JPH09107026A - ウェーハ収納容器のウェーハカセット - Google Patents

ウェーハ収納容器のウェーハカセット

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JPH09107026A
JPH09107026A JP28915895A JP28915895A JPH09107026A JP H09107026 A JPH09107026 A JP H09107026A JP 28915895 A JP28915895 A JP 28915895A JP 28915895 A JP28915895 A JP 28915895A JP H09107026 A JPH09107026 A JP H09107026A
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wafer
cassette
pressing plate
wafers
silicon wafer
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JP28915895A
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Shinichi Ohori
伸一 大堀
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Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Shin Etsu Handotai Co Ltd
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Shin Etsu Polymer Co Ltd
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Shin Etsu Handotai Co Ltd
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Publication date
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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
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    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ウェーハの位置ずれを抑制し，ウェーハ同士
の接触，ウェーハ表面の汚染，およびウェーハ表面の損
傷を防止できるウェーハ収納容器のウェーハカセットを
提供する。 【解決手段】 上下面がそれぞれ開口したケース形の収
納カセット１の左右両側壁の内面部に，多数の整列みぞ
４をそれぞれ形成して多数のシリコンウェーハ２を並列
に収納するようにする。また，収納カセット１の上下面
部にそれぞれ着脱自在に取り付けられる上部ウェーハ押
さえ板８および下部ウェーハ押さえ板８Ａを備え，各ウ
ェーハ押さえ板８・８Ａの両側端部をそれぞれ係止部９
に屈曲形成するとともに，一対の係止部９・９間の中央
部には多数の弾性板１１をシリコンウェーハ２の収納方
向に並べ設ける。そして，各弾性板１１から突起部１３
をそれぞれ突出させてその表面にシリコンウェーハ２の
上部周縁，又は下部周縁を収容するＶみぞ１４を切り欠
き成形する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，半導体シリコンウ
ェーハ (以下，単にシリコンウェーハという) などのウ
ェーハを収納し，汚染や損傷などから有効に保護・保管
するウェーハ収納容器のウェーハカセットに関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来のウェーハ収納容器のウェーハカセ
ットは，図１２ないし図１４に示すごとく，その上面，
下面の中央部，および正面がそれぞれ開口したケース形
に成形され，シリコンウェーハ２の形に対応するよう下
部の両側壁が内方向にそれぞれカーブして湾曲成形され
ており，開口した正面には架設バー３が一体的に成形さ
れている。そして，内部の左右両側壁にはＶ字形の整列
みぞ４が前後方向 (図１２の斜め左右方向) にそれぞれ
多数並べて凹み成形され，左側壁の各整列みぞ４と右側
壁の各整列みぞ４とが相互に対向配置されている。
【０００３】したがって，密封容器に多数のシリコンウ
ェーハ２を収納する場合には，図１２に示すように，ま
ず，収納カセット１に多数のシリコンウェーハ２を順次
差し込んで並列に収納し，密封容器の容器本体１５に収
納カセット１を嵌め入れ，容器本体１５の上面の周縁に
ガスケットやパッキンなどの枠形のシール１６を嵌め合
わせる。そして，密封容器のふた体１７にウェーハ押さ
え１８を内蔵した後，容器本体１５の上面にふた体１７
を押圧して覆い被せれば，密封容器に多数のシリコンウ
ェーハ２を収納することができる。なお，ウェーハ押さ
え１８は，矩形のほぼ枠形に成形され，その下部の両側
壁から多数の弾性片１９がそれぞれほぼＬ字形に伸長し
て成形されており，このくし形に並んだ多数の弾性片１
９が多数のシリコンウェーハ２の上部周縁にそれぞれ弾
発的に接触し，この接触作用により多数のシリコンウェ
ーハ２が位置決め保護される。このような状態で密封容
器は，ウェーハメーカからデバイスメーカに輸送されて
開封され，図１２のような直立状態，又は寝かせて配置
された後，シリコンウェーハ２がロボットアーム (図示
せず) ，又は作業者 (図示せず) により１枚ずつ順次取
り出されることとなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来のウェーハ収納容
器のウェーハカセットは，以上のようにふた体１７にウ
ェーハ押さえ１８を内蔵するので，ウェーハ押さえ１８
とシリコンウェーハ２との位置が収納カセット１，容器
本体１５，およびふた体１７の位置関係に大きく影響さ
れることになる。したがって，収納カセット１，容器本
体１５，およびふた体１７の位置関係が不適切でガタな
どが生じた場合には，ウェーハ押さえ１８の弾性片１９
にシリコンウェーハ２の上部周縁が接触せず，弾性片１
９と隣の弾性片１９との間のクリアランスにシリコンウ
ェーハ２の上部周縁が挟まり，その結果，シリコンウェ
ーハ２を有効，かつ適切に保護することができないとい
う問題があった。また，収納カセット１の整列みぞ４の
幅は，シリコンウェーハ２の出し入れの便宜の観点から
少々広く設定されているので，収納カセット１が直立し
て使用される場合には，シリコンウェーハ２が前後方向
に傾き，その結果，シリコンウェーハ２の周縁と隣のシ
リコンウェーハ２の周縁とが相互に接触して損傷するお
それがあった (図１３の下部中央参照) 。このようなシ
リコンウェーハ２同士の接触を避けるため，収納カセッ
ト１を水平に寝かせて使用しようとすると，図１４に示
すごとく，整列みぞ４にシリコンウェーハ２が常時接触
してこすれ，シリコンウェーハ２の表面に磨耗粉が付着
して汚染を生じたり，あるいはシリコンウェーハ２の表
面が傷つくなどの問題があった。
【０００５】本発明は，上記問題に鑑みてなされたもの
で，ウェーハの位置ずれを抑制し，ウェーハ同士の接触
を防止できるとともに，ウェーハの表面が汚染したり，
ウェーハの表面が損傷するのを防止することのできるウ
ェーハ収納容器のウェーハカセットを提供することを目
的としている。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明においては，上記
目的を達成するため，上下面部が開口したケース形の収
納カセットの対向壁の内面部に，複数の整列みぞをそれ
ぞれ形成してウェーハを並列に収納するものにおいて，
上記収納カセットの上下面部をそれぞれ着脱自在に覆う
ウェーハ押さえ板を備え，各ウェーハ押さえ板の両側端
部をそれぞれ係止部に形成するとともに，この一対の係
止部間の中央部には複数の弾性板部を上記ウェーハの収
納方向に並べ設け，各弾性板部から突起を突出させてそ
の表面には該ウェーハの周縁部を収容するＶ字状のみぞ
を切り欠くようにしている。なお，上記収納カセットの
対向壁の上下端部から係止リブをそれぞれ外方向に突出
させるとともに，各係止リブの端辺部には一対の位置決
めストッパを上記ウェーハの収納方向に間隔をおいて形
成し，この一対の位置決めストッパ間の幅と上記ウェー
ハ押さえ板の幅とをほぼ等しくして該整列みぞの中心部
と該Ｖ字状のみぞの中心部とを一致させることが好まし
い。
【０００７】本発明によれば，収納カセットの開口した
上下面部にウェーハ押さえ板をそれぞれセットし，収納
カセットの内部においてウェーハを直接位置決めしてず
れを防止するので，ウェーハの位置が収納カセット，容
器本体，およびふた体の位置関係などに影響されること
がない。また，各ウェーハ押さえ板のみぞの中心部にウ
ェーハの上下部の周縁が接触するので，整列みぞからウ
ェーハを離すことができ，これを通じてウェーハ表面の
汚染やウェーハ表面の損傷などの弊害を解消することが
できる。また，弾性板部が弾性を有しているので，Ｖ字
状のみぞの中心部からウェーハの上部周縁部や下部周縁
部がずれた場合でも，弾性板部がたわんでＶ字状のみぞ
の中心部にウェーハの周縁部を移動させ，適正に位置合
わせする。さらに，この弾性板部の弾性作用により，収
納カセットの運搬や輸送時などにおける振動や衝撃が吸
収緩和され，これを通じて収納物の損傷を防止すること
ができる。また，請求項２記載の発明によれば，収納カ
セットの開口面部にウェーハ押さえ板を取り付ける際，
一対の位置決めストッパとウェーハ押さえ板の幅とが相
互に位置決め作用を果たすので，一対の位置決めストッ
パの間にウェーハ押さえ板をセットするだけで，整列み
ぞの中心部と突起のＶ字状のみぞの中心部とを簡単に一
致させることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下，本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。この実施の形態におけるウェーハ
収納容器のウェーハカセットは，収納カセット１の開口
した上面に上部ウェーハ押さえ板８を，開口した下面に
は下部ウェーハ押さえ板８Ａをそれぞれ着脱自在にセッ
トし，これら上部ウェーハ押さえ板８と下部ウェーハ押
さえ板８Ａとにシリコンウェーハ２をそれぞれ位置決め
させるようにしている。
【０００９】収納カセット１は，図６ないし図８，およ
び図１１に示すごとく，その上面，下面の中央部，およ
び正面がそれぞれ開口したほぼケース形に成形され，シ
リコンウェーハ２の形に対応するよう下部の両側壁が内
方向にそれぞれカーブして湾曲成形されており，開口し
た正面の中央には架設バー３が一体的に成形されてシリ
コンウェーハ２の出し入れの便宜が確保されている。こ
の収納カセット１の内部の左右両側壁には，Ｖ字形の整
列みぞ４が前後方向 (図６の左右方向) にそれぞれ多数
並べて凹み成形され，左側壁の各整列みぞ４と右側壁の
各整列みぞ４とが相互に対向配置されている。また，収
納カセット１の上面隅部には嵌合リブ５がそれぞれ起立
して突出成形されている。これに対応して，ふた体 (図
示せず)の四隅部には嵌合孔 (図示せず) がそれぞれ成
形され，この嵌合孔と嵌合リブ５とが相互に嵌まり合う
よう作用する。さらに，左右両側壁の上端，および下端
からは係止リブ６がそれぞれ水平外方向に張り出して成
形され，各係止リブ６の傾斜した前後部における辺縁部
には，一対の位置決めストッパ７が間隔をおいてそれぞ
れ突出成形されている。なお，本実施形態におけるシリ
コンウェーハ２は，薄い円盤形に形成され，その上部の
一部が平坦に形成されているが，薄い完全な円盤形など
の他の形態でもよい。
【００１０】また，上部ウェーハ押さえ板８は，図１，
図３，および図１１に示すように，透明若しくは着色無
地のＰＥやＰＰなどのポリオレフィン，ＡＢＳ，ＰＳ，
又はＰＢＴなどの熱可塑性樹脂，およびポリエステル
系，ポリオレフィン系，又はポリスチレン系などの熱可
塑性エラストマを材料として成形され，収納カセット１
の上面における一対の位置決めストッパ７間の幅 (図６
の左右方向の長さ) とほぼ同一の幅に形成されている。
この上部ウェーハ押さえ板８の両側端は，それぞれ内方
向に折り返してフック形に折曲成形され，収納カセット
１の上面の係止リブ６に係合する係止部９として利用さ
れる。この一対の係止部９の間における山形の中央部に
は，みぞ孔形のスリット１０がシリコンウェーハ２の整
列方向に多数並べて切り欠かれ，板ばね形の弾性板１１
が同方向に多数並べて区画成形されている。各弾性板１
１の両側部１２は，それぞれ半円弧形に湾曲成形され，
シリコンウェーハ２に対向する下方向に膨らんでおり，
弾性板１１に適度な弾性力を具備させるよう作用する。
さらに，各弾性板１１の中央部には突起１３が一体的に
突出成形され，この突起１３の表面の中央部にはシリコ
ンウェーハ２の上部周縁を挟むＶみぞ１４が切り欠いて
成形されている (図５参照) 。
【００１１】さらに，下部ウェーハ押さえ板８Ａは，図
２，図４，および図１１に示すごとく，上部ウェーハ押
さえ板８と同様の材質で断面ほぼとい形に成形され，収
納カセット１の下面における複数の位置決めストッパ７
間の幅 (図６の左右方向の長さ) とほぼ同一の幅に形成
されている。この下部ウェーハ押さえ板８Ａの両側端
は，それぞれ内方向に折り返してフック形に折曲成形さ
れ，収納カセット１の下面の係止リブ６に係合する係止
部９として利用される。この一対の係止部９の間の山形
の中央部にも，みぞ孔形のスリット１０がシリコンウェ
ーハ２の整列方向に多数並べて切り欠かれ，板ばね形の
弾性板１１が同方向に多数並べて区画成形されている。
各弾性板１１の両側部１２は，それぞれ半円弧形に湾曲
成形され，シリコンウェーハ２に対向する上方向に膨ら
んでおり，弾性板１１に適度な弾性力を具備させるよう
作用する。さらに，各弾性板１１の中央部には突起１３
が一体的に突出成形され，この突起１３の表面の中央部
にはシリコンウェーハ２の下部周縁を挟むＶみぞ１４が
切り欠いて成形されている。
【００１２】したがって，密封容器に多数のシリコンウ
ェーハ２を収納する場合には，図１１などに示すよう
に，まず，収納カセット１の下部における複数の係止リ
ブ６に下部ウェーハ押さえ板８Ａの係止部９をそれぞれ
引っかけ，下部ウェーハ押さえ板８Ａを閉塞状態にセッ
トする。この作業の際，下部ウェーハ押さえ板８Ａは，
係止リブ６の複数の位置決めストッパ７の間に位置する
ようセットされ，この作業により整列みぞ４の中心部と
突起１３のＶみぞ１４の中心部とが一致する。次いで，
収納カセット１に多数のシリコンウェーハ２を順次差し
込んで並列に収納する。この作業の際，シリコンウェー
ハ２は，その下部周縁が下部ウェーハ押さえ板８ＡのＶ
みぞ１４の中心部に接触するよう差し込まれる (図１０
参照) 。
【００１３】次いで，収納カセット１の上部における複
数の係止リブ６に上部ウェーハ押さえ板８の係止部９を
それぞれ引っかけて上部ウェーハ押さえ板８を閉塞状態
にセットし，容器本体１５に収納カセット１を嵌め入
れ，容器本体１５の上面の周縁にガスケットやパッキン
などの枠形のシール１６を嵌め合わせる。この作業の
際，上部ウェーハ押さえ板８は，係止リブ６の複数の位
置決めストッパ７の間に位置するようセットされ，この
セット作業により整列みぞ４の中心部と突起１３のＶみ
ぞ１４の中心部とが一致する。また，シリコンウェーハ
２は，その平坦な上部周縁が上部ウェーハ押さえ板８の
Ｖみぞ１４の中心部に接触するよう挟持される (図５お
よび図１０参照) 。そしてその後，容器本体１５の上面
にふた体１７を押圧して覆い被せ，収納カセット１の嵌
合リブ５とふた体１７の嵌合孔とを相互に嵌め合わせれ
ば，密封容器に多数のシリコンウェーハ２を気密状態に
収納することができる。
【００１４】上記構成によれば，上部ウェーハ押さえ板
８と下部ウェーハ押さえ板８Ａとをそれぞれセットし，
収納カセット１の内部においてシリコンウェーハ２を直
接挟持させ，位置決め規制するようにしているので，シ
リコンウェーハ２の位置が収納カセット１，容器本体１
５，およびふた体１７の位置関係に影響されることが全
くない。したがって，収納カセット１，容器本体１５，
およびふた体１７の位置関係が不適切でガタなどが生じ
た場合でも，シリコンウェーハ２を適正に位置決めして
有効，かつ適切に保護することができる。また，密封容
器の姿勢にかかわらず，シリコンウェーハ２が傾いて隣
のシリコンウェーハ２と接触して損傷するおそれを除去
することが可能となる。また，Ｖみぞ１４の中心部にシ
リコンウェーハ２の上部周縁や下部周縁がそれぞれ強圧
状態で接触するので，整列みぞ４からシリコンウェーハ
２を離すことができ (図９参照) ，シリコンウェーハ２
の表面に磨耗粉が付着して汚染を生じたり，あるいはシ
リコンウェーハ２の表面が傷つくなどの問題を確実に解
消することができる。また，弾性板１１が適度な弾性力
を具備しているので，例えＶみぞ１４の中心部からシリ
コンウェーハ２の上部周縁や下部周縁がずれた場合で
も，弾性板１１がたわんでシリコンウェーハ２の上部周
縁や下部周縁をＶみぞ１４の斜面に沿わせて移動させ，
Ｖみぞ１４の中心部にシリコンウェーハ２の上部周縁や
下部周縁を再度位置決めすることとなる。したがって，
整列みぞ４からシリコンウェーハ２を確実に離して位置
させることができる。さらに，この弾性板１１の弾性作
用により，収納カセット１の運搬や輸送時における振動
や衝撃が吸収緩和され，これを通じてシリコンウェーハ
２の損傷を防止することが可能となる。さらにまた，一
対の位置決めストッパ７の間に上部ウェーハ押さえ板８
や下部ウェーハ押さえ板８Ａをそれぞれセットすれば，
整列みぞ４の中心部と突起１３のＶみぞ１４の中心部と
を機械的に容易に一致させることができるので，位置決
めや装着作業などの著しい簡素化や容易化が期待でき
る。
【００１５】なお，上記実施形態においては，一対の位
置決めストッパ７の間に上部ウェーハ押さえ板８や下部
ウェーハ押さえ板８Ａをそれぞれセットして整列みぞ４
の中心部と突起１３のＶみぞ１４の中心部とを一致させ
るものを示したが，何等これに限定されず，他の手段を
用いてもよい。例えば，係止リブ６に突起部又は嵌合用
の孔を，上部ウェーハ押さえ板８や下部ウェーハ押さえ
板８Ａに嵌合用の孔又は突起部をそれぞれ設ける。そし
て，これらを相互に嵌め合わせ，整列みぞ４の中心部と
突起１３のＶみぞ１４の中心部とを位置決めするように
してもよいのはいうまでもない。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば，ウェーハ
の位置ずれを抑制し，ウェーハ同士の接触を防止できる
とともに，ウェーハの表面が汚染したり，ウェーハの表
面が損傷するのを防止することができるという格別の効
果がある。さらに，請求項２記載の発明によれば，ウェ
ーハ押さえ板の取り付け作業などの簡素化や容易化など
が大いに期待できるという顕著な効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るウェーハ収納容器のウェーハカセ
ットの上部ウェーハ押さえ板を示す斜視図である。
【図２】本発明に係るウェーハ収納容器のウェーハカセ
ットの下部ウェーハ押さえ板を示す斜視図である。
【図３】図１の上部ウェーハ押さえ板の断面図である。
【図４】図１の下部ウェーハ押さえ板の断面図である。
【図５】図３のＡ−Ａ線断面図である。
【図６】本発明に係るウェーハ収納容器のウェーハカセ
ットの実施の形態を示す平面図である。
【図７】図６のＢ−Ｂ線断面図である。
【図８】図７の側面図である。
【図９】ウェーハカセットにシリコンウェーハを収納し
た状態を示す一部断面平面図である。
【図１０】ウェーハカセットにシリコンウェーハを収納
した状態を示す断面側面図である。
【図１１】ウェーハカセットに上部ウェーハ押さえ板お
よび下部ウェーハ押さえ板を取り付けた状態を示す断面
側面図である。
【図１２】従来のウェーハ収納容器の組み立て斜視図で
ある。
【図１３】従来のウェーハ収納容器のウェーハカセット
の問題点を示す断面平面図である。
【図１４】従来のウェーハ収納容器のウェーハカセット
の問題点を示す平面断面図である。
【符号の説明】
１…収納カセット ２…シリコンウェーハ (ウェーハ) ４…整列みぞ ６…係止リブ ７…位置決めストッパ ８…上部ウェーハ押さえ板 (ウェーハ押さえ板) ８Ａ…下部ウェーハ押さえ板 (ウェーハ押さえ板) ９…係止部 １１…弾性板 (弾性板部) １３…突起 １４…Ｖみぞ (Ｖ字状のみぞ)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 上下面部が開口したケース形の収納カセ
    ットの対向壁の内面部に，複数の整列みぞをそれぞれ形
    成してウェーハを並列に収納するウェーハ収納容器のウ
    ェーハカセットにおいて，上記収納カセットの上下面部
    をそれぞれ着脱自在に覆うウェーハ押さえ板を備え，各
    ウェーハ押さえ板の両側端部をそれぞれ係止部に形成す
    るとともに，この一対の係止部間の中央部には複数の弾
    性板部を上記ウェーハの収納方向に並べ設け，各弾性板
    部から突起を突出させてその表面には該ウェーハの周縁
    部を収容するＶ字状のみぞを切り欠いたことを特徴とす
    るウェーハ収納容器のウェーハカセット。
  2. 【請求項２】 上記収納カセットの対向壁の上下端部か
    ら係止リブをそれぞれ外方向に突出させるとともに，各
    係止リブの端辺部には一対の位置決めストッパを上記ウ
    ェーハの収納方向に間隔をおいて形成し，この一対の位
    置決めストッパ間の幅と上記ウェーハ押さえ板の幅とを
    ほぼ等しくして該整列みぞの中心部と該Ｖ字状のみぞの
    中心部とを一致させる請求項１記載のウェーハ収納容器
    のウェーハカセット。
JP28915895A 1995-10-12 1995-10-12 ウェーハ収納容器のウェーハカセット Pending JPH09107026A (ja)

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JP28915895A JPH09107026A (ja) 1995-10-12 1995-10-12 ウェーハ収納容器のウェーハカセット
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