から構成されている。
【0003】 ケース本体に、内部に複数のウェーハを個別に直立支持するためのU字型溝を 多数配設たウェーハ収納枠が収めてあり、またケース本体の周縁部は強度を持た せるべく大きく折り曲げられ、周縁上端面にケース蓋が当接して密着するように 嵌合用の溝または凸条を周設してあり、また、短辺側両サイドの周縁部にケース 蓋を固定するための凹部が形成してある。 ケース蓋は、その内周縁部に前記本体の周縁上端面に嵌合する凸条または溝を 周設してあり、収納本体との固定は、前述の如く短辺側両サイドについてのみ、 収納本体側の凹部に嵌合する凸部が備えられている。
【0004】 ウェーハ押え治具は、所謂中蓋であり、収納本体に支持されてウェーハの振動 防止及びウェーハへの外力を分散させ、損壊防止の機能を有しており、そのため 治具の内面中央にウェーハの上エッジ部に当接する2条の薄肉支持片が設けられ 、さらに、直立するウェーハ両肩部に当接し、これを確実に支持するために先端 をV形あるいはU形に切り込まれた弾性支持片が多数配列してある。
【0005】
【考案が解決しようとする課題】
また、従来はウェーハを押えによって保持する際は、押えを装着したフタとキ ャリヤケースを収納するケース本体との間接的な位置決めがよく見られる。 半導体ウェーハケースの押えとウェーハの位置決めにおいて、従来の技術は間 接的な位置決めであり、キャリヤケースを本体に入れる際、キャリヤケースは本 体から数回出入れする作業性を考慮し、寸法上ガタを有している。 すなわち、ケース本体とケース蓋は嵌合用の凸条と凹部とで位置決めされるが 、キャリヤケースとケース本体とは上記のガタを有しているため、ケース蓋に固 定したウェーハ押え治具とキャリヤケース内のウェーハとはこのガタにより、確 実にウェーハを保持できない。
【0006】 この考案は、ウェーハとウェーハ押え治具の位置決めを確実に行い、押え治具 のU字型溝とウェーハとのずれなどを無くし、輸送中の振動によりキャリヤケー スの材質がウェーハに付着し汚染することを極力防止した構成からなる輸送用ウ ェーハケースの提供を目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】
この考案は、 複数のウェーハをU字型溝にて個別に直立支持可能なキャリアケース、該キャリ アケースを収めるケース本体と、ケース蓋及び該蓋に装着するウェーハ押え治具 から構成される樹脂製の輸送用ウェーハケースにおいて、 ウェーハとウェーハ押え治具との位置決めをケース蓋内側とキャリアケースの上 面フランジ部との2か所以上の凹凸嵌合で行うことを特徴とし、 例えば、ウェーハとウェーハ押え治具との位置決めをケース蓋内側の板状突起部 とキャリアケースの上面フランジ部に設けた溝部で行うことを特徴とする輸送用 ウェーハケースである。
【0008】 この考案において、ウェーハとウェーハ押え治具との位置決めを、ケース蓋と キャリアケースとの2か所以上の凹凸嵌合で行うことができれば、その形状や機 構、設置数は特に限定しないが、実施例のケース蓋内側の板状突起のガイドレー ル部とキャリアケースの上面フランジ部に設けたガイド溝部との嵌合のほか、複 数箇所に設けるピンと孔による構成等を適宜選定できる。
【0009】 この考案において、ケース蓋の装着時に容易にかつ確実にウェーハ押え治具が ウェーハの外周部を押さえることができ、収納ウェーハの保持力を高めかつすぐ れた衝撃緩和力を発揮させ、さらに輸送中の振動によりウーハ収納枠の材質が ウェーハに付着し汚染することを極力防止するために、少なくともウェーハ収納 枠に従来のポリプロピレン(P.P)、ポリエチレン(P.E)に代えて、ポリ ブチレンテレフタレート(P.B.T)を用いることが望ましい。 ポリブチレンテレフタレートの耐磨耗性は、ポリプロピレンの14mg/10 00cyに対して、8mg/1000cyとすぐれている。
【0010】 また、ケース蓋の材質には、例えば、ケース蓋内側のガイドレール部をキャリ アケースの上面フランジ部に設けたガイド溝部に合わせやすいように、ポリカー ボネート(P.C)などの透明樹脂を用いることが望ましい。
【0011】
【作用】
この考案は、ウェーハとウェーハ押え治具との位置決めをケース蓋内側とキャ リアケースの上面フランジ部との2か所以上の凹凸嵌合、例えば実施例のケース 蓋内側の板状突起部とキャリアケースの上面フランジ部に設けた溝部で行うこと により、ウェーハとウェーハ押えの位置決めを確実にでき、収納時及び輸送時の 汚染を防止することができる。
【0012】
【実施例】
この考案による半導体ウェーハの輸送用ウェーハケースは、複数のウェーハ3 0をU字型溝3にて個別に直立支持可能なキャリアケース2を収めたケース本体 1と、ケース本体1の上部開口に嵌合するケース蓋10、及び該蓋10に装着す るウェーハ押え治具20とからなる。 何れの部材も所要の低発塵性、低ガス放散性の公知の合成樹脂からなり、射出 一体成形、もしくは異材質の組立て成形などの公知の樹脂成形法にて製造される が、ここでは、キャリアケース2はポリブチレンテレフタレート(P.B.T) を用い、ケース蓋10にはポリカーボネート(P.C)、その他の部材にはポリ プロピレン(P.P)を使用した。
【0013】 ケース本体1は、内部に複数のウェーハを個別に直立支持するためのU字型溝 3を多数配設したP.B.T製キャリアケース2を収めてあり、大きく折り曲げ 形成した高剛性の上面周縁部4には、その上端面に後述のケース蓋10の周縁部 11が当接して密着するように、嵌合用の溝部を周設してあり、所要の軟質材か らなるパッキン12を配設してある。 また、ケース本体1の上面周縁部4には、ケース蓋10のロック用翼状部材1 3が嵌まり込むように、周縁部4の短辺側及び長辺側の4つの外側面の各中央下 端部に、切欠部5が形成してあり、かつ翼状部材13の孔部に嵌合する突起6を 設けてある。 さらに、キャリアケース2のには、図1,2に示す如く、上面周縁部4の長辺 側に非対象に1か所ずつ、また短辺側に非対象に1か所ずつ、位置決めのための ガイド溝7が設けてある。
【0014】 透明なP.C製ケース蓋10は、その内周縁部に前記ケース本体1の上面周縁 部4端面に嵌合する溝部を周設してあり、短辺側及び長辺側の4つの外周部に翼 状部材13が設けてある。 また、ケース蓋10の内側には上記の各ガイド溝7に嵌合する板状突起のガイ ドレール14が設けてある。
【0015】 枠体からなるウェーハ押え治具20は図4に示す如く一体型で、ここではケー ス蓋10の内裏面部にがたつきがないように嵌入組立てする構成からなり、矩形 状治具枠の中央部に収納したウェーハ30の上OFエッジ部に当接するように肉 厚方向のV形あるいはU形溝を多数設けた2条の薄肉狭幅支持片21,22が設 けてある。 薄肉広幅支持片23,24は、ケース蓋10裏面の上記2条の薄肉狭幅支持片 21,22の外側に位置するよう設けてあり、断面略L型の薄肉片は所要長さの スリットで多数の短冊状に分割され、ウェーハ30の両肩部エッジ部に接線方向 に当接する際に先端部が各U字型溝3の側面の底に当接するピン部23a,24 aとなり、その内側にウェーハ30のエッジ部が当接する凹部を設けてある。
【0016】 複数枚のウェーハ30がキャリアケース2に収納されてケース本体1内に収め られてケース蓋10が載置されるが、まず、ケース蓋10の内側のガイドレール 14とキャリヤケース2の上部のガイド溝7がケース蓋10をケース本体1にか ぶせる時、ウェーハ押え治具20がウェーハ30に接触する以前に、確実にウェ ーハ押え治具20とウェーハ30が位置決めされ、ウェーハ押え治具20よって ウェーハ30を押圧保持し、ケース本体1とケース蓋10の周縁部4,11同士 の凹凸嵌合と、翼状部材13の孔部と切欠部5内の突起6との嵌合によるロック にて周縁部4,11の全面にわたって均一かつ安定した気密性が保持でき、ウェ ーハ30への外気的汚染が大幅に低減する。
【0017】 ケース蓋10内裏面に組み込まれたウェーハ押え治具20は、各ウェーハ30 を個別に薄肉狭幅支持片21,22でOF部を上部からケース本体1底方向へ押 さえることができ、また薄肉広幅支持片23,24はその先端部ピン部23a, 24aがU字型溝3の側面の底に当接し、ウェーハ30の両肩部を斜め方向から から押えて確実に支持するために、上下左右振動によるウェーハのぐらつきを完 全に防止でき、輸送時のケース内のウェーハの振動が無くなり、ウェーハへのパ ーティクル付着を大幅に低減できる。
【0018】
【考案の効果】
この考案による半導体ウェーハの輸送用ウェーハケースは、従来の容器と異な り、押え治具とウェーハの位置決めをケース蓋と本体の間接的な位置決めでなく 、確実にケース蓋内側に位置決めされた押え治具を有するケース蓋と、直接ウェ ーハを入れるキャリヤケースとの位置決めのため、ウェーハが押え治具から外れ たり、押え治具がキャリヤケース内の溝にこすれたりすることによって起こるウ ェーハの損壊や汚染を防止し、確実にウェーハを押え治具によって押圧保持する ことができる輸送用ウェーハケースである。
【図面の簡単な説明】
【図1】この考案による半導体ウェーハの輸送用ウェー
ハケースの縦断斜視説明図である。
【図2】この考案による半導体ウェーハの輸送用ウェー
ハケースの縦断正面説明図である。
【図3】この考案による半導体ウェーハの輸送用ウェー
ハケースの一部縦断側面説明図である。
【図4】この考案によるウェーハ押え治具の縦断斜視説
明図である。
【符号の説明】
1 ケース本体 2 キャリアケース 3 U字型溝 4 周縁部 5 切欠部 6 突起 10 ケース蓋 11 周縁部 12 パッキン 13 翼状部材 20 治具枠 21,22 薄肉狭幅支持片 23 薄肉広幅支持片 23a,24a ピン部 30 ウェーハ

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のウェーハをU字型溝にて個別に直
    立支持可能なキャリアケース、該キャリアケースを収め
    るケース本体と、ケース蓋及び該蓋に装着するウェーハ
    押え治具から構成される樹脂製の輸送用ウェーハケース
    において、ウェーハとウェーハ押え治具との位置決めを
    ケース蓋内側とキャリアケースの上面フランジ部との2
    か所以上の凹凸嵌合で行うことを特徴とする輸送用ウェ
    ーハケース。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08107141A (ja) * 1994-10-06 1996-04-23 Shin Etsu Polymer Co Ltd ウェーハ収納容器のウェーハ抑え
WO2010001460A1 (ja) * 2008-07-01 2010-01-07 ミライアル株式会社 ウエハ収納容器
JP2018509767A (ja) * 2015-03-13 2018-04-05 インテグリス・インコーポレーテッド フィルムフレームシッパー向けの改良型ばねクッション

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04303941A (ja) * 1991-03-29 1992-10-27 Kyushu Electron Metal Co Ltd 半導体ウェーハの輸送用容器

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04303941A (ja) * 1991-03-29 1992-10-27 Kyushu Electron Metal Co Ltd 半導体ウェーハの輸送用容器

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08107141A (ja) * 1994-10-06 1996-04-23 Shin Etsu Polymer Co Ltd ウェーハ収納容器のウェーハ抑え
WO2010001460A1 (ja) * 2008-07-01 2010-01-07 ミライアル株式会社 ウエハ収納容器
JP2018509767A (ja) * 2015-03-13 2018-04-05 インテグリス・インコーポレーテッド フィルムフレームシッパー向けの改良型ばねクッション

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