JPH05291389A - 平面状基板の収納装置に用いる基板ガイド治具 - Google Patents
平面状基板の収納装置に用いる基板ガイド治具Info
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- JPH05291389A JPH05291389A JP11820992A JP11820992A JPH05291389A JP H05291389 A JPH05291389 A JP H05291389A JP 11820992 A JP11820992 A JP 11820992A JP 11820992 A JP11820992 A JP 11820992A JP H05291389 A JPH05291389 A JP H05291389A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 例えばウエハ等の平面状基板を簡単かつ確実
に収納装置の所定の位置に平行状に収納することができ
るようにする。 【構成】 両側板３の内側面にそれぞれ複数の突条部４
が平行状に設けられたウエハキャリヤ１の前面開口２
に、ウエハガイド治具６を着脱自在に装着する。治具６
は、ウエハキャリヤ１の各突条部４に対応しかつ各突条
部４の先端よりも内方へ突出する複数の突出部８を有す
る。各突条部８の下面を収納されるウエハ１０のパター
ン面Ｐに対して離間する傾斜逃げ面８ｂとする。ウエハ
１０を治具６を介して前面開口２から挿入させると、各
突出部８によってウエハ１０の挿入先端側がガイドされ
るので、ウエハ１０の両側の外周部１０ａが両側の対向
する各突条部４の間に簡単かつ確実に係合され、ウエハ
１０は段違いに斜めになることなく所定の位置に正しく
平行状に収納される。
に収納装置の所定の位置に平行状に収納することができ
るようにする。 【構成】 両側板３の内側面にそれぞれ複数の突条部４
が平行状に設けられたウエハキャリヤ１の前面開口２
に、ウエハガイド治具６を着脱自在に装着する。治具６
は、ウエハキャリヤ１の各突条部４に対応しかつ各突条
部４の先端よりも内方へ突出する複数の突出部８を有す
る。各突条部８の下面を収納されるウエハ１０のパター
ン面Ｐに対して離間する傾斜逃げ面８ｂとする。ウエハ
１０を治具６を介して前面開口２から挿入させると、各
突出部８によってウエハ１０の挿入先端側がガイドされ
るので、ウエハ１０の両側の外周部１０ａが両側の対向
する各突条部４の間に簡単かつ確実に係合され、ウエハ
１０は段違いに斜めになることなく所定の位置に正しく
平行状に収納される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の平面状基板を平
行状に収納するようにした収納装置に用いる基板ガイド
治具に関し、例えば複数のウエハを平行状に収納するた
めのウエハキャリヤ用の治具として最適なものである。
行状に収納するようにした収納装置に用いる基板ガイド
治具に関し、例えば複数のウエハを平行状に収納するた
めのウエハキャリヤ用の治具として最適なものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、半導体装置の製造工程におい
て、ウエハを各種の処理工程の間で搬送したり各処理工
程の前後で保管したりする場合、複数のウエハを収納す
るウエハキャリヤが使用されている。図５及び図６はこ
の種のウエハキャリヤの一従来例を示すものである。こ
のウエハキャリヤ１は例えば合成樹脂によってほぼ箱状
に形成され、その前面がウエハ１０を挿入するための前
面開口２となっている。ウエハキャリヤ１の対向する両
側板３の内側面には、それぞれ複数の突条部４が平行状
に設けられ、これら各突条部４によって複数の条溝部５
が相対的に形成されている。そして、ウエハ１０を前面
開口２から矢印ａ方向へ挿入させて、そのウエハ１０の
両側の外周部１０ａをそれぞれ両側の各突条部４の間
（即ち各条溝部５内）に係合させることにより、複数
（例えば２５枚）のウエハ１０を平行状に収納するよう
に構成されている。なお、両側の各突条部４の後方部分
は互いに近接するように傾斜しており、これらの部分で
ウエハ１０が位置決めされる。
て、ウエハを各種の処理工程の間で搬送したり各処理工
程の前後で保管したりする場合、複数のウエハを収納す
るウエハキャリヤが使用されている。図５及び図６はこ
の種のウエハキャリヤの一従来例を示すものである。こ
のウエハキャリヤ１は例えば合成樹脂によってほぼ箱状
に形成され、その前面がウエハ１０を挿入するための前
面開口２となっている。ウエハキャリヤ１の対向する両
側板３の内側面には、それぞれ複数の突条部４が平行状
に設けられ、これら各突条部４によって複数の条溝部５
が相対的に形成されている。そして、ウエハ１０を前面
開口２から矢印ａ方向へ挿入させて、そのウエハ１０の
両側の外周部１０ａをそれぞれ両側の各突条部４の間
（即ち各条溝部５内）に係合させることにより、複数
（例えば２５枚）のウエハ１０を平行状に収納するよう
に構成されている。なお、両側の各突条部４の後方部分
は互いに近接するように傾斜しており、これらの部分で
ウエハ１０が位置決めされる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述したよ
うなウエハキャリヤ１へのウエハ１０の収納は、通常、
ロボットハンド等による自動作業で行われるが、少量生
産や試験生産等においては、作業者が真空ピンセット等
を用いて手作業で行う場合がある。しかしながら、従来
のウエハキャリヤ１では、複数のウエハ１０をできるだ
けコンパクトに収納するために、両側の各突条部４の上
下間隔ｂが狭く、また、両側の各突条部４がウエハ１０
の外周部１０ａのみを保持して両面のうち特に表面のパ
ターン面Ｐと接触しないようにするために、各突条部４
の突出長さｃが短くなっている。このため、作業者がウ
エハ１０を手作業で収納する際、図５に示すように、ウ
エハ１０を少しでも傾斜させて挿入すると、ウエハ１０
の両側の外周部１０ａがそれぞれ両側の各突条部４の間
に段違いに係合されてしまい、ウエハ１０を所定の位置
に正しく平行状に収納することができないことがあっ
た。従って、手作業によるウエハキャリヤ１へのウエハ
１０の収納は、充分に慎重に行う必要があって極めて煩
わしい上に、場合によってはウエハ１０を無理に収納し
て不測に反りや損傷を生じさせてしまう、等の問題があ
った。
うなウエハキャリヤ１へのウエハ１０の収納は、通常、
ロボットハンド等による自動作業で行われるが、少量生
産や試験生産等においては、作業者が真空ピンセット等
を用いて手作業で行う場合がある。しかしながら、従来
のウエハキャリヤ１では、複数のウエハ１０をできるだ
けコンパクトに収納するために、両側の各突条部４の上
下間隔ｂが狭く、また、両側の各突条部４がウエハ１０
の外周部１０ａのみを保持して両面のうち特に表面のパ
ターン面Ｐと接触しないようにするために、各突条部４
の突出長さｃが短くなっている。このため、作業者がウ
エハ１０を手作業で収納する際、図５に示すように、ウ
エハ１０を少しでも傾斜させて挿入すると、ウエハ１０
の両側の外周部１０ａがそれぞれ両側の各突条部４の間
に段違いに係合されてしまい、ウエハ１０を所定の位置
に正しく平行状に収納することができないことがあっ
た。従って、手作業によるウエハキャリヤ１へのウエハ
１０の収納は、充分に慎重に行う必要があって極めて煩
わしい上に、場合によってはウエハ１０を無理に収納し
て不測に反りや損傷を生じさせてしまう、等の問題があ
った。
【０００４】そこで本発明は、例えばウエハ等の平面状
基板を簡単かつ確実に収納装置の所定の位置に平行状に
収納することができるようにした基板ガイド治具を提供
することを目的とする。
基板を簡単かつ確実に収納装置の所定の位置に平行状に
収納することができるようにした基板ガイド治具を提供
することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、前面開口を有する収納箱体の対向する両
側板の内側面にそれぞれ複数の突条部を平行状に設け、
平面状基板を前記前面開口から挿入させてその基板の両
側の外周部をそれぞれ前記両側の各突条部の間に係合さ
せることにより、複数の基板を平行状に収納するように
構成した平面状基板の収納装置、に用いる基板ガイド治
具であって、ほぼ板状に形成されて前記収納装置の前面
開口に着脱自在に構成され、その収納装置の前記両側の
各突条部に対応すると共にそれら各突条部の先端よりも
それぞれ内方へ突出する複数の突出部を有し、かつ、こ
れら各突出部の両面の少なくとも一方の面を前記収納さ
れる基板の面に対して離間する逃げ面にて構成してなる
ものである。
に、本発明は、前面開口を有する収納箱体の対向する両
側板の内側面にそれぞれ複数の突条部を平行状に設け、
平面状基板を前記前面開口から挿入させてその基板の両
側の外周部をそれぞれ前記両側の各突条部の間に係合さ
せることにより、複数の基板を平行状に収納するように
構成した平面状基板の収納装置、に用いる基板ガイド治
具であって、ほぼ板状に形成されて前記収納装置の前面
開口に着脱自在に構成され、その収納装置の前記両側の
各突条部に対応すると共にそれら各突条部の先端よりも
それぞれ内方へ突出する複数の突出部を有し、かつ、こ
れら各突出部の両面の少なくとも一方の面を前記収納さ
れる基板の面に対して離間する逃げ面にて構成してなる
ものである。
【０００６】
【作用】上記のように構成された本発明によれば、基板
ガイド治具を収納装置の前面開口に装着し、この治具を
介して平面状基板を前面開口から挿入させると、収納装
置の両側の各突条部に対応しかつ各突条部の先端よりも
内方へ突出する各突出部によって、基板の挿入先端側が
ガイドされるので、その基板の両側の外周部が両側の対
向する各突条部の間に簡単かつ確実に係合される。ま
た、基板を必要以上に傾斜させて挿入させようとした場
合には、その基板の挿入が各突出部によって規制され
る。従って、基板が段違いに斜めに収納されることが未
然に防止される。そして、各突出部の両面の少なくとも
一方の面が逃げ面となっているので、基板の挿入時に
は、その基板の面と突出部との接触が回避される。
ガイド治具を収納装置の前面開口に装着し、この治具を
介して平面状基板を前面開口から挿入させると、収納装
置の両側の各突条部に対応しかつ各突条部の先端よりも
内方へ突出する各突出部によって、基板の挿入先端側が
ガイドされるので、その基板の両側の外周部が両側の対
向する各突条部の間に簡単かつ確実に係合される。ま
た、基板を必要以上に傾斜させて挿入させようとした場
合には、その基板の挿入が各突出部によって規制され
る。従って、基板が段違いに斜めに収納されることが未
然に防止される。そして、各突出部の両面の少なくとも
一方の面が逃げ面となっているので、基板の挿入時に
は、その基板の面と突出部との接触が回避される。
【０００７】
【実施例】以下、本発明をウエハキャリヤ用のウエハガ
イド治具に適用した実施例を図１〜図４を参照して説明
する。なお、ウエハキャリヤにおいて前記従来例と実質
的に同一の部分には同一の符号を付してその説明を省略
する。
イド治具に適用した実施例を図１〜図４を参照して説明
する。なお、ウエハキャリヤにおいて前記従来例と実質
的に同一の部分には同一の符号を付してその説明を省略
する。
【０００８】まず、図１〜図３は第１実施例を示すもの
である。ウエハガイド治具６は、厚さ５〜６mm程度のほ
ぼ長方形板状をなし、例えば合成樹脂によって枠体７と
複数の突出部８とが一体に形成されている。そして、各
突出部８は、ウエハキャリヤ１の両側の各突条部４に対
応すると共に、それら各突条部４の先端よりもそれぞれ
内方へ突出しており、全体的に櫛状に形成されている。
なお、この実施例におけるウエハキャリヤ１の各突条部
４は、上下両面が傾斜面４ａ及び４ｂにて構成され、全
体的にテーパ状に形成されている。
である。ウエハガイド治具６は、厚さ５〜６mm程度のほ
ぼ長方形板状をなし、例えば合成樹脂によって枠体７と
複数の突出部８とが一体に形成されている。そして、各
突出部８は、ウエハキャリヤ１の両側の各突条部４に対
応すると共に、それら各突条部４の先端よりもそれぞれ
内方へ突出しており、全体的に櫛状に形成されている。
なお、この実施例におけるウエハキャリヤ１の各突条部
４は、上下両面が傾斜面４ａ及び４ｂにて構成され、全
体的にテーパ状に形成されている。
【０００９】そして、治具６の各突出部８の上面は平坦
面８ａになっており、各突出部８の下面は各突条部４の
傾斜面４ｂよりも上方へ段差がつけられて、収納される
ウエハ１０の表面に対して離間する傾斜逃げ面８ｂにて
構成されている。この例においては、ウエハ１０の表面
のパターン面Ｐを上側にしてウエハキャリヤ１に収納す
るので、各突出部８の傾斜逃げ面８ｂがウエハ１０のパ
ターン面Ｐと対向し、各突出部８の平坦面８ａがウエハ
１０の裏面の非パターン面と対向する。なお、各突出部
８の基部下側は円弧状の補強部８ｃによって幅広形状と
なっている。
面８ａになっており、各突出部８の下面は各突条部４の
傾斜面４ｂよりも上方へ段差がつけられて、収納される
ウエハ１０の表面に対して離間する傾斜逃げ面８ｂにて
構成されている。この例においては、ウエハ１０の表面
のパターン面Ｐを上側にしてウエハキャリヤ１に収納す
るので、各突出部８の傾斜逃げ面８ｂがウエハ１０のパ
ターン面Ｐと対向し、各突出部８の平坦面８ａがウエハ
１０の裏面の非パターン面と対向する。なお、各突出部
８の基部下側は円弧状の補強部８ｃによって幅広形状と
なっている。
【００１０】また、図１に示すように、治具６の枠体７
の例えば四隅には、この治具６をウエハキャリヤ１の前
面開口２に着脱自在に装着するための係合部９が一体に
形成されている。係合部９は弾性変形可能であり、ウエ
ハキャリヤ１の既存外形部分、例えばウエハキャリヤ１
を搬送する際に把持される被係合部１ａに係合させるこ
とができる。
の例えば四隅には、この治具６をウエハキャリヤ１の前
面開口２に着脱自在に装着するための係合部９が一体に
形成されている。係合部９は弾性変形可能であり、ウエ
ハキャリヤ１の既存外形部分、例えばウエハキャリヤ１
を搬送する際に把持される被係合部１ａに係合させるこ
とができる。
【００１１】上述のように構成されたウエハガイド治具
６によれば、ウエハキャリヤ１の前面開口２に治具６を
係合部９によって装着し、この治具６を介して、図３に
示すように、ウエハ１０を手作業で前面開口２から矢印
ａ方向へ挿入させると、治具６の各突出部８によってウ
エハ１０の挿入先端側がガイドされるので、図２に示す
ように、そのウエハ１０の両側の外周部１０ａが両側の
対向する各突条部４の間（即ち各条溝部５内）に簡単か
つ確実に係合される。また、図２に一点鎖線で示すよう
に、ウエハ１０を必要以上に傾斜させて挿入させようと
した場合には、そのウエハ１０の挿入先端縁が各突出部
８に当接して挿入が規制される。従って、ウエハ１０を
段違いに斜めに収納してしまうことを未然に防止するこ
とができ、ウエハ１０を所定の位置に正しく平行状に収
納することができる。
６によれば、ウエハキャリヤ１の前面開口２に治具６を
係合部９によって装着し、この治具６を介して、図３に
示すように、ウエハ１０を手作業で前面開口２から矢印
ａ方向へ挿入させると、治具６の各突出部８によってウ
エハ１０の挿入先端側がガイドされるので、図２に示す
ように、そのウエハ１０の両側の外周部１０ａが両側の
対向する各突条部４の間（即ち各条溝部５内）に簡単か
つ確実に係合される。また、図２に一点鎖線で示すよう
に、ウエハ１０を必要以上に傾斜させて挿入させようと
した場合には、そのウエハ１０の挿入先端縁が各突出部
８に当接して挿入が規制される。従って、ウエハ１０を
段違いに斜めに収納してしまうことを未然に防止するこ
とができ、ウエハ１０を所定の位置に正しく平行状に収
納することができる。
【００１２】そして、各突出部８の下面がウエハ１０の
パターン面Ｐに対して離間する傾斜逃げ面８ｂとなって
いるので、ウエハ１０の挿入時には、ウエハ１０のパタ
ーン面Ｐと各突出部８との接触が回避され、パターンの
損傷を防止することができる。なお、挿入時にはウエハ
１０の裏面が各突出部８の平坦面８ａに接触するが、そ
の裏面は非パターン面であるから特に問題はない。
パターン面Ｐに対して離間する傾斜逃げ面８ｂとなって
いるので、ウエハ１０の挿入時には、ウエハ１０のパタ
ーン面Ｐと各突出部８との接触が回避され、パターンの
損傷を防止することができる。なお、挿入時にはウエハ
１０の裏面が各突出部８の平坦面８ａに接触するが、そ
の裏面は非パターン面であるから特に問題はない。
【００１３】ところで、手作業収納のための真空ピンセ
ット等を挿入するために、両側の各突出部８の間には間
隔ｄを設ける必要がある。従って、各突出部８の突出長
さｅは、ウエハ１０が斜めに収納されない範囲で、必要
とすべき中央の間隔ｄや各突条部４の前記上下間隔ｂ等
に基づいて設定される。また、上記間隔ｄは中央に設け
る必要はなく、真空ピンセット等の挿入角度に応じてオ
フセットさせて設定することも考えられる。
ット等を挿入するために、両側の各突出部８の間には間
隔ｄを設ける必要がある。従って、各突出部８の突出長
さｅは、ウエハ１０が斜めに収納されない範囲で、必要
とすべき中央の間隔ｄや各突条部４の前記上下間隔ｂ等
に基づいて設定される。また、上記間隔ｄは中央に設け
る必要はなく、真空ピンセット等の挿入角度に応じてオ
フセットさせて設定することも考えられる。
【００１４】なお、治具６はウエハキャリヤ１の前面開
口２に装着されるので、ウエハ１０がウエハキャリヤ１
内に完全に収納された状態では、ウエハ１０が治具６の
各突出部８に接触することはなく、従来と同様にウエハ
１０の両側の外周部１０ａのみが各突条部４によって保
持されることになる。また、各突出部８の基部下側の補
強部８ｃによって、枠体７との連続部分が幅広になるの
で、強度も充分に高いものとなる。
口２に装着されるので、ウエハ１０がウエハキャリヤ１
内に完全に収納された状態では、ウエハ１０が治具６の
各突出部８に接触することはなく、従来と同様にウエハ
１０の両側の外周部１０ａのみが各突条部４によって保
持されることになる。また、各突出部８の基部下側の補
強部８ｃによって、枠体７との連続部分が幅広になるの
で、強度も充分に高いものとなる。
【００１５】そして、上述のようなウエハガイド治具６
を用いると、手作業収納のために特別なウエハキャリヤ
を用意する必要がなく、従来の自動収納用のウエハキャ
リヤ１をそのまま手作業収納用として使用することがで
きる
を用いると、手作業収納のために特別なウエハキャリヤ
を用意する必要がなく、従来の自動収納用のウエハキャ
リヤ１をそのまま手作業収納用として使用することがで
きる
【００１６】次に、図４は第２実施例を示すものであ。
即ち、治具６の各突出部８がウエハキャリヤ１の各突出
部４と一致するテーパ状に形成され、これら各突出部８
の上下両面は、各突条部４の傾斜面４ａ及び７４と一致
する傾斜逃げ面８ａ′及び８ｂにて構成されている。
即ち、治具６の各突出部８がウエハキャリヤ１の各突出
部４と一致するテーパ状に形成され、これら各突出部８
の上下両面は、各突条部４の傾斜面４ａ及び７４と一致
する傾斜逃げ面８ａ′及び８ｂにて構成されている。
【００１７】この第２実施例の場合でも、ウエハガイド
治具６をウエハキャリヤ１の前面開口２に装着し、この
治具６を介してウエハ１０を前面開口２から挿入させる
と、各突出部８によってウエハ１０の挿入先端側がガイ
ドされるので、そのウエハ１０の両側の外周部１０ａが
両側の対向する各突条部４の間（即ち各条溝部５内）に
簡単かつ確実に係合される。
治具６をウエハキャリヤ１の前面開口２に装着し、この
治具６を介してウエハ１０を前面開口２から挿入させる
と、各突出部８によってウエハ１０の挿入先端側がガイ
ドされるので、そのウエハ１０の両側の外周部１０ａが
両側の対向する各突条部４の間（即ち各条溝部５内）に
簡単かつ確実に係合される。
【００１８】そして、この第２実施例の場合、ウエハ１
０の挿入時には、各突出部８の下面の傾斜逃げ面８ｂに
よってウエハ１０のパターン面Ｐとの接触が回避される
が、特にこの例のように、各突出部８の上面も傾斜逃げ
面８ａ′にすると、一点鎖線で示すように、ウエハ１０
の挿入時には外周エッジ１０ｂのみが傾斜逃げ面８ａ′
に接触することになるので、各突出部８に対する接触部
分をより少なくすることができる。
０の挿入時には、各突出部８の下面の傾斜逃げ面８ｂに
よってウエハ１０のパターン面Ｐとの接触が回避される
が、特にこの例のように、各突出部８の上面も傾斜逃げ
面８ａ′にすると、一点鎖線で示すように、ウエハ１０
の挿入時には外周エッジ１０ｂのみが傾斜逃げ面８ａ′
に接触することになるので、各突出部８に対する接触部
分をより少なくすることができる。
【００１９】以上、本発明の実施例に付き説明したが、
本発明は上記実施例に限定されることなく、本発明の技
術的思想に基づいて各種の有効な変更並びに応用が可能
である。例えば、収納装置の各突条部及び治具の各突出
部は、実施例以外に様々な形状のものを用いることがで
きる。なお本発明は、ウエハを収納するウエハキャリヤ
用のウエハガイド治具に限らず、例えばＴＦＴガラス基
板等の各種の平面状基板の収納装置用の基板ガイド治具
に広範囲に適用することができる。
本発明は上記実施例に限定されることなく、本発明の技
術的思想に基づいて各種の有効な変更並びに応用が可能
である。例えば、収納装置の各突条部及び治具の各突出
部は、実施例以外に様々な形状のものを用いることがで
きる。なお本発明は、ウエハを収納するウエハキャリヤ
用のウエハガイド治具に限らず、例えばＴＦＴガラス基
板等の各種の平面状基板の収納装置用の基板ガイド治具
に広範囲に適用することができる。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
収納装置の両側の各突条部に対応しかつ各突条部の先端
よりも内方へ突出する複数の突出部を有する治具である
から、この治具を収納装置の前面開口に装着して、例え
ばウエハ等の複数の平面状基板を前面開口から挿入させ
ると、各突出部によって基板の挿入先端側をガイドさせ
ることができ、その基板の両側の外周部を両側の対向す
る各突条部の間に極めて簡単かつ確実に係合させること
ができる。従って、基板を手作業で収納する場合でも、
基板を段違いに斜めに収納してしまうようなことを未然
に防止することができ、その基板に反りや損傷等を生じ
させることなく、所定の位置に正しく平行状に収納する
ことができる。また、各突出部に設けられた逃げ面によ
って、基板の挿入時において基板の例えばパターン面と
各突出部との接触を回避することができるので、そのパ
ターンの不用意な損傷も未然に防止することができる。
また、本発明によれば、収納装置の前面開口に着脱自在
に装着される治具であるから、手作業収納のために特別
な収納装置を用意する必要がなく、従来の自動収納用の
収納装置をそのまま手作業収納用として使用することが
できるので、一種類の収納装置の共用化を図ることがで
きる。
収納装置の両側の各突条部に対応しかつ各突条部の先端
よりも内方へ突出する複数の突出部を有する治具である
から、この治具を収納装置の前面開口に装着して、例え
ばウエハ等の複数の平面状基板を前面開口から挿入させ
ると、各突出部によって基板の挿入先端側をガイドさせ
ることができ、その基板の両側の外周部を両側の対向す
る各突条部の間に極めて簡単かつ確実に係合させること
ができる。従って、基板を手作業で収納する場合でも、
基板を段違いに斜めに収納してしまうようなことを未然
に防止することができ、その基板に反りや損傷等を生じ
させることなく、所定の位置に正しく平行状に収納する
ことができる。また、各突出部に設けられた逃げ面によ
って、基板の挿入時において基板の例えばパターン面と
各突出部との接触を回避することができるので、そのパ
ターンの不用意な損傷も未然に防止することができる。
また、本発明によれば、収納装置の前面開口に着脱自在
に装着される治具であるから、手作業収納のために特別
な収納装置を用意する必要がなく、従来の自動収納用の
収納装置をそのまま手作業収納用として使用することが
できるので、一種類の収納装置の共用化を図ることがで
きる。
【図１】本発明をウエハキャリヤ用のウエハガイド治具
に適用した第１実施例におけるウエハキャリヤと治具と
の分解斜視図である。
に適用した第１実施例におけるウエハキャリヤと治具と
の分解斜視図である。
【図２】上記実施例において治具をウエハキャリヤの前
面開口に装着した時の全体の縦断面状態の正面図であ
る。
面開口に装着した時の全体の縦断面状態の正面図であ
る。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線における矢視断面状態
の平面図である。
の平面図である。
【図４】本発明をウエハキャリヤ用のウエハガイド治具
に適用した第２実施例における要部の縦断面状態の正面
図である。
に適用した第２実施例における要部の縦断面状態の正面
図である。
【図５】ウエハキャリヤの一従来例における全体の縦断
面状態の正面図である。
面状態の正面図である。
【図６】図５のＶＩ−ＶＩ線における矢視断面状態の平
面図である。
面図である。
１ ウエハキャリヤ １ａ 被係合部 ２ 前面開口 ３ 側板 ４ 突条部 ６ ウエハガイド治具 ７ 枠体 ８ 突出部 ８ｂ 傾斜逃げ面 ９ 係合部 １０ ウエハ １０ａ 外周部
Claims (3)
- 【請求項１】 前面開口を有する収納箱体の対向する両
側板の内側面にそれぞれ複数の突条部を平行状に設け、
平面状基板を前記前面開口から挿入させてその基板の両
側の外周部をそれぞれ前記両側の各突条部の間に係合さ
せることにより、複数の基板を平行状に収納するように
構成した平面状基板の収納装置、に用いる基板ガイド治
具であって、 ほぼ板状に形成されて前記収納装置の前面開口に着脱自
在に構成され、その収納装置の前記両側の各突条部に対
応すると共にそれら各突条部の先端よりもそれぞれ内方
へ突出する複数の突出部を有し、かつ、これら各突出部
の両面の少なくとも一方の面を前記収納される基板の面
に対して離間する逃げ面にて構成してなる基板ガイド治
具。 - 【請求項２】 前記各突出部の両面の少なくとも一方の
面が傾斜逃げ面であることを特徴とする請求項１記載の
基板ガイド治具。 - 【請求項３】 前記収納装置の既存外形部分に係合可能
な係合部を有することを特徴とする請求項１または２記
載の基板ガイド治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11820992A JPH05291389A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 平面状基板の収納装置に用いる基板ガイド治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11820992A JPH05291389A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 平面状基板の収納装置に用いる基板ガイド治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05291389A true JPH05291389A (ja) | 1993-11-05 |
Family
ID=14730911
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11820992A Withdrawn JPH05291389A (ja) | 1992-04-10 | 1992-04-10 | 平面状基板の収納装置に用いる基板ガイド治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05291389A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009076830A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-09 | Konica Minolta Opto Inc | 基板収納案内治具及び記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
| KR100957388B1 (ko) * | 2008-02-04 | 2010-05-11 | (주)포인텍 | 피처리물 클램핑장치 |
| JP2018043774A (ja) * | 2016-09-15 | 2018-03-22 | 三菱電機株式会社 | 基板誤挿入防止治具 |
| JP2019050257A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社ディスコ | 収容カセット |
-
1992
- 1992-04-10 JP JP11820992A patent/JPH05291389A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009076830A (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-09 | Konica Minolta Opto Inc | 基板収納案内治具及び記録媒体用ガラス基板の製造方法 |
| KR100957388B1 (ko) * | 2008-02-04 | 2010-05-11 | (주)포인텍 | 피처리물 클램핑장치 |
| JP2018043774A (ja) * | 2016-09-15 | 2018-03-22 | 三菱電機株式会社 | 基板誤挿入防止治具 |
| JP2019050257A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社ディスコ | 収容カセット |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990706 |